「PIEZOELECTRIC THIN FILM」に関連した英語例文の一覧と使い方(7ページ目) - Weblio英語例文検索

PIEZOELECTRIC THIN FILM ELEMENT, INKJET HEAD AND INKJET RECORDER例文帳に追加

圧電体薄膜素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置 - 特許庁

To provide a structure of a piezoelectric thin film resonator capable of extending a fractional band-width.例文帳に追加

比帯域幅を大きく出来る圧電薄膜共振器の構造を提供する。 - 特許庁

To surely manufacture a thin film piezoelectric resonator with a desired electric characteristic.例文帳に追加

所望の電気的特性を有する薄膜圧電共振子を確実に製造する。 - 特許庁

DIFFRACTIVE THIN-FILM PIEZOELECTRIC MICROMIRROR AND METHOD OF PRODUCING THE SAME例文帳に追加

回折型薄膜圧電マイクロミラーおよびその製造方法 - 特許庁

PIEZOELECTRIC THIN-FILM DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加

圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法 - 特許庁

To provide a substrate with a piezoelectric thin film by which it is possible to suppress the lowering of a piezoelectric constant d_31 of the piezoelectric element even after piezoelectric operation is continuously conducted for a long period in the piezoelectric element comprising the substrate with the piezoelectric thin film comprising a Pb-free piezoelectric material.例文帳に追加

鉛フリーの圧電体を有する圧電薄膜付き基板から形成される圧電素子について、長期間、連続的な圧電動作をした後であっても、圧電素子の圧電定数ｄ_３１の低下を抑制できる圧電薄膜付き基板を提供する。 - 特許庁

On the top surface side of the thin-film piezoelectric body 12, an upper thin-film electrode 13 is formed and on the reverse surface side, a lower thin-film electrode 14 is formed.例文帳に追加

薄膜圧電体１２の上面側には、上部薄膜電極１３が形成され、下面側には、下部薄膜電極１４が形成されている。 - 特許庁

The piezoelectric element comprises a perovskite piezoelectric thin film, including Pb, Zr, and Ti, and an oxide thin film which includes no Zr formed between the piezoelectric thin film and a diaphragm or electrode which also serves as a diaphragm.例文帳に追加

Ｐｂ、ＺｒおよびＴｉを含むペロブスカイト型の圧電体薄膜とその圧電体薄膜と振動板もしくは振動板の効果をあわせ持った電極との間にＺｒを含まない酸化物薄膜を設けることからなるものである。 - 特許庁

Each resonator has a piezoelectric thin film 15 having piezoelectricity and a lower electrode 14 and an upper electrode 16 which are arranged on both the surfaces of the piezoelectric thin film 15 and apply a voltage for excitation to the piezoelectric thin film 15.例文帳に追加

各共振子は、圧電性を有する圧電薄膜１５と、圧電薄膜１５の両面に配置され、圧電薄膜１５に対して励振用電圧を印加するための下部電極１４および上部電極１６を有している。 - 特許庁

In this piezoelectric substrate having a substrate and a piezoelectric thin film formed on the substrate, the substrate is composed of a diamond substrate 1, and the piezoelectric thin film is composed of the thin film of Langasite crystals 2, 3 and 4.例文帳に追加

基板と前記基板上に形成された圧電性薄膜とを有する圧電性基板において、前記基板をダイヤモンド基板１より構成し、前記圧電性薄膜をランガサイト型結晶２、３，４の薄膜より構成した。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin-film element capable of sufficiently exhibiting the functions of a piezoelectric thin film even in a low voltage by allowing each of portions of piezoelectric thin film to have characteristics required for each of them, and to provide a manufacturing method thereof.例文帳に追加

圧電体薄膜の各部に要求される動きに応じた特性をそれぞれ持たせることにより、低電圧でも、圧電体薄膜の機能を十分に発揮することのできる圧電体薄膜素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a piezoelectric device including a substrate, a piezoelectric thin film supported by the substrate, and an upper electrode and a lower electrode formed opposite to each other by clamping the piezoelectric thin film in the thickness direction, that suppresses scattering of a bulk elastic wave in the piezoelectric thin film to enhance the piezoelectric characteristic.例文帳に追加

