Down-Flow Clean Roomとは 意味・読み方・使い方

To provide a device which does not disturb the laminar flow of a down flow inside a down flow system clean room without causing a turbulence by a cup cover near the cup cover, when the cup cover of a spin coater device installed inside the clean room moves vertically.例文帳に追加

ダウンフロー方式のクリーンルーム内設置したスピンコーター装置のカップカバーの上下動作時、前記カップカバー近傍において、クリーンルーム内のダウンフローの層流を乱さず、カップカバーにあたり乱流することがない装置を提供することにある。 - 特許庁

To prevent contamination of articles carried in a clean room blowing out a down flow as much as possible, in a rail-guided truck system.例文帳に追加

有軌道台車システムにおいて、ダウンフローを吹き出すクリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止する - 特許庁

A walking area 5 for workers is provided on the lower side of a floor 2 of the clean room in such a manner that an air flow passing through the floor flows down in the walking area.例文帳に追加

作業員等の歩行領域(5)をクリーンルームの床(2)の下側に設け、床を通過した空気流を歩行領域に流下させる。 - 特許庁

To provide a mobile anti-smoke hanging wall capable of suppressing the prevention of a down flow in a clean room.例文帳に追加

クリーンルーム内のダウンフローを阻害することが抑制された可動式の防煙垂れ壁を提供する。 - 特許庁

To provide a clean room that secures a required down-flow speed even if a circulating air volume is small, and facilitates a filter leak test.例文帳に追加

循環風量が少なくても、必要なダウンフローの風速を確保でき、しかもフィルタリーク試験も簡単に行えるクリーンルームを提供する。 - 特許庁

Accordingly, since the down- flow of the clean room is not disturbed and dust falling on the floor surface can be easily recovered, the cleanliness of the clean room is maintained.例文帳に追加

よって、クリーンルームのダウンフローを乱すことが無く、さらにクリーンルームの床面に落ちた塵等の回収を容易に行なうことができるので、クリーンルームの清浄度は維持される。 - 特許庁

Then the pellicle is press-fitted to the mask while heated clean air is made to flow as a down flow almost parallel to the mask from the ceiling side of the clean room to the floor.例文帳に追加

そして、クリーンルームの天井側から床面に向けて、加熱された清浄空気をマスクにほぼ平行にダウンフローとして流出させながらマスクに対してペリクルを圧着する。 - 特許庁