しかまくしあんばしの英語

平滑かつ緻密な無機膜を生産性を維持しつつ、しかも膜質を長時間安定して形成することができる成膜装置および成膜方法、ならびにバリアフィルムを提供する。例文帳に追加

To provide a film-forming apparatus which can form a smooth and dense inorganic film while maintaining the productivity and stabilizing the film quality for a long period of time; a film-forming method therefor; and a gas barrier film. - 特許庁

次いで、ＣＭＰ法を用いて余分な銅膜９およびバリアメタル膜８を除去した後、希アンモニア水溶液を用いて洗浄し、乾燥する。例文帳に追加

After the copper film 9 and the barrier metal film 8 have been removed by using a CMP method, it is cleaned by using rare ammonia water solution and dried. - 特許庁

塩化アンモニウムの生成を伴うことなく、しかも炭素系汚染質を膜内に混入させずに、シリコン窒化物膜もしくはシリコンオキシ窒化物膜をＣＶＤ法により製造するための方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method by which a silicon nitride film or silicon oxy-nitride film can be manufactured by the CVD method without generating any ammonium chloride nor allowing the intrusion of carbon-based contaminants into the film. - 特許庁

被処理基板の搬入出を効率よく安全かつスムースに行い、しかも基板上の塗布膜に転写跡が付くのを防止すること。例文帳に追加

To feed in and out a processing target substrate efficiently, safely and smoothly and to prevent a transferred trace from being applied to a coated film on the substrate. - 特許庁

基板上に膜を成膜する際に、マスクやレジスト膜を用いることなく、しかも、簡便な方法により、膜を安価に得ることができる成膜方法を提供する。例文帳に追加

To provide a film deposition method capable of obtaining a film at low cost by a simple method without using any mask or a resist film when depositing the film on a substrate. - 特許庁

光触媒活性が良好であり、しかも、膜厚の調整が容易であって、かつ、安価に製造することが可能な光触媒体を提供する。例文帳に追加

To provide a photocatalyst body which has satisfactory photocatalyst activity, moreover, facilitates the adjustment of a film thickness and can be manufactured at a low cost. - 特許庁

塗工液の吐出バランスが良好となり、塗工膜の幅方向の均一性が高くなり、しかも安定的に塗工を行える。例文帳に追加

Consequently, the ejection of the coating liquid is well balanced and the evenness of the coating film in the width direction is increased, and coating can be stably carried out. - 特許庁

本発明によれば、強誘電体薄膜を製造するために用いられる原料溶液の安定性と耐久性とが高められ、しかも膜質が大きく向上された強誘電体薄膜を製造することができる。例文帳に追加

According to this method, stability and durability of raw solution used for manufacturing a ferrodielectric thin film are raised, and a ferrodielectric thin film whose film quality is largely improved can be manufactured. - 特許庁