クリーニングの際のエッチング速度分布の均一化を図ることにより、生産性向上と低コスト化が実現できる基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate treatment apparatus by which productivity is improved and costs are reduced by equalizing the etching speed distribution in the case of cleaning. - 特許庁

製膜速度の向上や、膜厚分布の均一化などを図ることができる真空処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum treatment apparatus which has an improved film-forming rate, more uniform film thickness distribution and the like. - 特許庁

このため、前壁２Ｆの圧力分布の積分値と、後壁２Ｂの圧力分布の積分値との差が小さくなり、ムーンプール２に働く圧力抵抗が低減し、航行速度の向上を図ることができる。例文帳に追加

Whereby the difference between an integrated value of the pressure distribution of the front wall 2F and an integrated value of the pressure distribution of the rear wall 2B is reduced, the pressure drag acting on the moon pool 2 is reduced, and a navigating speed can be improved. - 特許庁

遠心型圧縮機のアキシャルディフューザにおいて、ディフューザ出口での速度分布の均一化を図り、高い静圧回復率Ｃｐが得られるようにし、遠心型圧縮機の有効効率の向上を図ること。例文帳に追加

To improve effective efficiency of a centrifugal compressor by achieving a uniform distribution of fluid velocity at the outlet of a diffuser in an axial diffuser for the centrifugal compressor and a high static pressure recovery ratio Cp. - 特許庁

遠心型圧縮機のアキシャルディフューザにおいて、ディフューザ出口での速度分布の均一化を図り、高い静圧回復率Ｃｐが得られるようにし、遠心型圧縮機の有効効率の向上を図ること。例文帳に追加

To improve the effective efficiency of a centrifugal compressor by achieving a uniform velocity distribution at a difuser outlet and a high static pressure recovery ratio Cp, in an axial diffuser for the centrifugal compressor. - 特許庁

解析プログラム１２は、基盤に生ずる振動波（基盤入力波）を、メッシュ状に区画されたメッシュ状地図の各区画毎に決定し（Ｓ１０４）、決定した振動波に基づいて、各区画における深さ方向での地盤応答（加速度、速度、相対変位、ひずみ等）の分布を計算する（Ｓ１１０）。例文帳に追加

The analysis program 12 determines oscillatory waves (ground input waves) that occur in the ground for each section in a mesh-like map that is divided in the mesh shape (S104), and calculates the distribution of the ground response (acceleration, velocity, relative displacement, distortion, and the like) in a depth direction in each division based on the determined oscillatory waves (S110). - 特許庁

島状半導体層に温度分布をもたせ、温度変化の緩やかな領域を設け核生成速度と核生成密度を制御して結晶粒の大粒形化を図る。例文帳に追加

An island-like semiconductor layer is provided with a temperature distribution as well as a region with moderate temperature change to control a nucleus generation speed and density, resulting in a large crystal grain. - 特許庁

このようにして得たエマルジョン製剤に含まれる油滴の粒子径分布は多峰性であり、粒子径の差によって油滴が生体組織へ取り込まれる速度が異なる現象を利用して製剤の薬効の持続化を図る。例文帳に追加

The oil drops included in the obtained emulsion preparation have a multi-peak particle size distribution and so different absorption rates of the oil drops into orgnismic tissue and, by employing these properties, the preparations are designed to sustain their drug action. - 特許庁

マスクの光強度分布をシミュレーションにより計算する方法として、高精度な計算を可能とする一方で、計算速度の向上を図った光強度計算方法を提供する。例文帳に追加

To provide a light intensity calculating method by which accurate calculation is realized and calculating speed is improved as a method for calculating the light intensity distribution of a mask by simulation. - 特許庁

ガラス微粒子堆積体の成長速度の変化にかかわらず屈折率分布の長手方向の変動を抑えて光ファイバの特性の安定化を図ることができる光ファイバの製造方法を得る。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing an optical fiber by which characteristics of the glass fiber can be stabilized by suppressing the variation of a refractive index distribution in a longitudinal direction regardless of the change of the growth rate of glass particle deposits. - 特許庁

