charged particle densityとは 意味・読み方・使い方

In a charged particle beam system for measuring the line width or the like of a pattern formed on a sample based on secondary electrons emitted from a sample by scanning on the sample with a charged particle beam, interval of the scanning line of the charged particle beam is set not to exceed an irradiation density determined based on the physical properties of the sample.例文帳に追加

荷電粒子線を試料上で走査し、試料より放出された二次電子に基づいて、試料上に形成されたパターン等の線幅等を測長する荷電粒子線装置において、試料の物性に基づいて決定される照射密度を上回らないように前記荷電粒子線の走査線間隔を設定する。 - 特許庁

This structure is constituted by combining integrally a first layer shielding material 11 formed of a light material of low density which generates hardly nuclear fragmentation by action of the charged particle of high energy incident from an outside to decelerate the charged particle of high energy with a second layer shielding material 13 formed of a heavy material of high density to decelerate the incident charged particle effectively.例文帳に追加

外から入射してくる高エネルギー荷電粒子の作用で核破砕を起こし難い密度が小さい軽材料で形成して前記高エネルギー荷電粒子を減速する１層目の遮蔽材１１と、密度が大きい重材料で形成して入射した荷電粒子を効果的に減速する２層目の遮蔽材１３とを一体的に組み合わせて構成した。 - 特許庁

Correction dose is determined to correct a deviation of dose between a first time point t1 at which a charged particle beam is regarded to get to a reference current density by a controlling unit configured to control the shot period of the particle beam drawing system, and a second time point t2 at which the charged particle beam really gets to the reference current density on a target substrate.例文帳に追加

粒子ビーム描画装置のショット期間を制御するように構成された制御ユニットが荷電粒子ビームが基準電流密度に到達したと見なす第１時点ｔ１と、前記荷電粒子ビームが実際にターゲット基板にて基準電流密度に到達する第２時点ｔ２との間の線量偏差を補正する補正線量が決定される。 - 特許庁

To improve in simplification and certainty of electron-optical adjustment works of a charged particle beam scanning device through accurate and effective detection of shapes, sizes and density distribution of single charged- particle beams as well as display and recording of the result.例文帳に追加

荷電粒子線走査式装置において、単一荷電粒子線の形状、寸法、密度分布を正確かつ効率的に検出し、またその結果を表示または記録することで、電子光学系調整作業の簡略化と確実性を向上させる。 - 特許庁

To provide means capable of improving line width linearity by optimizing current density uniformity of a figure 8 having restricted dimensions, as to an automatic adjusting method of a charged particle beam drawing device and the charged particle beam drawing device.例文帳に追加

荷電粒子ビーム描画装置の自動調整方法及び荷電粒子ビーム描画装置に関し、寸法の制限された図形８の電流密度均一性を最良化し、線幅線形性を向上させることができる手段を提供することを目的としている。 - 特許庁

To provide a method for generating a charged particle beam such as an electron beam, etc. for focusing the electron beam by suppressing the diffusion of the electron beam due to a space charge effect even when an electron density in the electron beam is increased and even when an exposure speed is accelerated, and to provide a charged particle beam device.例文帳に追加

電子ビーム中の電子密度を増加させても露光速度を上げても、空間電荷効果による電子ビームの拡散を抑制して電子ビームを集束させる電子ビーム等の荷電粒子線の発生方法および荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam exposure method or the like which minimizes influence of change of blurring, which depends on pattern density, and improves imaging performance and throughput.例文帳に追加

パターン密度に依存したボケの変化の影響を最小限に抑え、結像性能やスループットの向上を目指した荷電粒子線露光方法等を提供する。 - 特許庁

When a charged particle is detected, a cluster ion exciting electron multiplier is employed and operated as a high-pass filter thus performing effective counting at a density of small number of particles.例文帳に追加

また、荷電パーティクルの検出に、クラスタイオン励起の電子増倍管を用い、さらにハイパスフィルタとして動作させることで、少ないパーティクル数密度でも有効なカウンを行う。 - 特許庁