基板と、この基板によって支持される、圧電薄膜ならびに圧電薄膜を厚み方向に挟んで互いに対向するように形成される上電極および下電極とを備える、圧電装置において、圧電薄膜内でのバルク弾性波の散乱を抑制し、圧電特性を改善する。 - 特許庁

To improve piezoelectric characteristics by suppressing the scattering of bulk elastic wave in a thin piezoelectric film in a piezoelectric device utilizing a thickness vertical vibration and including: a board; and the thin piezoelectric film and upper and lower electrodes formed to be mutually opposed by holding the thin piezoelectric film between them in a thickness direction, which are supported by the board.例文帳に追加

基板と、この基板によって支持される、圧電薄膜ならびに圧電薄膜を厚み方向に挟んで互いに対向するように形成される上電極および下電極とを備え、厚み縦振動を利用する、圧電装置において、圧電薄膜内でのバルク弾性波の散乱を抑制し、圧電特性を改善する。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin-film vibrator having no warpage, a drive unit using the vibrator, and a piezoelectric motor, related to the piezoelectric thin-film vibrator comprising a piezoelectric element formed by using a thin-film formation technology, the drive unit using the the vibrator, and the piezoelectric motor.例文帳に追加

本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin-film element which can be greatly improved in piezoelectric characteristic by obtaining a piezoelectric thin film which contains (K, Na)NbO_3 as a main phase and has superior piezoelectric characteristics.例文帳に追加

（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ_３を主相とした優れた圧電特性を有する圧電薄膜を得ることにより、圧電特性を大きく向上させることを可能とする圧電薄膜素子を提供する。 - 特許庁

With the generated heat, a piezoelectric thin film is detached from the piezoelectric single crystal substrate using the ion implantation layer as a detaching interface, and a piezoelectric composite substrate including the piezoelectric thin film and the supporting substrate is formed.例文帳に追加

この発熱によりイオン注入層を剥離面として、圧電薄膜が圧電単結晶基板から剥離され、圧電薄膜と支持基板とを有する複合圧電基板が形成される。 - 特許庁

To provide a substrate with a piezoelectric thin film, which has an excellent piezoelectric constant d_31 and small deterioration in piezoelectric properties accompanying a rise in temperature, and to provide a piezoelectric thin film element, an actuator, and a sensor.例文帳に追加

圧電定数ｄ_３１が良好であると共に、圧電特性の温度上昇に伴う特性の劣化の小さい圧電薄膜付基板、圧電薄膜素子、アクチュエータ、及びセンサを提供する。 - 特許庁

To provide a technology of decreasing the dependence of the piezoelectric characteristic of a piezoelectric thin film 103 in a piezoelectric thin film element used for an ink jet or the like on the electric field strength and enhancing the piezoelectric characteristic at a low electric field strength.例文帳に追加

インクジェットヘッド等に用いる圧電体薄膜素子における圧電体薄膜１０３の圧電特性の電界強度依存性を小さくし、かつ低電界強度における圧電特性を向上させる。 - 特許庁

To provide a piezoelectric body thin film element without causing cracking in the film during manufacturing, having a high piezoelectric strain constant value, and the favorable adhesion of the film to a lower electrode, and to provide an ink jet recording head which achieves printing with high definition using the piezoelectric body thin film element.例文帳に追加

製造中に膜内にクラックの発生がなく、高い圧電ひずみ定数を有するとともに、下電極との密着性が良好である圧電体薄膜素子を提供する。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin-film element which has superior piezoelectric characteristics and dielectric loss by using a lead-free piezoelectric material.例文帳に追加

非鉛圧電材料を用いて圧電特性と誘電損失に優れた圧電薄膜素子を提供することを目的とする。 - 特許庁

PIEZOELECTRIC LAMINATE, MANUFACTURING METHOD OF SAME, SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT, THIN FILM PIEZOELECTRIC RESONATOR, AND PIEZOELECTRIC ACTUATOR例文帳に追加

圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ、ならびに圧電体積層体の製造方法 - 特許庁

To provide a piezoelectric element formed by a liquid deposition method, having an excellent piezoelectric characteristic, and formed of a piezoelectric thin film.例文帳に追加

液相成長法による優れた圧電特性を有する圧電薄膜からなる圧電体素子を提供すること。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a composite piezoelectric substrate, capable of forming an ultra-thin piezoelectric film having a uniform thickness by efficiently using a piezoelectric material.例文帳に追加

圧電体材料を効率良く利用して、均質な厚みの極薄圧電膜を形成することができる、複合圧電基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin film and a piezoelectric element in which a rhombohedral structure and a tetragonal structure are mixed and have excellent piezoelectric property.例文帳に追加

菱面体晶構造と正方晶構造を混在させた良好な圧電性を有する圧電薄膜および圧電素子を提供する。 - 特許庁

The piezoelectric actuator 70 is provided with a second electrode film 75b, a thin-film piezoelectric body, and a first electrode film 75a.例文帳に追加

圧電アクチュエータ７０は、第２の電極膜７５ｂ、薄膜圧電体７３及び第１の電極膜７５ａを有する。 - 特許庁

PIEZOELECTRIC FILM, PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR, PIEZOELECTRIC PUMP, INK-JET RECORDING HEAD, INK-JET PRINTER, SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT, THIN FILM PIEZOELECTRIC RESONATOR, FREQUENCY FILTER, OSCILLATOR, ELECTRONIC CIRCUIT, AND ELECTRONIC APPARATUS例文帳に追加

圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器 - 特許庁

PIEZOELECTRIC FILM, PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR, PIEZOELECTRIC PUMP, INK-JET TYPE RECORD HEAD, INK-JET PRINTER, SURFACE ELASTIC WAVE ELEMENT, FREQUENCY FILTER, OSCILLATOR, ELECTRONIC CIRCUIT, THIN-FILM PIEZOELECTRIC RESONATOR AND ELECTRONIC DEVICE例文帳に追加

圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器 - 特許庁

A vibration section 20 consisting of a dielectric thin film 14, a couple of electrode thin films 16 and a piezoelectric thin film 18 is formed on the substrate 12.例文帳に追加

基板１２上に、誘電体薄膜１４、１対の電極薄膜１６、圧電体薄膜１８からなる振動部２０を形成する。 - 特許庁

An AlN piezoelectric thin film 14 whose major component is a thin film AlN, a lower layer electrode 16a, an AlN piezoelectric thin film 18 whose major component is piezoelectric thin film AlN and an upper layer electrode 16b are formed on the Si substrate 12 in this order.例文帳に追加

Ｓｉ基板１２の上には、薄膜としてのＡｌＮを主成分とするＡｌＮ圧電薄膜１４、下層電極１６ａ、圧電薄膜としてのＡｌＮを主成分とするＡｌＮ圧電薄膜１８および上層電極１６ｂが、その順番に形成される。 - 特許庁

To provide a small and fine thin film piezoelectric element having sufficient piezoelectric characteristics by modulating the composition of a piezoelectric thin film material in the direction of film thickness.例文帳に追加

圧電薄膜を用いた薄膜圧電素子において、圧電薄膜材料の組成を膜圧方向に変調させることにより、十分な圧電特性を有し、小型で微細な薄膜圧電素子を提供する。 - 特許庁

In the piezoelectric acoustic element in which a piezoelectric thin film 403 is formed in the diaphragm 421 provided in the silicon substrate 411, upper electrodes 404a and 404b and a lower electrode 402 are provided vertically on the top surface and the bottom surface of the piezoelectric thin film 403, respectively to give voltage to the piezoelectric thin film 403.例文帳に追加

シリコン基板４１１に設けたダイアフラム４２１に、圧電薄膜４０３を形成した圧電音響素子において、圧電薄膜４０３に電圧を与えるために、圧電薄膜４０３の上下に、上部電極４０４ａ、４０４ｂと下部電極４０２が設けられている。 - 特許庁

The thin piezoelectric film 5 is also constituted of the epitaxial film having the twin crystal structure.例文帳に追加

