「EVAPORATION SOURCE」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

The evaporation source in a vapor deposition apparatus has an actuator for moving a crucible up and down.例文帳に追加

蒸着装置の蒸着源に坩堝を昇降できる駆動部を設ける。 - 特許庁

EVAPORATION SOURCE FOR ORGANIC MATERIAL IN VAPOR DEPOSITION DEVICE, AND ITS DEPOSITION DEVICE例文帳に追加

蒸着装置における有機材料用蒸発源及びその蒸着装置 - 特許庁

A plurality of cathode arc type evaporation sources 13 and 16 and a plurality of sputter evaporation sources 14 and 15 are provided in one vacuum tank 10, and the amorphous carbon film is precipitated by using the sputter evaporation source 15 and the cathode arc type evaporation source 16 after irradiation of metal ions on the base material 28 by the cathode arc type evaporation source 13.例文帳に追加

複数の陰極アーク式蒸発源１３、１６と、複数のスパッタ蒸発源１４、１５をひとつの真空槽１０に備えさせ、陰極アーク式蒸発源１３による基材２８への金属イオン照射後に、スパッタ蒸発源１５や陰極アーク式蒸発源１６を用いて非晶質炭素被膜の析出を行えるようにした。 - 特許庁

To provide a vapor deposition system, an evaporation material scraping device and an evaporation material feeder, capable of stably feeding an evaporation material into an evaporation source device.例文帳に追加

本発明の目的は，蒸着材料を蒸発源装置に安定供給することができる蒸着装置および蒸着材料擦り切り装置並びに蒸着材料供給装置を提供することにある。 - 特許庁

The high-density plasma is generated from a cathode 4 of a plasma gun 2 within a vacuum vessel 1 arranged with an evaporation source and the material of the evaporation source is deposited by evaporation on a substrate within the vacuum vessel 1 in the presence of this plasma.例文帳に追加

蒸発源を配置した真空容器１内に、プラズマガン２の陰極４から高密度のプラズマを発生させ、このプラズマの存在下で上記蒸発源の材料を真空容器１内の基体に蒸着させる。 - 特許庁

To provide a fixture for an evaporation source of an evaporation source, control board or the like composed of an inexpensive austenitic stainless steel material having high corrosion resistance, and to provide a method for producing the same.例文帳に追加

安価でかつ耐食性の高いオーステナイト系ステンレス材料からなる蒸発源や制御板等の蒸発源用治具およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The evaporation source 3 includes a ceramic crucible 4, a heater 5 for heating the crucible, etc.例文帳に追加

蒸発源３は、セラミック製のルツボ４、ルツボを加熱するヒーター５等を有する。 - 特許庁

A film-formation material W is heated by an evaporation source device 120, to be evaporated.例文帳に追加

蒸発源装置１２０により成膜物質Ｗを加熱して、蒸発させる。 - 特許庁

To provide an evaporation source in a deposition system, which is easily workable, is low in cost and has an excellent impact resistance by devising the material of the evaporation source for storing a deposition material and that of a cylindrical member constituting a heating apparatus for heating the evaporation source, and to provide the heating apparatus therefor, and a heating and evaporation system for the deposition material.例文帳に追加

成膜材料を収容する蒸発源と、蒸発源を加熱する加熱装置を構成する筒体の材料を工夫して、加工がし易く低コストで耐衝撃性にも優れた成膜装置における蒸発源、その加熱装置、及び成膜材料加熱蒸発装置を提供する。 - 特許庁

To provide an evaporation source which prevents an evaporated material from being condensed in a nozzle.例文帳に追加

ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。 - 特許庁

An evaporation source 8 which becomes a material of the organic EL layer is arranged outside the vapor-deposition chamber.例文帳に追加

有機ＥＬ層の材料となる蒸発源８が蒸着室外に配置されている。 - 特許庁

EVAPORATION SOURCE, ORGANIC EL-DEVICE MANUFACTURING DEVICE AND ORGANIC EL-DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

