「PIEZOELECTRIC THIN FILM」に関連した英語例文の一覧と使い方(22ページ目) - Weblio英語例文検索

A driving source of the actuator 143 is a thin film, consisting of a piezoelectric element, such as a PZT (lead zirconate titanate) etc., and its length is made to be expanded and reduced into a perpendicular direction relating to a plane of the base 142, in response to an applied voltage value, thereby the imaging device 14 is made to be transformed.例文帳に追加

このアクチュエータ１４３の駆動源はＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電素子からなる薄膜であり、印加される電圧値に応じて、台座１４２の平面に対して垂直方向（図３の上下方向）にその長さを伸縮させ、撮像装置１４を変形させる。 - 特許庁

An upper exciting electrode 11 is provided on the other principal face in the thickness direction of the piezoelectric thin film 41 while opposing the lower exciting electrode 21, and the electrode 11 is an ellipse where the ratio a/b of the length (a) of the major axis diameter to the length (b) of the minor axis diameter is 1.9<a/b<5.0.例文帳に追加

上部励振電極１１は、下部励振電極２１に対向して、圧電薄膜４１の厚み方向の他方の主面に設けられており、長軸径の長さａと、短軸径の長さｂとの比、ａ／ｂが、１．９＜ａ／ｂ＜５．０となる楕円形である。 - 特許庁

A method for manufacturing the piezoelectric device comprises the steps of opening a window in a triangular shape on the main surface of a crystal plate to form a protective film, then melting the window part through wet etching, thinning the window part to process into recessed shape, and processing so that a thin plate is in the triangular shape as seen from the main surface.例文帳に追加

水晶の板の主面に三角形の形状で窓を開けて保護膜を形成した後、ウエットエッチングすることで窓の部分が溶解され薄板化し凹形状に加工し、薄板部が主面より見て三角形であるよう加工する。 - 特許庁

Since the upper electrode 6 having the plurality of ring units 8 each concentrically formed and each having the same width and distance is to be provided, thereby the thin film piezoelectric resonator can be obtained, which is capable of heightening a Q value at the time of resonation, capable of reducing its area, capable of improving accuracy of the resonation frequency, and capable of operating in high frequency.例文帳に追加

幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部８を有する上部電極６を備えるため、共振時のＱ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。 - 特許庁

The excitation elements 2 for exciting surface acoustic waves in two directions and the reception elements 3 for receiving the surface acoustic waves from the two directions are composed by forming interdigital electrodes 5 and flat electrodes 6 on the front surface and the back surface of a thin-film-like piezoelectric body 4, respectively.例文帳に追加

２方向へ表面弾性波を励振する励振素子２及び２方向からの表面弾性波を受信する受信素子３は、薄膜状の圧電体４の表面に櫛形電極５、裏面に平板電極６を形成して構成されている。 - 特許庁

After the first substrate 3 is removed, the thin film piezoelectric substance element 1 stuck to the second substrate 5 is stuck to the prescribed member 10 by a second adhesive 9 which is not peeled off by irradiation with the ultraviolet rays UV, while the second substrate 5 is removed by irradiation with the ultraviolet rays UV.例文帳に追加

第１の基体３を除去した後に、第２の基体５に接着された薄膜圧電体素子１を所定の部材１０に紫外線ＵＶの照射では剥離しない第２の接着剤９により接着する一方、紫外線ＵＶを照射して第２の基体５を除去する。 - 特許庁

After forming a pattern of a lower electrode made of metal on the surface of a substrate, an etching stop layer made of material different from that of the lower electrode is formed on the surface of the pattern of the lower electrode, which is an area including an area that is not covered by a piezoelectric thin film.例文帳に追加

前記基板の表面に金属からなる下部電極のパターンを形成した後、この下部電極のパターンの表面であって、前記圧電体薄膜により被覆されない領域を含む領域に前記下部電極とは異なる材質のエッチングストップ層を形成する。 - 特許庁

To provide an ultra-thin board piezoelectric vibration element which is easy to mass-produce since wire bonding is possible, generates no variation in characteristics, can suppress unnecessary spurious, and having electrode structure which is easy in electrode film thickness control and can prevent a CI value from deterioration.例文帳に追加

