ビーム汚れの英語

アルカリ金属の蒸発量の低下を防止すること、又はイオン源に接続された装置の汚れを抑制すること、又はアルカリ金属の蒸発量制御，イオンビームの出力調整を容易に行うことである。例文帳に追加

To prevent decrease in the amount of vaporization of an alkali metal, or suppress dirt of a device connected to an ion source, or control the amount of vaporization of an alkali metal, and facilitate the output adjustment of ion beams. - 特許庁

露光中に少ない酸素使用量で真空チャンバ内に高濃度のオゾンを導入して汚れを除去でき、オゾン漏れの危険のない荷電粒子ビーム露光装置の実現。例文帳に追加

To realize an apparatus for aligning with charged particle beam capable of removing a dirt without danger of ozone leakage by introducing ozone of a high concentration in a vacuum chamber with a little oxygen amount during exposure. - 特許庁

レーザガスの流動によるミラーボックス内のミラーの汚れを回避し、レーザビームの出力特性を長期間にわたり安定して維持する。例文帳に追加

To evade the stains of a mirror inside a mirror box due to the flow of laser gas and to stably maintain the output characteristics of a laser beam for a long period of time. - 特許庁

スリットビーム形状の検査光により、微細の汚れや疵を検出することが可能となり、検査部の位置をずらすことにより、検査部相互間の干渉を防止することができる。例文帳に追加

Hereby, a fine dirt or flaw can be detected by slit beam-shaped inspection light, and mutual interference between the inspection parts can be prevented by shifting each position of the inspection parts. - 特許庁

制御コンピュータ１４は、メモリ内の各情報に基づいて、汚れ成分とビーム位置ずれの相関関係を分析し、露光装置の洗浄や部品交換等のメンテナンスの時期を予測する。例文帳に追加

The control computer 14 analyzes the correlation of a dirt component and beam misregistration and predicts the time for maintenance such as the cleaning of the exposure device and replacement of parts. - 特許庁

障害物の誤検出の要因となる、ごみ、汚れ、埃等による検出ビームの遮断を抑制することができるエレベータのスライドドア装置を提供する。例文帳に追加

To provide a sliding door device for an elevator, which suppresses the interception of a detection beam by contaminants, stains, dust, or the like which can cause erroneous detection of an obstacle. - 特許庁

走査光学系の汚れに起因する画像の濃度ムラを、ビームスポットの書き始め側Ａｘが感光体の軸方向感度分布（ｃ）の高感度側がくるように光走査装置と感光体を配置することにより抑制する。例文帳に追加

The irregular density of the image caused by the staining of the scanning optical system is restrained by arranging the optical scanner and the photoreceptor so that the high sensitivity side of the sensitivity distribution (c) in the shaft direction of the photoreceptor may come to a writing-start side Ax by a beam spot. - 特許庁

上部誘電体側から光ビームを照射して情報の記録・再生を行う光記録媒体において、光の照射により発生する光ヘッドの対物レンズの汚れを防止する光記録媒体。例文帳に追加

To provide an optical recording medium in which information is recorded and reproduced by irradiation with a light beam through the upper dielectric material side and which prevents the contamination of the objective lens of an optical head caused by the irradiation of light. - 特許庁