evacuatorとは 意味・読み方・使い方

To dispense with a large-scale evacuator, to obtain a big discharge space and to effectively utilize plasma in an ashing device and in an ashing method.例文帳に追加

アッシング装置及びアッシング方法において、大掛かりな真空排気装置を必要としないこと、大きな放電空間を得ること、プラズマを有効利用することを目的とする。 - 特許庁

To provide a suction plate and an evacuator in which an article to be machined, e.g. a silicon wafer, is not damaged even when it is sucked by a suction plate.例文帳に追加

吸着プレートにてシリコンウエハ等の被加工物を吸着した場合でも、被加工物を傷つけることのない吸着プレート及び真空吸引装置を提供すること。 - 特許庁

The lithographic apparatus includes a vacuum chamber 20 provided with a first gas evacuator GE1, and a conduit 22 in communication with a component inside the vacuum chamber 20.例文帳に追加

第１の排気装置ＧＥ１、および真空室２０内の構成部材と連通する導管２２を備えた真空室２０を有するリトグラフ装置が提供される。 - 特許庁

A booster pump A is constituted of a dry pump, a roughing pump B is constituted of a scroll pump and designed exhaust speed of the roughing pump B is made in size enough to function as the roughing pump although it is lower than designed exhaust speed of the booster pump A on the evacuator 100 furnished with the roughing pump B and the booster pump A.例文帳に追加

粗引ポンプＢとブースタポンプＡとを備えた真空排気装置１００において、ブースタポンプＡをドライポンプとし粗引ポンプＢをスクロールポンプで構成し、粗引ポンプＢの設計排気速度を、ブースタポンプＡの設計排気速度より小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとした。 - 特許庁

To provide a drain tube, in which suction can be consistently performed without falling off of suction efficiency even if an evacuator is converted into negative pressure when sucking an exudate out of the inside of the body cavity, and the interior of the body of a patient and the open air are not communicated at the time of evulsion.例文帳に追加

体腔内からの滲出液を吸引する際、吸引器を陰圧にしても吸引効率を低下することなく確実に吸引が行え、抜去時に患者の体内と外気とが連通することのないドレーンチューブを提供する。 - 特許庁

The multistage type evacuator 100 furnished with a roughing pump B and a booster pump A is constituted to be high in energy efficiency by installing a ceiling pump C on the atmospheric air side of the final stage roughing pump B and making designed exhaust speed of the ceiling pump C in size enough to function as the ceiling pump even though it is lower than designed exhaust speed of the roughing pump B.例文帳に追加

粗引ポンプＢとブースタポンプＡとを備えた多段式真空排気装置１００において、シーリングポンプＣを最終段粗引ポンプＢの大気側に取り付け構成し、シーリングポンプＣの設計排気速度を、粗引ポンプＢの設計排気速度より小さいがシーリングポンプとして機能する大きさとし、エネルギー効率の高い真空排気装置とすることができた。 - 特許庁

The electron beam exposure apparatus comprises the column 1 for irradiating on a wafer 10 as a testpiece with the electron beam, vacuum pump 40 as an evacuator, testpiece chamber 3 with its interior controlled to a vacuum atmosphere, stage 4A located in the testpiece chamber 3 to hold and move the wafer 10, and first mount 5A for elastically supporting the column 1 against the testpiece chamber 3.例文帳に追加

試料としてのウエハ１０に電子ビームを照射するカラム１と、真空排気部として真空ポンプ４０を有し、内部を真空雰囲気に制御する試料室３と、この試料室３内に配置され、ウエハ１０を保持して移動するステージ４Ａと、試料室３に対してカラム１を弾性支持する第１マウント５Ａとを備える。 - 特許庁