mixed exposureとは 意味・読み方・使い方

To form a fine isolated pattern at almost the same degree as dense patterns in exposure for transferring a circuit pattern in which the isolated pattern and the dense patterns are mixed.例文帳に追加

孤立パターンと密集パターンとが混在する回路パターンを転写する露光において、密集パターンと同程度に微細な孤立パターンを形成する。 - 特許庁

Thus, high alignment accuracy can be maintained, even when exposure processing is applied to the lots in which plates of different pattern forming states are mixed.例文帳に追加

これにより、パターンの形成状態の異なるプレートが混在したロットを露光処理する場合においても、高い重ね精度を維持することが可能となる。 - 特許庁

To reduce contamination such as gas and dust mixed into liquid and/or restricting a decrease in yield caused by the control of liquid in an oil immersion exposure device.例文帳に追加

液浸露光装置において、液体への気体や塵埃等の異物の混入を低減すること、及び／又は、液体の制御による生産性の低下を抑制する。 - 特許庁

To obtain a sufficient density of printed image by increasing the exposure amount to a photographic paper even when the photographic paper with a low sensitivity is used while preventing exposing with mixed color light beams.例文帳に追加

感度の低い印画紙を用いた場合でも、混色光による露光を回避しつつ、印画紙に対する露光量を増加させて焼き付け画像の濃度を十分に出す。 - 特許庁

To provide a resist material which suppresses the occurrence of a mixed layer of a resist film and a protective film when forming the protective film, can suppress the occurrence of blob defects after exposure and development, and excels in long-term stability and exposure stability, and a pattern forming method using the resist material.例文帳に追加

本発明は、保護膜を形成したときのミキシング層の発生を抑え、露光現像後のブロッブ欠陥の発生を抑えることができる、長期安定性と露光安定性に優れたレジスト材料、及び該レジスト材料を用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

Since the influences of non-uniformity characteristics at both ends of the exposure head are mixed and averaged in the overlap region B1, irregularity occurring in the seam of scanning regions As can be decreased.例文帳に追加

重複範囲Ｂ１では、露光ヘッドの両端部の不均一特性の影響を混和させて均すことができるため、走査領域Ａｓの繋ぎ目に生じるムラを緩和できる。 - 特許庁

To provide a transfusion line connecting tool for simultaneously solving the problems of the liquid stagnation of a connector and the exposure of the needle tip of the connecting tool in the case of the mixed injection of liquid chemicals or the like to a transfusion line.例文帳に追加

本発明は、輸液ラインへの薬液等の混注時における、コネクターの液溜まりと接続具の針先の露出という問題を同時に解消するための輸液ライン接続具を提供する。 - 特許庁

A minute amount of chloromethyl calix[n]arene (n=4, 5, 7, 8) is mixed with high purity chloromethyl calix[6]arene of the same species so as to change chloromethyl calixarene into amorphous one while keeping the exposure sensitivity and resolution.例文帳に追加

同種の高純度クロロメチルカリックス[６]アレーンに対して、クロロメチルカリックス[ｎ]アレーン(ｎ＝４,５，７，８)を微量混合することで、クロロメチルカリックスアレーンの露光感度と分解能を維持しながらアモルファス化する。 - 特許庁