atmospheric windowとは 意味・読み方・使い方

An induced electromagnetic field that is induced by an antenna coil 11, that is provided at the atmospheric side of a dielectric window 5 and is connected to a high-frequency power supply 4, is made uniform by metal thin films 12, 12a-12l, that are provided near the antenna coil 11.例文帳に追加

誘電体窓５の大気側に設けられ高周波電源４に接続されたアンテナコイル１１により誘起された誘電電磁界を、アンテナコイル１１近傍に設けられた金属薄膜１２、１２ａ〜１２ｌにより均一化する。 - 特許庁

To appropriately arrange a getter inside in a vacuum package without the necessity of machining a window-side wafer for the arrangement of the getter and the formation of columns or performing more extra processes than before and prevent an element and a window part from coming into contact with each other inside a vacuum state when the outside is returned to an atmospheric pressure.例文帳に追加

真空パッケージにおいて、ゲッタ配置のためや支柱形成のための加工を窓側ウエハに対しては行なわず、従来に比べての余分な工程を必要とせず、ゲッタを内部に適切に配置することができ、なおかつ、外部を大気圧に戻したときに真空状態の内部において素子と窓部とが互いに接触することも防止できるようにする。 - 特許庁

It is provided with an infrared thermometer arranged at an atmospheric pressure side for measuring temperature of the plurality of revolving wafers and a window made of BaF_2 or ZnSe for measuring temperature of the wafers inside the vacuumed device with the infrared thermometer.例文帳に追加

前記複数の公転しているウェーハの温度を測定するための、大気側に配置された赤外線放射温度計、および前記赤外線放射温度計により、前記真空中の装置内にあるウェーハの温度を計測するための、BaF2またはZnSe製の窓を具備する。 - 特許庁

To provide a thermal CVD (Chemical Vapor Deposition) system where, even in the case the size of a substrate is enlarged, the thickening of an infrared transmission window installed between a heating means and the substrate for maintaining its strength to the atmospheric pressure is prevented, and the increase of the cost can be suppressed.例文帳に追加

基板サイズが大型化された場合においても、加熱手段と基板との間に設置される赤外線透過窓の厚みを大気圧に対して強度保持のために厚くすることを防止し、コストアップを抑えることができる熱ＣＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

A bottom plate reinforcing plate 10, integrated with a bottom plate 7 of the casing 4, is provided; and a support frame 13 is provided between a peripheral part 5 of the casing 4 and the bottom plate reinforcing plate 10, so as to apply atmospheric pressure on the bonded part of the window 3 and the peripheral part 5.例文帳に追加

筐体４の底板７と一体化された底板強化板１０を設け、筐体４の縁辺部５と底板強化板１０との間に支持枠１３を設けて、大気圧が透明窓３と縁辺部５との接着面に掛かるようにした。 - 特許庁

To provide a quartz window, which can maintain the differential pressure between the reduced-pressure environment of thermal treatment equipment which performs heat treatment on an object to be treated under the reduced-pressure environment and the atmospheric pressure and absorbs little heat from a heat source, a reflector, and thermal treatment equipment.例文帳に追加

本発明は、被処理体に減圧環境下で熱処理を施す熱処理装置の減圧環境と大気圧との差圧を維持することができ、かつ、熱源からの熱の吸収が比較的少ない石英ウインドウ、リフレクタ及び熱処理装置を提供することを例示的目的とする。 - 特許庁

The internal pressure of a wire chamber is kept equal to the atmospheric pressure by negative pressure generated by positive pressure of a signal output reading gas container supplied to the wire chamber and compressed air, a large volume of gas is made to flow by a pressure difference therebetween to protect a window of the wire chamber, and gas is allowed to be replaced quickly at the same time.例文帳に追加

ワイヤーチェンバーに供給される信号出力読出ガス−ボンベの正圧と圧縮空気によって作られる負圧によってワイヤーチェンバー内圧力を大気圧と同圧に保ち加えてその圧力差により多量のガスを流す事でワイヤーチェンバーの窓を守り同時に急速なガス交換を可能にする発明である。 - 特許庁

To obtain an exhaust gas cleaning catalyst developing high cleaning capacity with respect to an HC component not cleaned heretofore, especially, a hardly combustible HC component even under a wide atmospheric condition from a rich region to a lean region centering around a stoichiometric region, expanding a cleaning window on a lean side even with respect to NOx and excellent in durability, and an exhaust gas cleaning system using this catalyst.例文帳に追加

従来は未浄化だったＨＣ成分、特に難燃ＨＣにつき、ストイキを中心としてリッチからリーンのより広い雰囲気条件下において高い浄化性能を発揮し、且つＮＯｘについても、リーン側の浄化ウィンドウを拡大し、耐久性にも優れた排気ガス浄化用触媒及び排気ガス浄化システムを提供すること。 - 特許庁