coma positionとは 意味・読み方・使い方

In such a case, a projection 22e indicates astigmatism of the first lens 20 and an aberration direction of coma or the like, a rotary position around an optical axis of the first lens 20 can be adjusted accurately for a second lens 30.例文帳に追加

この際、突起２２ｅは、第１レンズ２０の非点収差やコマ等の収差方向を表すものとすることができるので、第１レンズ２０の光軸まわりの回転位置を第２レンズ３０に対して精密に調整することができる。 - 特許庁

When it is assumed that the maximum value of intensity of a vertical deflection magnetic field on the tube axis, and intensity of the vertical deflection magnetic field on the tube axis at the position where the pair of coma coils 8 are arranged in the tube axis direction are H_MAX and H_C, respectively, H_C/H_MAX≥0.8 is satisfied.例文帳に追加

管軸上の垂直偏向磁界の強度の最大値をＨ_MAX、管軸方向において一対のコマコイル８が配置された位置における管軸上の垂直偏向磁界の強度をＨ_Cとしたとき、Ｈ_C／Ｈ_MAX≧０．８を満足する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam apparatus which does not make an electrode inside diameter too small and a deflection voltage too high and can decide a beam incident position on an objective lens image surface and rectify a deflecting coma aberration and a deflecting color aberration simultaneously.例文帳に追加

電極内径を小さくしすぎることなく、また偏向電圧を高くしすぎることなく、対物レンズ像面におけるビーム入射位置を決定しつつ偏向コマ収差と偏向色収差を同時に補正することのできる荷電粒子ビーム装置を提供する。 - 特許庁

In the controlling portion, a circuit which stops the motor by a signal from a detector of the paying-out end of the belt, which has a limit switch for transmitting the rotation of drum 13 to the rotation of a screw shaft and detecting the position of a feeding coma screwed on the screw shaft, is prepared.例文帳に追加

制御部には、ドラム１３の回転をネジシャフトの回転に伝え、そのネジシャフトに螺合する送りコマの位置を検出するリミットスイッチを備えた、ベルトの繰り出しエンドの検出装置からの信号でモータを停止させる回路が設けられている。 - 特許庁

A pair of coma coils 8 for correcting VCR being displacement in the vertical axis direction of a central electron beam with respect to the centers of a pair of side electron beams on the vertical axis on the upper and lower sides of a screen are arranged at a position in the vicinity of the electron gun side end of a deflection yoke 6.例文帳に追加

偏向ヨーク６の電子銃側端近傍の位置に、画面上下の垂直軸上における前記一対のサイド電子ビームの中心に対する前記中央電子ビームの垂直軸方向における位置ずれであるＶＣＲを補正する一対のコマコイル８が設けられる。 - 特許庁

Four circular patterns of a chart 24 is projected to a sensor 5 through the lens system F, and the binary picture of a chart picture at plural slice levels is obtained, so that the eccentric quantity and the eccentric direction are calculated based on the eccentric quantity and the eccentric direction of coma aberration obtained from a centroid position.例文帳に追加

この偏心量と偏心方向は、チャート２４の４個の円形パターンをレンズ系Ｆを介してセンサ５に投影し、チャート像の複数のスライスレベルにおける２値化画像を求めて、その重心位置から得られるコマ収差の偏心量と偏心方向に基づいて算出される。 - 特許庁

An image of a wedge mark group for measuring the best focusing position and images of box and in-box marks for measuring a coma aberration of the projection optical system are exposed at a plurality of focusing positions Z1 to Z5 at positions near a wafer by a micro-step system, and a resist pattern is formed by the following development.例文帳に追加

ベストフォーカス位置計測用の楔型マーク群の像、及び投影光学系のコマ収差計測用のボックス・インボックスマークの像を、複数のフォーカス位置Ｚ１〜Ｚ５でウエハ上の近接した位置にマイクロ・ステップ方式で露光し、その後の現像によってレジストパターンを形成する。 - 特許庁

To provide an optical path adjusting optical device, a light source device and an optical head device capable of adjusting the length of an optical path before the divergent light emitted from two light sources at nearly the same position enters a collimator lens, and capable of preventing astigmatism or a coma aberration from being generated at that time.例文帳に追加

略同じ位置にある２つの光源から出射された発散光がコリメータレンズに入射する前に光路の長さを調整することができ、かつ、この際に非点収差あるいはコマ収差の発生するのを防止することのできる光路調整用光学装置、光源装置、および光ヘッド装置を提供すること。 - 特許庁