蒸発源並びに有機ＥＬデバイス製造装置及び有機ＥＬデバイス製造方法 - 特許庁

The induced heat source part 10 induction-heats the evaporation part 8 using electromagnetic induction.例文帳に追加

誘導熱源部１０は、電磁誘導を利用して気化部８を誘導加熱するものである。 - 特許庁

To provide a heat source performing heat exchange for the evaporation/condensation of a refrigerant gas with internal energy.例文帳に追加

内部エネルギーで冷媒ガスの蒸発・凝縮の熱交換を行う熱源の提供 - 特許庁

A thin film is deposition on a substrate by using an evaporation source provided with a vapor deposition cell having a longitudinal direction or a plurality of vapor deposition cells and moving the evaporation source in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the evaporation cell.例文帳に追加

長手方向を有する蒸着セルもしくは複数個の蒸着セルを設けた蒸着源を用い、この蒸着源を蒸着源の長手方向と垂直な方向に移動させることで基板上に薄膜を成膜する。 - 特許庁

In a vacuum deposition system 50 equipped with a vacuum chamber 1, the evaporation source 2 having an evaporation material holding container 2a, etc., and a hopper type evaporation material feeding material 10, the evaporation material is fed into the evaporation material holding container 2a, etc., by using a metering cup 21.例文帳に追加

真空チャンバ１と、蒸発材料保持容器２ａ等を備える蒸発源２と、ホッパ式蒸発材料供給手段１０を備える真空成膜装置５０において、蒸発材料保持容器２ａ等に蒸発材料を供給するにあたり、計量カップ２１を用いて行う。 - 特許庁

To solve a problem of interrupting a material flow from an evaporation source to a substrate and simultaneously saving an evaporation material.例文帳に追加

蒸気発生源から基板への物質の流れを中断する問題、および同時に気化物質を節約する問題を解決することにある。 - 特許庁

In a state that an evaporation source 12 and a plasma generation space, and a substrate 14 held by a substrate holding unit are separated by a shutter 20, the evaporation source is heated to generate plasma 105.例文帳に追加

蒸発源１２およびプラズマ生成空間と、基板保持部に保持された基板１４とをシャッター２０で隔てた状態で、蒸発源を加熱し、プラズマ１０５を生成する。 - 特許庁

To provide an electron source that suppresses a temperature rise caused by evaporation consumption with time of a diffusion source of the electron source in order to give a stable electron beam.例文帳に追加

電子源の拡散源の経時的な蒸発消耗に起因した温度上昇を抑制し、安定した電子線を与える電子源を提供する。 - 特許庁

To provide a method for measuring an amount of a source substance existing in a source substance evaporation section in a chemical vapor-deposition process of vapor-depositing a thin film on an article by supplying a source gas which has been produced by evaporating the source substance stored in the source substance evaporation section into a deposition chamber.例文帳に追加

ソース物質蒸発部に貯蔵されているソース物質を蒸発させて生成したソースガスを蒸着チャンバーに供給して薄膜蒸着を行う化学気相蒸着工程において、ソース物質蒸発部内に存在するソース物質の量を測定する方法を提供する。 - 特許庁

The vacuum deposition system is provided with: an evaporation source; a substrate holder oppositely arranged in the upper part of the evaporation source, and provided so as to support a semiconductor substrate and be step-movable in a plane; and a sticking prevention mask fixedly arranged between the substrate holder and the evaporation source and exposing a part of the semiconductor supported by the substrate to the evaporation source.例文帳に追加

蒸発源と、この蒸発源の上方に対向配置され、半導体基板を支持して、平面内でステップ移動可能に設けられた基板ホルダと、この基板ホルダおよび前記蒸発源間に固定配置され、前記基板ホルダに支持される半導体基板の一部を前記蒸発源に露出する開口部を有する防着マスクとを備えた真空蒸着装置。 - 特許庁

