eewとは 意味・読み方・使い方

To provide an integrated substrate inspection apparatus which is automated and carries out all of EBR/EEW inspection, pattern defect inspection, and reticle error inspection on a substrate.例文帳に追加

基板のEBR/EEW検査、パターンの欠陥検査及びレティクルエラー検査を全部実施することができる自動化された統合基板検査装置を提供する。 - 特許庁

An image processing section 140 carries out the EBR/EEW inspection on the substrate based on the first image, and carries out the pattern defect inspection and the reticle error inspection based on the second image.例文帳に追加

イメージ処理部１４０は第１イメージから基板のEBR/EEW検査を実施し、第２イメージからパターンの欠陥検査及びレティクルエラー検査を実施する。 - 特許庁

Then, when it is judged that there are present abnormalities in the edge data, an EEW controller 900 performs an alarm announcement.例文帳に追加

そして、エッジデータに異常有りと判断されたときには、ＥＥＷコントローラ９００アラーム発報を行う。 - 特許庁

An interface block 16 contains a seventh center robot CR7; a feed buffer section; a conveyance mechanism IFR for interfaces; and an edge exposure section EEW.例文帳に追加

インターフェースブロック１６は、第７のセンターロボットＣＲ７、送りバッファ部、インターフェース用搬送機構ＩＦＲおよびエッジ露光部ＥＥＷを含む。 - 特許庁

The portable electronic apparatus 1 includes: an EEW reception part 23 for receiving incoming Earthquake Early Warning (EEW); an EWS reception part 24 for receiving an Emergency Warning System (EWS) to be broadcast in a reception-enabled state; and a control part 30 for performing control to change over the EWS reception part 24 from a reception-disabled state to the reception-enabled state when the EEW reception part 23 receives Earthquake Early Warning.例文帳に追加

携帯電話機１は、送信されてくる緊急地震速報（ＥＥＷ）を受信するＥＥＷ受信部２３と、放送される緊急警報放送（ＥＷＳ）を受信可能状態にて受信するＥＷＳ受信部２４と、ＥＥＷ受信部２３が緊急地震速報を受信するとＥＷＳ受信部２４を受信不可能状態から受信可能状態に切り替える制御を行う制御部３０とを備える。 - 特許庁

The degassing unit DG subjects a substrate to a degassing treatment after an edge exposure treatment by an edge exposure unit EEW and before an exposure treatment by an exposure apparatus 6.例文帳に追加

エッジ露光部ＥＥＷによるエッジ露光処理後であって露光装置６による露光処理前に、脱ガスユニットＤＧにより基板の脱ガス処理が行われる。 - 特許庁

An edge exposure part EEW includes: a projection part 510; a projection part holding unit 520; a substrate rotating unit 540; an outer peripheral edge detecting unit 550; and a surface inspection treatment unit 580.例文帳に追加

エッジ露光部ＥＥＷは、投光部５１０、投光部保持ユニット５２０、基板回転ユニット５４０、外周端部検出ユニット５５０および表面検査処理ユニット５８０を備える。 - 特許庁