micro-voidとは 意味・読み方・使い方

To provide a molding material comprising a thermoplastic saturated norbornene based polymer excellent in heat resistance, water resistance, strength or the like and capable of providing a molded product free from defects such as micro void, forming, streak and the like.例文帳に追加

耐熱性、耐水性、強度等に優れるとともに、ミクロボイドや発泡、条痕等による欠陥のない成形品を与えることができる熱可塑性飽和ノルボルネン系ポリマーからなる成形用材料を提供すること。 - 特許庁

To form a wiring by filling micro recesses made in a semiconductor substrate efficiently with a plating metal through a simple process while suppressing void and contamination.例文帳に追加

簡単な工程で、半導体基板に形成された微細窪みにボイドや汚染の少ないめっき金属を効率良く充填して、配線を形成することができる基板めっき装置及び方法を提供する。 - 特許庁

To obtain a semiconductor device employing STI(shallow trench isolation) method so that no void is left even in a trench of micro width having a high aspect ratio and no damage is left on a silicon substrate.例文帳に追加

微少幅で且つアスペクト比が高い溝にも、ボイドが残存することなく且つシリコン基板にダメージが残らないように、ＳＴＩ分離法を採用する半導体装置を製造する。 - 特許庁

To provide a micro-structure manufacturing method suitable for forming a separate opposite portion separated from a substrate and opposed to the substrate via void into a prescribed shape, regardless of an unevenness mode of a sacrificial layer forming region on the substrate.例文帳に追加

基板から離隔して空隙を介して基板に対向する離隔対向部位を、基板上の犠牲層形成領域の凹凸態様に拘らず、所定の形状で形成するのに適したマイクロ構造体製造方法を提供する。 - 特許庁

To stabilize the quality of an annealed wafer by reliably decreasing SSDs (surface shallow defects which are recessed defects of an extremely wide and shallow shape on the surface), while ensuring generation of void defects other than the SSDs and generation of BMDs (bulk micro defects) indispensable as a gettering source in the bulk.例文帳に追加

アニールウェーハにとって必要不可欠なウェーハ表面におけるＳＳＤ（表面の非常に幅広く、浅い形状の凹状欠陥；Surface Shallow Defect）以外のボイド欠陥の低減や、バルク内のゲッタリング源としてのＢＭＤ（バルク微細欠陥；Bulk micro defect）の生成を保証しつつ、ＳＳＤを確実に低減させるようにして、アニールウェーハの品質を安定させる。 - 特許庁

This fluid pump controls a temperature activity of a light beam, in order to transport a fluid such as a bio-fluid and a chemical solution, by injecting gas bubbles into a micro fluidic device where the fluid is fully filled via a minute void so that the injected gas bubbles transport via the micro fluidic channel caused by heat capillary pressure.例文帳に追加

本発明の流体ポンプは、バイオ流体及び化学溶液等の流体を移送させるため、微小な空隙を介して流体が満たされたマイクロフルイディック装置にガスバブルを注射し、注射されたガスバブルが熱毛細管圧力に起因してマイクロフルイディックチャネルを介して動くように光ビームの温度活動を制御する。 - 特許庁

To provide a thermosetting die-bonding film for suppressing generation of a micro-void or local shrinkage at a peripheral part of a semiconductor element when die-bonding the semiconductor element onto an adhering object, and resultantly improving a manufacturing yield of a semiconductor device.例文帳に追加

被着体上に半導体素子をダイボンドする際に、その周縁部にマイクロボイドや局所的なヒケが発生するのを抑制し、その結果、半導体装置の製造歩留まりの向上が可能な熱硬化型ダイボンドフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide solder paste in which a void is hard to be formed in a solder joining part and micro-cracks do not occur in a residual film of a fluxe even under the atmosphere that a difference in temperatures is large, and a circuit substrate reflow-soldered by using the solder paste.例文帳に追加

はんだ接合部にボイドが発生し難く、寒暖の差の激しい雰囲気下においてもフラックスの残さ膜にマイクロクラックを生じないソルダーペースト及びそのソルダーペーストを用いてリフローはんだ付した回路基板を提供すること。 - 特許庁