ワイヤボンディングが可能である為に量産が容易であり、特性のばらつきが発生せず、不要なスプリアスを抑圧でき、しかも電極膜厚制御が容易で、且つ、ＣＩ値の劣化を防止できる電極構造を有する超薄板圧電振動素子を提供する。 - 特許庁

The surface acoustic wave filter comprises a surface acoustic wave resonator 1201 of a parallel arm and a surface acoustic wave resonator 1202 of a series arm formed on a piezoelectric substrate, and tops of the surface acoustic wave resonators are covered with an SiO_2 thin film.例文帳に追加

本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板上に形成された並列腕の弾性表面波共振器１２０１と直列腕の弾性表面波共振器１２０２とにより構成され、弾性表面波共振器の上部はＳｉＯ_2薄膜で覆われている。 - 特許庁

A method which isolates a piezoelectric thin film acoustic resonance device is provided in order to prevent a wave which is generated with the device and propagates in the lateral direction from leaving the device and/or interfering with an adjacent device or a system.例文帳に追加

圧電薄膜音響共振デバイスによって生成される横方向に伝搬する波が、該デバイス放れることおよび／または隣接するデバイスまたはシステムと干渉することを防止するために、該デバイスを分離する方法を提供する。 - 特許庁

A piezoelectric transducer 1 is provided with through holes 3, through holes 5 and through holes 13 corresponding to the through holes 3 are provided on a first matching layer 4 and a second matching layer 12, formed in thin plate shapes or film shapes with a desired thickness.例文帳に追加

圧電振動子１に貫通孔３を設けるとともに、所望の厚さの薄板状或いはフィルム状に形成された第１の整合層４，第２の整合層１２に貫通孔３に対応する貫通孔５，貫通孔１３をそれぞれ設ける。 - 特許庁

A HGA 30 is provided with a head slider 32 having a thin film magnetic head, a suspension 40 to which the head slider is mounted, and a piezoelectric actuator 70 mounted on a mounting plane S of the suspension 40 and displacing relatively the head slider 32 for the suspension 40.例文帳に追加

ＨＧＡ３０は、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダ３２と、ヘッドスライダが搭載されたサスペンション４０と、サスペンション４０の搭載面Ｓに搭載され、ヘッドスライダ３２をサスペンション４０に対して相対的に変位させる圧電アクチュエータ７０とを備えている。 - 特許庁

Then, the other surface side of the substrate is removed so as to expose the conductive material inside the respective recessed parts, through-holes filled with the conductive material are formed, and a lower electrode pattern, a piezoelectric thin film and an upper electrode pattern are formed on the substrate.例文帳に追加

次いで前記基板の他面側を前記各凹部内の導電性材料が露出するように除去して導電性材料が充填された貫通孔を形成し、前記基板上に前記下部電極パターン、圧電薄膜及び上部電極パターンを形成する。 - 特許庁

In a surface acoustic wave transducer which is formed by stacking and bonding different kinds of metallic films on a piezoelectric substrate, a thin film of an insulating material is deposited so as to cover the top surface and both side surfaces of electrode fingers constituting the transducer, thereby forming the transducer.例文帳に追加

圧電基板上に異種金属薄膜を積層付着して形成した弾性表面波変換器であって、該弾性表面波変換器を構成する電極指の上面及び両側面を覆うように絶縁物質の薄膜を付着して弾性変換器を形成する。 - 特許庁

The suspension 40 is provided with a supporting beam part 50 of which the base end side is connected to an actuator arm 22, a flexure 60 having a wiring connected electrically to a thin film magnetic head 31, and an piezoelectric actuator 70 displacing relatively a head slider 32 for a supporting beam part 50.例文帳に追加

サスペンション４０は、基端側がアクチュエータアーム２２に接続される支持ビーム部５０と、薄膜磁気ヘッド３１に電気的に接続される配線を有するフレクシャ６０と、ヘッドスライダ３２を支持ビーム部５０に対して相対的に変位させる圧電アクチュエータ７０とを備えている。 - 特許庁

