Si ringとは 意味・読み方・使い方

A surface layer of the composition containing silicon (Si) is formed on a track groove 2a of an inner ring 2 and a track groove 3a of an outer ring 3.例文帳に追加

内輪２の軌道溝２ａおよび外輪３の軌道溝３ａに、珪素（Ｓｉ）を含む組成の表面層を形成する。 - 特許庁

The Si ring 16 is worn and deteriorated when the plasma discharge time is accumulated with the etching process.例文帳に追加

Ｓｉリング１６は、エッチング処理によりプラズマ放電時間が累積されると、摩耗劣化してくる。 - 特許庁

The Si rings 161 and 162 constitute a useful Si ring 16 to expand plasma around a silicon semiconductor wafer WF.例文帳に追加

これらＳｉリング１６１，１６２は、シリコン半導体ウェハＷＦのウェハの周囲にプラズマを拡張させる一つの有用なＳｉリング１６を構成している。 - 特許庁

The outer circumferential ring 13, consisting of a Si ring 131 with an auxiliary to positioning in placing the wafer WF and the underlying Al ring 132, is provided around the lower electrode part 11.例文帳に追加

下部電極部１１の周囲には、ウェハＷＦの載置に関する位置決め補助を伴うＳｉリング１３１、その下のＡｌリング１３２でなる外周リング１３が設けられる。 - 特許庁

A material constituting an outer ring 7 and an inner ring 8 is made of iron type alloy containing C of 0.15 to 0.5 wt.%, Si of 0.1 to 1.5 wt.%, Mn of 0.1 to 1.5 wt.% and Cr of 0.5 to 3.0 wt.%.例文帳に追加

又、外輪７及び内輪８を構成する素材を、０．１５〜０．５重量％のＣと、０．１〜１．５重量％のSiと、０．１〜１．５重量％のMnと、０．５〜３．０重量％のCrとを含む鉄系合金製とする。 - 特許庁

To provide a dry-etching apparatus having structure to maintain a stable plasma condition and achieve the longer operation life of an external circumferential ring in a chamber such as an Si ring.例文帳に追加

安定なプラズマ状態を維持でき、Ｓｉリングなどチャンバー内の外周リングの長寿命化が図れる構成を有するドライエッチング装置を提供する。 - 特許庁

To provide a dry etching apparatus where a stable plasma state can be maintained and that has a structure capable of extending life of the outer circumferential ring such as a Si ring in a chamber.例文帳に追加

安定なプラズマ状態を維持でき、Ｓｉリングなどチャンバー内の外周リングの長寿命化が図れる構成を有するドライエッチング装置を提供する。 - 特許庁

A piston ring 1 is composed of a base metal 2, a nitriding layer 3, and the Cr-B-Si-N alloy film 4.例文帳に追加

ピストンリング１は、母材２と、窒化層３と、Ｃｒ−Ｂ−Ｓｉ−Ｎ合金皮膜４とから構成されている。 - 特許庁