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To provide a continuous vacuum treatment apparatus which sucks a very small quantity of the atmospheric air in, does not flutter and damage an article to be treated, has further a satisfactory seal property, and has a seal part for adequately keeping a chamber vacuum.例文帳に追加
本発明の目的は、大気の流入が極少なく、かつ被処理物のばたつき、傷つきがなく、さらに良好なシール性を有し、チャンバー内の真空を良好に保つことのできるシール部を有する連続真空処理装置を提供することにある。 - 特許庁
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