In order to acquire a capacity detection signal, a constitution is adopted so that the metal spring is vibrated by the piezoelectric element to be in contact with the dielectric thin film on the conductive substrate having the ground potential, instead of application of a conventional AC signal, to thereby detect a capacitance change.例文帳に追加

容量検出信号を得るために、従来の交流信号を印可する代わりに、接地電位にした導電性基板上の誘電体薄膜に対して金属バネを圧電素子により振動接触するように構成し、静電容量の変化を検出する。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin film vibrator with small characteristic variation and a filter using it by suppressing bad influence of a lateral mode wave, adopting a structure with sufficient strength of a membrane part and manufacturing nature of a good air gap.例文帳に追加

横モードの波による悪影響を抑制しつつ、十分なメンブレン部の強度と良好な空隙の製造性を有した構造を採用することにより、特性ばらつきの少ない圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタを提供すること。 - 特許庁

To provide a piezoelectric thin film element having high reliability without degenerating insulating characteristics even if the element is driven by applying voltage thereto for a long period of time, an inkjet head utilizing same, and to provide an inkjet recorder having the inkjet head as printing means.例文帳に追加

長期間に渡って電圧を印加して駆動させても、絶縁性を低下させず高い信頼性を有する圧電体薄膜素子、それを用いたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドを印字手段として備えたインクジェット式記録装置を得ること。 - 特許庁

Portions of a vibrator 11 formed out of a monocrystal silicon substrate 1, other than surfaces where a lower electrode 4a, a piezoelectric thin film 5a, and upper electrodes 6a, 6b, and 6c, are ground by means of reactive ion etching, dry isotropic ion etching, or crystal anisotropic etching, thereby obtaining a desired detuning degree.例文帳に追加

反応性イオンエッチング、乾式等方性イオンエッチング又は結晶異方性エッチングにより、単結晶シリコン基板１から形成された振動子１１の下部電極４ａ、圧電薄膜５ａ、上部電極６ａ，６ｂ，６ｃが形成された面以外を研削することで、所望の離調度とする。 - 特許庁

The ink jet recording head comprises a pressure generating chamber 12 formed in a silicon single crystal substrate conducting with a nozzle opening, an elastic film 50 forming a part of the pressure generating chamber, a lower electrode 60 arranged on the elastic film 50, a piezoelectric layer 70 and an upper electrode 80 wherein a lower electrode thin film part 60a is formed in a region facing the pressure generating chamber 12.例文帳に追加

ノズル開口に連通するシリコン単結晶基板に形成された圧力発生室１２と、この圧力発生室の一部を構成する弾性膜５０と、該弾性膜５０上に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧力発生室１２に対向する領域に下電極薄膜部６０ａを形成する。 - 特許庁

The thin film acoustic resonator comprises a substrate 21; a sound reflector 24 formed by laminating a low acoustic impedance layer 23, and a high acoustic impedance layer 22 having an acoustic impedance higher than that of the low acoustic impedance layer 23 alternately on the substrate 21; and an acoustic resonator 28 formed by laminating a lower electrode 25, a piezoelectric film 26, and an upper electrode 27 sequentially on the sound reflector 24.例文帳に追加

薄膜音響共振器は、基板２１と、基板２１の上に低音響インピーダンス層２３と低音響インピーダンス層２３と比べて音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層２２とが交互に積層されてなる音響反射部２４と、音響反射部２４の上に下部電極２５と圧電膜２６と上部電極２７とが順次積層されてなる音響共振部２８とを備えている。 - 特許庁

This actuator is stuck between an object such as a magnetic head slider having at least one thin film magnetic head element and a support mechanism, is used for the positioning of the object and utilizes a piezoelectric phenomenon, and at least, a part of surface except the stuck part of the actuator and an electrode part is covered with a film to be coated.例文帳に追加

少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ等の対称物と支持機構との間に固着してその対象物の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、このアクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が被覆膜によって覆われている。 - 特許庁

A cavity forming film 13 is formed in a fixed area 193 outside a free vibration area 192, and a cavity 135 is formed so as to separate, from the supporting substrate 11, a vibrating body 10 obtained by layering the lower surface electrode 14, the piezoelectric thin film 15 and the upper surface electrode 16 in the free vibration area 192.例文帳に追加