The invention refers to an evaporation source capable of maximizing the cracking effect of evaporation particles flocculable upon the evaporation of an organic material, and a method of depositing a thin film using the same.例文帳に追加

有機材料の蒸発時に凝集し得る蒸発粒子のクラッキング効果（ｃｒａｃｋｉｎｇ ｅｆｆｅｃｔ）を最大化することができる蒸発源及びそれを用いた薄膜蒸着方法に関する。 - 特許庁

Vapor deposition can be performed on the whole surface of the substrate 1 by vertically moving the evaporation source.例文帳に追加

蒸発源を上下させることによって、基板1全面に蒸着を行うことが出来る。 - 特許庁

ARC EVAPORATION SOURCE, FIRING METHOD THEREFOR, AND METHOD FOR CONTROLLING REFLECTANCE OF VAPOR DEPOSITED FILM THEREWITH例文帳に追加

アーク蒸発源、その点弧方法、及びそれを用いた蒸着膜の反射率制御方法 - 特許庁

EVAPORATION SOURCE FOR EVAPORATOR, EVAPORATOR USING THE SAME, AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC EL ELEMENT例文帳に追加

蒸着装置用蒸着源、これを用いた蒸着装置及び有機ＥＬ素子の製造方法 - 特許庁

UNIT OF RAW MATERIAL FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION, EVAPORATION SOURCE FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION, AND VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS例文帳に追加

真空蒸着用原料ユニット、真空蒸着用蒸発源および真空蒸着装置 - 特許庁

The arc evaporation source includes a magnetic field generation mechanism 8 and an outer circumferential magnet 3.例文帳に追加

アーク式蒸発源は、磁場発生機構８と外周磁石３とを備えることを特徴とする。 - 特許庁

To suppress the natural evaporation of an aroma source, while preventing leakage in a portable aroma generator.例文帳に追加

可搬型香り発生装置において、液漏れを防止しつつ、香り源の自然揮発を抑制する。 - 特許庁

To provide a solid compressed pellet of an organic material used as an evaporation source for forming an organic layer on an OLED (organic light emitting diode).例文帳に追加

OLED有機層蒸着源用の有機材料の固体圧縮ペレットを提供すること。 - 特許庁

A nozzle is linearly arranged in the evaporation source 3, and vapor 15 is jetted from the linear nozzle.例文帳に追加

蒸発源3には、ノズルが線状に配置され、線状のノズルから蒸気15が噴射される。 - 特許庁

The evaporation heat exchange 4 has the air heat exchanger 41 and a heat source heat exchanger 42.例文帳に追加

蒸発用熱交換器４は、空気熱交換器４１と熱源熱交換器４２とをもつ。 - 特許庁

VAPOR DEPOSITION METHOD FOR ORGANIC MATTER, AND VAPOR DEPOSITION SYSTEM AND EVAPORATION SOURCE USED FOR THIS METHOD例文帳に追加

有機物の蒸着方法及びこの方法に用いられる蒸着装置ならびに蒸発源 - 特許庁

To increase the film-forming rate of an arc-type evaporation source by guiding a magnetic line toward a substrate direction.例文帳に追加

アーク式蒸発源において、磁力線を基板方向に誘導して成膜速度を速くする。 - 特許庁

In the thin-film deposition process, a thermal evaporation source is heated by passing current of several amperes. 例文帳に追加

薄膜蒸着過程では、熱蒸発源が数アンペアの電流を通すことにより加熱される。 - 科学技術論文動詞集

To provide a vacuum arc evaporation source which performs large current discharge, and can stably control an arc so as to be confined in a prescribed area on an evaporation face.例文帳に追加

大電流放電を行ってアークを安定して蒸発面上所定のエリアに閉じ込め制御可能とする真空アーク蒸発源を提供する。 - 特許庁

To provide a film deposition system where an EL material can be efficiently vaporized and evaporated, and can be fed in high quality and also at a high rate, to provide an evaporation source device therefor, and further, to provide an evaporation source container therefor.例文帳に追加

