alkaline etchingとは 意味・読み方・使い方

To provide an efficient regeneration of an etching solution, in an etching step that uses an alkaline permanganate etching solution, in order to inhibit the etching efficiency from deteriorating and to reduce a harmful waste solution.例文帳に追加

アルカリ過マンガン酸エッチング溶液を用いたエッチングにおいてエッチング効率の低下を防止し、有害廃液を減らすために、効率良くエッチング溶液の再生を行う。 - 特許庁

SILICON WAFER ETCHANT COMPOSED OF HIGH PURITY ALKALINE, AND ETCHING METHOD USING THE SAME例文帳に追加

高純度アルカリからなるシリコンウェハーエッチング液及びそれを用いたエッチング方法 - 特許庁

In this method, the alkaline etching is treated after the acid etching, the concentration of the alkaline etchant is set to be 8 mol/l or more, and the etching rate of the acid etching is set to be 0.2 μm/sec or more in total in the front and rear surfaces of the silicon wafer.例文帳に追加

この特徴ある構成は、酸エッチングの後にアルカリエッチングが行われ、アルカリエッチング液の濃度を８ｍｏｌ／ｌ以上とし、かつ酸エッチングのエッチングレートをシリコンウェーハの表面と裏面を合わせた合計で０．２μｍ／秒以上とするところにある。 - 特許庁

This characteristic constitution includes a first etching process 13a wherein acid etching is performed in the etching process and a second etching process 13b wherein alkaline etching is performed after the first etching process, and includes a back light polishing process 14 for polishing the uneven part of the back of the wafer which is formed by the first etching process, between the first etching process and the second etching process.例文帳に追加

この特徴ある構成は、エッチング工程が酸エッチングする第１エッチング工程１３ａとこの第１エッチング工程の後にアルカリエッチングする第２エッチング工程１３ｂとを含み、第１エッチング工程と第２エッチング工程との間に第１エッチング工程で形成されたウェーハ裏面の凹凸の一部を研磨する裏面軽研磨工程１４を含む。 - 特許庁

A wet-etching jig 3 holds a substrate 11 in which etching is carried out by immersing in an alkaline liquid 2.例文帳に追加

本発明のウェットエッチング用の治具３は、アルカリエッチング液２に浸漬させることでエッチングがなされる基板１１を保持するものである。 - 特許庁

The surface of a mirror-finished silicon wafer W is alkali-etched by 40 nm using alkaline etching liquid with less roughness on the etching surface.例文帳に追加

鏡面仕上げされたシリコンウェーハＷの表面に、エッチング面のあれが少ないアルカリ性エッチング液を使用し、４０ｎｍだけアルカリエッチする。 - 特許庁

In this embodiment, alkaline solvent containing amine in a non-aqueous solvent is used as the etching liquid.例文帳に追加

本実施例では、エッチング液として、非水系溶剤でアミンを含んだアルカリ溶剤液を用いることとする。 - 特許庁

ELECTRODE CAN PLATING METHOD OF FLAT FORM ALKALINE CELL, ANODE CAN PLATING METHOD OF FLAT FORM ALKALINE CELL, ANODE CAN PLATING DEVICE OF FLAT FORM ALKALINE CELL, ANODE CAN ETCHING DEVICE OF FLAT FORM ALKALINE CELL, ANODE CAN SURFACE REFORMING DEVICE OF FLAT FORM ALKALINE CELL, ANODE CAN CLEANING DEVICE OF FLAT FORM ALKALINE CELL, AND ANODE CAN DRYING DEVICE OF FLAT FORM ALKALINE CELL例文帳に追加

扁平形アルカリ電池の電極缶メッキ方法、扁平形アルカリ電池の負極缶メッキ方法、扁平形アルカリ電池の負極缶メッキ収装置、扁平形アルカリ電池の負極缶エッチング装置、扁平形アルカリ電池の負極缶表面改質装置、扁平形アルカリ電池の負極缶洗浄装置及び扁平形アルカリ電池の負極缶乾燥装置 - 特許庁