キャビティ形成膜１３は、自由振動領域１９２の外側の固定領域１９３に形成され、自由振動領域１９２において下面電極１４と圧電体薄膜１５と上面電極１６とを積層した振動体１０を支持基板１１から隔てるキャビティ（空洞）１３５を形成している。 - 特許庁

A multi-mode thin film acoustic wave resonator filter 100 comprises first and second input/output vibration portions 110 and 111 configured by holding a piezoelectric thin film 103 between first and second lower electrodes 104 and 106 and first and second upper electrodes 105 and 107, and a cavity 102 for commonly guaranteeing vibrations of the first and second input/output vibration portions 110 and 111 so as to couple the vibrations.例文帳に追加

多重モード薄膜弾性波共振器フィルタ１００は、第１及び第２の下部電極１０４及び１０６と第１及び第２の上部電極１０５及び１０７とで、圧電薄膜１０３を挟むことによって構成された第１及び第２の入出力振動部１１０及び１１１と、第１及び第２の入出力振動部１１０及び１１１の振動を共通に確保することによって、この振動を結合するための空洞部１０２とを備える。 - 特許庁

The liquid ejection head comprises a substrate 20 in which a pressure chamber 21 is formed, a diaphragm 30 formed on the substrate, and a piezoelectric thin film element 40 formed on the diaphragm wherein the diaphragm is deflected to project toward the pressure chamber side and deflection of the diaphragm is within 0.4% of the width W of the pressure chamber.例文帳に追加

圧力室２１が形成された基板２０と、基板上に形成された振動板３０と、振動板上に形成された圧電体薄膜素子４０と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板が前記圧力室側に凸となるようにたわんでおり、前記振動板のたわみ量Ｓが、前記圧力室の幅Ｗの０．４％以下である。 - 特許庁

In order to enable the multidirectional switching by an optical waveguide device, an optical waveguide layer formed of, specially, a piezoelectric thin film 2 is so patterned and arranged as to dispose a plurality of branch parts, and the refractive index of an optical transmission medium is varied by using acoustooptic effect, etc., to perform the switching.例文帳に追加

光導波路装置において多方向のスイッチングを可能にするもので、特に、圧電性薄膜２からなる光導波路層を複数の分岐箇所を持つようにパターニングして配設しておくようにし、音響光学効果などを利用して、光伝送媒体の屈折率を変化させ、スイッチングを行うようにしている。 - 特許庁

The actuator 23 is provided with a slider holding table 24 which unidirectionally extends and has a slider installation part 24a for fixing a thin film magnetic head slider 11 formed at an end part and two piezoelectric elements 25 which are fitted on both sides of the slider holding table 24 and are extensible in an extended direction of the slider holding table 24.例文帳に追加

本発明に係るアクチュエータ２３は、一方向に延在すると共に、薄膜磁気ヘッドスライダ１１を取り付けるスライダ取付部２４ａが一の端部に形成されているスライダ保持台２４と、スライダ保持台２４の両側に取り付けられると共に、スライダ保持台２４の延在方向に伸縮可能な２個の圧電素子２５と、を備える。 - 特許庁

Next, a resonator including a lower electrode layer 104, an upper electrode layer 106 facing the lower electrode layer 104, and a piezoelectric thin film 105 positioned between the lower electrode layer 104 and the upper electrode layer 106 is formed to be laid above an island portion surrounded with the cavity pattern layer 102 and the portion of the cavity pattern layer 102 surrounding the island portion.例文帳に追加

つぎに、前記空洞雛型層１０２で囲まれた島部分の上と前記島部分を囲む空洞雛型層１０２の部分の上とに横たわるように、下部電極層１０４と、下部電極層１０４に対向する上部電極層１０６と、下部電極層１０４と上部電極層１０６との間に位置する圧電体薄膜１０５とを含んだ共振器を形成する。 - 特許庁

