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vacuum processingの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1013件
ANALOG INPUT AND OUTPUT CIRCUIT AND VACUUM PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
アナログ入出力回路及び真空処理装置 - 特許庁
SEPARATION STATE DETERMINING METHOD AND VACUUM PROCESSING DEVICE例文帳に追加
離脱状態判断方法及び真空処理装置 - 特許庁
VACUUM SWITCH AND CONDITIONING PROCESSING METHOD THEREFOR例文帳に追加
真空開閉器およびそのコンディショニング処理方法 - 特許庁
INLINE VACUUM PROCESSING APPARATUS, METHOD OF CONTROLLING INLINE VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING INFORMATION RECORDING MEDIUM例文帳に追加
インライン真空処理装置、インライン真空処理装置の制御方法、情報記録媒体の製造方法 - 特許庁
ELECTROSTATIC CHUCK OF VACUUM PROCESSING DEVICE, VACUUM PROCESSING DEVICE COMPRISING IT, AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTROSTATIC CHUCK例文帳に追加
真空処理装置の静電チャック、それを有する真空処理装置、及び静電チャックの製造方法 - 特許庁
To provide a vacuum processing apparatus for processing a thick large-sized substrate.例文帳に追加
厚膜の大型基板を処理可能な真空処理装置を提供する。 - 特許庁
To decrease an installation area of a vacuum processing apparatus having a plurality of vacuum chambers.例文帳に追加
複数の真空室を有する真空処理装置の設置面積を小さくする。 - 特許庁
Even when the vacuum processing needs a long time, the vacuum processing and the update processing do not adversely effect each other.例文帳に追加
バキューム処理が長時間を必要とするときでも、バキューム処理および更新処理が相互に悪影響を及ぼすことがない。 - 特許庁
TRANSFER MECHANISM AND VACUUM PROCESSING EQUIPMENT COMPRISING THE SAME例文帳に追加
搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 - 特許庁
SUCTION APPARATUS, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND VACUUM PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
吸着装置、その製造方法、真空処理装置 - 特許庁
VACUUM INTEGRATED SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND FILM DEPOSITION METHOD例文帳に追加
真空一貫基板処理装置及び成膜方法 - 特許庁
CLEANING GAS AND CLEANING METHOD OF VACUUM PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
クリーニングガス及び真空処理装置のクリーニング方法 - 特許庁
WAFER CARRIER MECHANISM, VACUUM CHAMBER AND WAFER PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
ウェハ搬送機構、真空チャンバおよびウェハ処理装置 - 特許庁
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING VACUUM CONTAINER例文帳に追加
プラズマ処理装置および真空容器の清掃方法 - 特許庁
TRANSPORT MECHANISM, AND VACUUM PROCESSING DEVICE INCLUDING THE SAME例文帳に追加
搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 - 特許庁
To provide a vacuum processing device capable of minimizing the size of a vacuum processing vessel even if a processing object is enlarged, and a vacuum processing system capable of carrying the processing object to the vacuum processing device without using a large carrying arm.例文帳に追加
被処理体が大型化しても真空処理容器の大きさを極力抑制できる真空処理装置を提供すること、および大型の搬送アームを使用せずに真空処理装置への被処理体の搬送が可能な真空処理システムを提供すること。 - 特許庁
SUBSTRATE HEATER AND VACUUM PROCESSING APPARATUS PROVIDED WITH THE SAME例文帳に追加
基板加熱ヒータ及びそれを備えた真空処理装置 - 特許庁
VENT DEVICE FOR VACUUM PRELIMINARY CHAMBER AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE例文帳に追加
真空予備室のベント方法および基板処理装置 - 特許庁
