CD Accuracyとは 意味・読み方・使い方

To make possible a pattern drafting having a high CD accuracy wherein the line-edge roughness of a resist can be reduced by suppressing the wrong effect of noises.例文帳に追加

ノイズによる悪影響を抑制することにより、レジストのラインエッジラフネスを低減することができ、ＣＤ精度の高いパターン描画を可能にする。 - 特許庁

To provide a chromeless phase mask and a method for producing the chromeless phase mask that can improve CD performance significantly and can keep a light-shielding film on a non-engraved area with high accuracy.例文帳に追加

ＣＤパフォーマンスの大幅な改善が可能であり、且つ精度良く非掘り込み部上に遮光膜を残すことが可能なクロムレス位相シフトマスク及びクロムレス位相シフトマスクの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a technique for suppressing a loading effect relating to the production of a photomask (10) that poses a problem of reduction in CD (critical dimension) accuracy due to the loading effect.例文帳に追加

ローディング効果によるＣＤ精度の低下が問題となるフォトマスク（１０）の製造に関し、ローディング効果を抑制するための手法を提供する。 - 特許庁

Accordingly, a thin resist film can be formed at the time of patterning the upper electrode, an increase (with gradual sloping) in the tapering angle of the upper electrode among the capacitance elements can be controlled by the control of a CD shift, and thereby an improvement in machining accuracy and fine processing can also be attained.例文帳に追加

これにより上部電極をパターニングする際のレジスト膜厚を薄膜化でき、ＣＤシフトの抑制により、容量素子間の上部電極のテーパー角度が大きく（傾斜が緩やかに）なることを抑制し、加工精度の向上や微細加工を実現することができる。 - 特許庁

To provide a photomask blank which is capable of shortening the dry-etching time by increasing the dry-etching speed of a light shielding film, reducing the film reduction of a resist film, improving resolution and pattern accuracy (CD accuracy) by reducing the thickness of the resist film, and forming a light shielding film pattern having a good cross-sectional shape due to the reduction of the dry-etching time.例文帳に追加

遮光膜のドライエッチング速度を高めることで、ドライエッチング時間が短縮でき、レジスト膜の膜減りを低減することができ、レジスト膜を薄膜化して解像性、パターン精度（ＣＤ精度）を向上でき、ドライエッチング時間の短縮化による断面形状の良好な遮光膜のパターンが形成することができるフォトマスクブランクを提供する。 - 特許庁

To provide an optical pickup and a manufacturing method of the optical pickup in which accuracy of recording/reproducing of a plurality of optical disk media such as CD, DVD, BD can be improved by adjusting by simple operation even if errors during manufacturing and/or assembling are caused in an objective lens and an objective lens holder, in the optical pickup provided with two different NA objective lenses.例文帳に追加

２個の異なるＮＡの対物レンズを備えた光ピックアップであって、対物レンズ及び対物レンズホルダに製造及び（又は）組み立て時の誤差が生じても、簡単な操作で調整することでＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等の複数の光ディスクメディアの記録／再生の精度を高めることができる光ピックアップ及び光ピックアップの製造方法を提供する。 - 特許庁

To achieve effective use of a 24 bit corresponding DAC (Digital Analog Converter) 13 and quality improvement of reproduction sound by improving the bit extension accuracy from 16 bits to 24 bits when reproducing voice currently recorded on a CD-DA (Compact Disk Digital Audio) 11 by 16 bit data using a DSP (Digital Signal Processor) 12 and the DAC 13 which correspond to 24 bit.例文帳に追加

ＣＤ−ＤＡ１１に１６ビットデータで記録されている音声を、２４ビット対応のＤＳＰ１２及びＤＡＣ１３を用いて再生する場合に、１６ビットから２４ビットへのビット拡張精度を改善して、２４ビット対応ＤＡＣ１３の有効活用及び再生音の高品質化を図る。 - 特許庁

The intensity of the reflected light beams from the land tracks irradiated with the sub-beams varies under the influence of curvature of the disk, temperature in recording, laser wavelength variation, etc., however not influenced by a last recording state, thus high- accuracy running OPC (optimum power control) is realized in the recording to the CD-RW and information can be recorded stably over the entire disk area.例文帳に追加

サブビームの照射されるランドトラックからの反射光の強度は、ディスクの反り、記録中の温度、レーザ波長変動などを反映して変動するものの、前回の記録状態の影響を受けることはないので、ＣＤ−ＲＷへの記録において高精度なランニングＯＰＣが実現され、ディスク全域にわたって安定して情報を記録することができる。 - 特許庁