プラズマ分布の均一性確保とプラズマ処理空間からプラズマ発生空間へのガス流入阻止の両立が図れるうえ、プラズマ成分比率の制御性がよいことに加えて、イオン種の直進速度も独立に制御可能となる。例文帳に追加

This will enable the plasma distribution uniformity to be secured and the gas inflow from the plasma processing space into the plasma generation space to be stopped, and the forthright speed of the ion species to be independently controlled, moreover satisfactory controllability for the plasma component ratio. - 特許庁

クリーニング時にエッチングガスまたはエッチング液がスペーサ６の切り欠き部６２を介してスペーサ６と支柱５との間の空間に容易に回り込むので、この部分にエッチング残りが発生することが防止でき、エッチング速度分布の均一化が図れる。例文帳に追加

Since etching gas or an etching liquid is easily infiltrated to the space between the spacer 6 and the support 5 via the notch 62 of the spacer 6, this part is prevented from remaining un-etched, thereby equalizing the etching speed distribution. - 特許庁

航空機の後方乱気流に独特な風速が極小・極大になる点がそれぞれ点対象に存在する速度分布の特徴から後方乱気流の位置と強度を推定し、その精度と検出確率の向上を図った後方乱気流検出装置および方法を提供する。例文帳に追加

To provide a detector of and detection method for rear air turbulence estimating the position and strength of rear air turbulence from the characteristics of velocity distribution in which minimum and maximum points of wind velocity particular in rear air turbulence of aircraft are respectively existing in point symmetry and improving the accuracy and detection probability. - 特許庁

よって、エッチングによる溝が深くなってエッチング液４の液溜りにより液圧が溝底まで伝わり難くなったときにエッチング抑制被膜５の厚さを薄くでき、エッチング速度の安定化を図れると共に深さ方向へのサイドエッチング量の分布を均一化でき異方性を高くできる。例文帳に追加

Therefore, when the groove by the etching becomes deeper and liquid pressure becomes difficult to be transmitted to a bottom of the groove by accumulation of the etching solution 4, thickness of the etching controlled coating 5 becomes thin, stabilization of the etching speed is attained, and distribution of amounts of side etching to a depth direction is uniformized, and the anisotropy becomes high. - 特許庁

浮遊ゲートを有する不揮発性半導体メモリにおいて、メモリセルアレイ内の各セルの閾値のばらつきの抑制と、閾値分布の制御性の向上と、プログラム速度の向上を図れる不揮発性半導体メモリの制御方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for controlling a non-volatile semiconductor memory having a floating gate by which the dispersion of the threshold values of each cell in a memory cell array can be suppressed, the controllability of threshold distribution can be improved, and program speed can be improved. - 特許庁

瞬間式熱交換器のヒーター周囲における流水速度分布の一様化を図り、ヒーター表面の局所的温度変化の発生を抑制し、局所的にヒーター内の発熱線が過熱されてしまったり、局所的熱勾配による発熱線へのストレスが発生してしまうことによって生じる発熱線の断線を防ぐことによって、耐久信頼性の高い瞬間式熱交換器を提供することである。例文帳に追加

To provide an instantaneous heat exchanger having a high durable reliability by uniformalizing flowing water speed distribution around a heater of the instantaneous heat exchanger, restricting generation of local temperature change at a heater surface and preventing a heating wire from being cut which is caused by excessive local heating of the heating wire in the heater and generation of stress to the heating wire by local thermal gradient. - 特許庁

このような構造とすることで、アノードベイン２の先端の両角部分における磁束の傾きが小さくなり、アノードベイン２の先端近傍における管軸方向の磁束分布が改善されて、電子のアノードベイン先端の中央部分とその両角部分に対する到達速度の均一化が図れる。例文帳に追加

By such a structure, gradients of a magnetic fluxes at both corners at tips of the anode vanes 2 become small, and magnetic flux distribution in the tube axial direction near the tips of the anode vanes 2 of is improved, thus, the reaching speed of electrons can be equalized in the central parts and both the corners of the tip of the anode vanes. - 特許庁