WTBとは 意味・読み方・使い方

The controller uses two Z heads ZsR and ZsL located on the reflection surfaces 39Y_1 and 39Y_2 which are provided at ±X end of a table WTB, and it measures the height and inclination of the table WTB.例文帳に追加

制御装置は、テーブルＷＴＢの±Ｘ端部に設置された反射面３９Ｙ_1，３９Ｙ_2上に位置する２つのＺヘッドＺｓＲ，ＺｓＬを用いて、テーブルＷＴＢの高さと傾斜を計測する。 - 特許庁

In an exposure device which employs immersion exposure, an immersion region ALq formed of a liquid supplied to between a wafer table WTB and a projection optical system PL may possibly pass over heads 60A to 60D mounted on the wafer table WTB as the wafer table WTB holding a wafer W moves.例文帳に追加

液浸露光方式の露光装置では、ウエハＷを保持するウエハテーブルＷＴＢが移動することによって、ウエハテーブルＷＴＢと投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によって形成される液浸領域ＡＬｑが、ウエハテーブルＷＴＢに搭載されたヘッド６０Ａ〜６０Ｄ上を通過することがある。 - 特許庁

The position information is corrected using the correction information, and the table WTB is driven with high precision based upon the corrected position information.例文帳に追加

従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 - 特許庁

The sensor heads are set on the wafer table WTB according to an operation range of the measuring areas.例文帳に追加

そして、複数のセンサヘッドの配置は、ウエハテーブルＷＴＢ上の、計測対象領域の動作範囲に応じて設定されている。 - 特許庁

A plurality of sensor heads 74_1-74_5 and 76_1-76_5 of a surface position measuring system measure the positional information of a wafer table WTB in the Z-axis direction by applying light to measuring areas 39Y_1 and 39Y_2 of the wafer table WTB from the upper side.例文帳に追加

面位置計測システムの複数のセンサヘッド７４_1〜７４_5、７６_1〜７６_5は、ウエハテーブルＷＴＢの計測対象領域３９Ｙ_1，３９Ｙ_2に対して上方から光を照射してウエハテーブルＷＴＢのＺ軸方向の位置情報を計測する。 - 特許庁

When a best focus position of an optical system PL is measured during the control, the control unit continues position (Z, θy) control over a table WTB without switching Z heads used for the position (Z, θy) control over the table WTB, and acquires measured values of Z heads 74_i and 76_j in order.例文帳に追加

この制御中に、光学系ＰＬのベストフォーカス位置の計測を行う場合には、制御装置は、テーブルＷＴＢの位置（Ｚ、θｙ）制御に用いるＺヘッドを切り換えることなく、テーブルＷＴＢの位置（Ｚ、θｙ）制御を続行するとともに、Ｚヘッド７４_i、７６_jの計測値を順次取り込む。 - 特許庁

Measurement light beams Lx1 and Ly2 are made incident on a grating provided on an upper surface of the table WTB through one side face thereof from light sources 16Xa and 16Ya constituting an encoder system, and optical detectors 16Xb and 16Yb receive diffracted light beams Lx2 and Ly2 originating from those measurement light beams to measure position information on the table WTB.例文帳に追加

エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁

Then, by receiving interference light of a first polarized component returned from the grating and a second polarized component reflected by the PBS, positional information of the wafer table WTB is measured.例文帳に追加

そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