DISPLAY SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD AND VACUUM PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
表示用基板の製造方法および真空処理装置 - 特許庁
EVACUATION DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE COMPRISING IT例文帳に追加
真空排気装置及びそれを備えた真空処理装置 - 特許庁
PROCESSING DEVICE FOR LUBRICANT IN ROTARY VACUUM PACKAGING MACHINE例文帳に追加
ロータリ真空包装機における潤滑剤の処理装置 - 特許庁
ATTRACTION UNIT, VACUUM PROCESSING DEVICE, AND ATTRACTION METHOD例文帳に追加
吸着装置、真空処理装置及び吸着方法 - 特許庁
To provide a vacuum processing device which can prevent mixing of moisture into a vacuum processing chamber certainly.例文帳に追加
真空処理室への水分の混入を確実に防止することが可能な真空処理装置を提供する。 - 特許庁
To accurately position a substrate in a vacuum processing chamber in a substrate processing device for vacuum processing the substrate.例文帳に追加
基板の真空処理を行う基板処理装置において、真空処理室内の基板の位置決めを精度よく行うことを目的とする。 - 特許庁
For the wafer processing method, a specified film is formed on a wafer within any one vacuum processing chamber out of plural vacuum processing chambers.例文帳に追加
ウェーハ処理方法は、複数の真空処理チャンバのうち何れか1つの真空処理チャンバ内でウェーハ上に所定の膜を形成する。 - 特許庁
Thus, vacuum drying processing and heat processing can be quickly performed.例文帳に追加
したがって、減圧乾燥処理および加熱処理を迅速に行うことができる。 - 特許庁
To securely prevent insufficient vacuum condition from occurring at the time of a preliminary vacuum processing in the device which requires the preliminary vacuum processing before sterilization process.例文帳に追加
滅菌工程の前に予備真空工程を行うものにおいて、予備真空時における真空不足を確実に防止する事を目的とするものである。 - 特許庁
SUBSTRATE CONVEYING DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE WITH THE SAME例文帳に追加
基板搬送装置およびこれを備える真空処理装置 - 特許庁
TRANSPORT SYSTEM, VACUUM PROCESSING DEVICE AND NORMAL PRESSURE TRANSPORT例文帳に追加
搬送装置及び真空処理装置並びに常圧搬送装置 - 特許庁
OPERATION OF VACUUM TREATMENT EQUIPMENT AND METHOD FOR PROCESSING WAFER例文帳に追加
真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法 - 特許庁
COATING METHOD FOR HOLED INNER MEMBER IN VACUUM PROCESSING DEVICE例文帳に追加
真空処理装置における有孔内部材のコーティング方法 - 特許庁
To provide a vacuum processing apparatus with increased productivity.例文帳に追加
生産性を向上させた真空処理装置を提供する。 - 特許庁
VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND CLEANING METHOD THEREOF例文帳に追加
真空処理装置および真空処理装置のクリーニング方法 - 特許庁
ELECTROSTATIC CHUCKING DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE USING THE SAME例文帳に追加
静電吸着装置及びこれを用いた真空処理装置 - 特許庁
FILM QUALITY EVALUATING DEVICE, AND VACUUM PROCESSING APPARATUS USING THE SAME例文帳に追加
膜質評価装置およびこれを用いた真空処理装置 - 特許庁
VACUUM PROCESSING DEVICE AND OPENING/CLOSING MECHANISM USED THEREFOR例文帳に追加
真空処理装置用開閉機構及び真空処理装置 - 特許庁
To provide a vacuum processing device having a small installation area.例文帳に追加
設置面積の小さい真空処理装置を提供する。 - 特許庁
CHAMBER OPEN/CLOSE MECHANISM AND VACUUM PROCESSING APPARATUS EQUIPPED THEREWITH例文帳に追加
チャンバ開閉機構及びこれを備えた減圧処理装置 - 特許庁
A vacuum pump (23) is communicated and connected with the inside of the processing chamber (16).例文帳に追加
処理室(16)内を真空ポンプ(23)に連通接続させた。 - 特許庁
VACUUM PROCESSING SYSTEM, ITS MAINTENANCE SYSTEM AND MAINTENANCE METHOD例文帳に追加
真空処理装置、そのメンテナンスシステム、及びそのメンテナンス方法 - 特許庁
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