In this case, the films 3, 4 are capable of being at least one of strontium oxide, magnesium oxide, cerium oxide, zirconium oxide, yttrium stabilized zirconium oxide, and a strontium titanate, the inorganic amorphous layer or the organic solid layer 2 are capable of being silicon oxide, and a piezoelectric or ferroelectric material, for example, is used as the thin film 5.例文帳に追加

ここで前記酸化物薄膜層３、４は酸化ストロンチウム、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、イットリウム安定化酸化ジルコニウム、チタン酸ストロンチウムのうち少なくとも一つであり得、また上記無機アモルファス層又は有機固体層２は酸化シリコンであり得、また前記ペロブスカイト型酸化物薄膜５には、例えば圧電材料又は強誘電体を用いる。 - 特許庁

The SAW sensor is provided with a SAW element mounting part 11 and a SAW element driving signal generation part 12, the SAW element mounting part 11 includes a SAW element 2 of a comb type electrode and an antenna 4 on a piezoelectric substrate 1, the comb type electrode and the antenna are formed on the same substrate by the same process by thin film formation technology.例文帳に追加

ＳＡＷ素子搭載部１１とＳＡＷ素子駆動信号発生部１２とを有するＳＡＷセンサであって、ＳＡＷ素子搭載部１１は、圧電基板１上に櫛形電極よりなるＳＡＷ素子２とアンテナ４とを有するものとし、櫛形電極およびアンテナが同一基板上に薄膜形成技術によって同一工程で形成されているＳＡＷセンサを提供する。 - 特許庁

The directions of the respective comb-line electrodes 13 and 14 are decided so as to make electrode fingers constituting the comb-line electrodes 13 for the transmission elements and the electrode fingers constituting the comb-line electrodes 14 for the reception elements non-parallel to each other corresponding to the refraction angle of the surface acoustic waves generated at the touch area side end part of the piezoelectric thin film 15.例文帳に追加

圧電薄膜１５のタッチ領域側端部で生じる表面弾性波の屈折角に応じて、発信素子用櫛形電極１３を構成する電極指と受信素子用櫛形電極１４を構成する電極指とが互いに非平行となるように各櫛形電極１３，１４の向きが決定されている。 - 特許庁

With this manufacturing process, the degreasing process with an ultraviolet ray irradiation or an alkaline aqueous solution treatment can be performed at a room temperature or 80°C or below so that the upper limit of temperature for the entire manufacturing process for a piezoelectric thin-film element 5 is set to a temperature required for hydrothemal treatment (for example, 200°C) or below, realizing a manufacture process at a low temperature.例文帳に追加

このような製造工程を備えることで、紫外線照射又はアルカリ水溶液処理による脱脂工程は室温下又は８０℃以下で行うことができ、圧電体薄膜素子（５）の全体の製造工程温度の上限を水熱処理に必要な温度（例えば、２００℃）以下に設定することができるため、製造プロセスの低温化を実現することができる。 - 特許庁

The frequency variable oscillator is provided with a semiconductor chip 11 with a feedback circuit B11 formed therein, a SAW vibrator W11 and a variable capacitance capacitor C11 are layered on the semiconductor chip 11, and a thin film piezoelectric substance layer 14 constituting the SAW vibrator W11 is used to form the variable capacitance capacitor C11.例文帳に追加

周波数可変発振器には、帰還回路Ｂ１１が形成された半導体チップ１１が設けられるとともに、ＳＡＷ振動子Ｗ１１および可変容量コンデンサＣ１１は半導体チップ１１上に積層され、ＳＡＷ振動子Ｗ１１を構成する薄膜圧電体層１４を用いることで、可変容量コンデンサＣ１１を形成する。 - 特許庁

The air gap type thin film bulk acoustic resonator comprises a substrate having a cavity formed in a predetermined region on the upper surface, a resonator having such a structure as a first electrode, a piezoelectric substrate and a second electrode are formed sequentially in layers, and at least one via hole communicating with the cavity while penetrating the lower part of the substrate.例文帳に追加

エアギャップ型の薄膜バルク音響共振器は、上部表面の所定領域に空洞部が形成された基板と、第１電極、圧電物質、および第２電極が順次積層された構造で形成された共振部と、基板の下部を貫通して空洞部に連結された少なくとも１つのビアホールを含む。 - 特許庁