また、圧電薄膜５についても、双晶構造を有するエピタキシャル膜から構成される。 - 特許庁

To manufacture a sputtering target material for manufacturing a piezoelectric thin film with adequate film quality.例文帳に追加

良好な膜質の圧電体薄膜を製造できるスパッタリングターゲット材を製造すること。 - 特許庁

The piezoelectric thin film 14 contains a columnar crystal extended in a direction in crossing with the film face.例文帳に追加

圧電薄膜１４は、膜面に対して交差する方向に延びる柱状の結晶を含んでいる。 - 特許庁

To provide a film deposition apparatus for depositing a uniform metal thin film on a piezoelectric wafer to the outer circumference.例文帳に追加

圧電体ウエハにその外周まで均一な金属薄膜を形成できる成膜装置を提供する。 - 特許庁

The piezoelectric thin film 104 is an oriented film made of ZnO oriented toward, for example, c axis.例文帳に追加

圧電薄膜１０４は、例えばｃ軸に配向されたＺｎＯの配向膜である。 - 特許庁

A peeled surface of the piezoelectric thin film 10 is covered with an peeling surface protective film 25 (S107).例文帳に追加

圧電薄膜１０の剥離面を剥離面保護膜２５で被覆する（Ｓ１０７）。 - 特許庁

The piezoelectric thin film element 23 comprises a diaphragm film 25, a common electrode 27 formed on the diaphragm film 25, a piezoelectric thin film 29 formed on the common electrode 27 and an individual electrode 31 formed on the piezoelectric thin film 29.例文帳に追加

圧電体薄膜素子２３は、振動板膜２５と、振動板膜２５上に形成された共通電極２７と、共通電極２７上に形成された圧電体薄膜２９と、圧電体薄膜２９上に形成された個別電極３１とを備えている。 - 特許庁

A piezoelectric thin-film element 10 includes a piezoelectric film 30 disposed between upper and lower electrodes 40 and 20.例文帳に追加

圧電体薄膜素子１０は上部電極４０と下部電極２０に挟まれる圧電体膜３０を備える。 - 特許庁

A piezoelectric thin film 2 is formed on a lower face of a first metallic electrode 1 and a semiconductor layer 3 is formed on a lower face of the piezoelectric film 2.例文帳に追加

第１の金属電極１の下面には圧電体膜２が形成され、圧電体膜２の下面に半導体層３が形成されている。 - 特許庁

To provide a thin film piezoelectric resonator and its manufacturing method with which the crack and fracture of a piezoelectric film can be suppressed.例文帳に追加

圧電体膜の亀裂及び破断の発生を抑えることが可能な薄膜圧電共振器及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A support substrate, which is composed of a dielectric film 12 and a base substrate 13, is formed on the piezoelectric thin film 11 separated from the piezoelectric substrate 1.例文帳に追加

次に、圧電基板１から分離した圧電薄膜１１に、誘電体膜１２およびベース基板１３からなる支持基板を形成する。 - 特許庁

A uni-morph type thin film piezoelectric actuator formed of monocrystalline piezoelectric film 2 is disposed to each of at least both side faces of a pressurizing chamber 1.例文帳に追加

圧力室１の少なくとも両側面に単結晶圧電体膜２からなるユニモルフ型薄膜圧電アクチュエータを配置する。 - 特許庁

A ratio of the thickness of the piezoelectric materials laminated film 10 to the average cross-sectional diameter of the columnar particles of the second piezoelectric material thin film 4 is not less than 20 and not more than 60.例文帳に追加

第２圧電体薄膜４の柱状粒子の平均断面径に対する圧電体積層膜１０の厚みの比が２０以上６０以下である。 - 特許庁

More specifically, the thin film tuning fork type bending oscillator 1 has a tuning fork type bending oscillator where a thin film made of piezoelectric material is deposited on a substrate on which lower electrodes are formed, and where upper electrodes are formed on the piezoelectric thin film.例文帳に追加

より具体的には、薄膜音叉型屈曲振動子１は、下部電極が形成された基板上に圧電材料の薄膜が成膜され、この圧電体薄膜上に上部電極が形成された、音叉型屈曲振動子を有する。 - 特許庁