効率的にEL材料を気化・蒸発することが可能であり、高品質でかつ高レートで供給することが可能な、成膜装置と蒸発源装置、更には、蒸発源容器を提供する。 - 特許庁

An electron impact type evaporation line source comprises a crucible 1 to store an evaporation material, a filament 2 to generate the electrons, and an acceleration power source to accelerate the electrons generated in the filament 2.例文帳に追加

電子衝撃型蒸発線源は、蒸発材料１７を収納する坩堝１と、電子を発生させるフィラメント２と、フィラメント２で発生した電子ｅ^- を加速する加速電源Ｖａとを有する。 - 特許庁

The steam supplying means 17 comprises an evaporation pan 18 formed into the recessed shape and used as an evaporation source, a first heating means 19 as a steam generating means heating the evaporation pan 18 from a lower part, and a steam cover 20 covering the evaporation pan 18.例文帳に追加

蒸気供給手段１７は、凹状に構成され蒸発源となる蒸発皿１８と、蒸発皿１８を下方から加熱する蒸気発生手段である第１の加熱手段１９および蒸発皿１８を覆う蒸気蓋２０を備えている。 - 特許庁

A flow regulating plate 11 is arranged between the evaporation source 3 and the film forming face and on a line radially drawn from the vapor deposition source 3.例文帳に追加

蒸発源３と成膜面との間の、蒸発源３から放射状に引き出した線上に整流板１１を配置する。 - 特許庁

The thin film deposition system is provided with a vacuum vessel 2, an evaporation source 4 generating an evaporation material 6, and a plurality of substrate holders 34 each holding a substrate 10 having a hollow part 12 to a direction in which the hollow part orients toward the evaporation source 4.例文帳に追加

この薄膜形成装置は、真空容器２と、蒸発物質６を発生させる蒸発源４と、中空部１２を有する基体１０をその中空部が蒸発源４に向く方向にそれぞれ保持する複数の基体保持具３４とを備えている。 - 特許庁

To maintain arc discharge in a vacuum arc evaporation source without introducing gas even in the case where the magnetic field intensity of a magnetic filter is raised to increase plasma transportation efficiency in a vacuum arc evaporation system constituted by combining the vacuum arc evaporation source and the magnetic filter.例文帳に追加

真空アーク蒸発源と磁気フィルタとを組み合わせた真空アーク蒸発装置において、磁気フィルタの磁場強度を高めてプラズマの輸送効率を高める場合にでも、ガス導入を行わなくても真空アーク蒸発源においてアーク放電の維持を可能にする。 - 特許庁

To provide an apparatus for controlling the evaporation quantities of monomers, which surely controls the evaporation rate of each raw material monomer at an evaporation source to a predetermined constant value at a low cost without requiring troublesome work.例文帳に追加

蒸発源での原料モノマーの蒸発レートを、低コストに且つ面倒な作業を付加することなしに、予め定められた一定の量に確実に制御し得るモノマー蒸発量制御装置を提供する。 - 特許庁

Sticking prevention boards 22a, 22b, 22c and 22d provided at supporting shafts 21a and 21b are arranged at a position above the evaporation source 9.例文帳に追加

蒸発源９の上方位置に、支持軸２１ａ，２１ｂに設けられた防着板２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを配設させる。 - 特許庁

To correctly measure the vapor deposition rate of each vapor deposition source in multiple co-evaporation by avoiding cross-talk.例文帳に追加

クロストークを回避して多元共蒸着における各蒸着源の蒸着レートを正確に測定する。 - 特許庁

The arc evaporation source is provided with a target supporting member 61 for fixing and supporting the target cathode 51 from a transverse direction.例文帳に追加

ターゲットカソード５１を横方向から固定して支持するためのターゲット支持部材６１を設ける。 - 特許庁