モータ駆動のステージの英語

可動コイル型Ｚ軸リニアモータ、リニアモータ駆動ステージ及び機能性薄膜用製造装置例文帳に追加

MOVABLE COIL TYPE Z-AXIS LINEAR MOTOR, LINEAR MOTOR DRIVING STAGE, AND DEVICE FOR MANUFACTURING FUNCTIONAL FILM - 特許庁

ステージ駆動モータ３１が駆動するとステージ駆動ギア３０が回転し、ステージ部材２６が揺動して第１ステージ面２７の傾斜角度が変化する。例文帳に追加

When a stage drive motor 31 is actuated to rotate the stage driving gear 30, the stage member 26 is rocked to change the angle of inclination of the first stage surface 27. - 特許庁

ステージ装置１０のステージ１１は、ステッピングモータ１７を備え、モータ１７によって案内部１３に沿って駆動される。例文帳に追加

A stage of a stage equipment 10 comprises a stepping motor 17 and is driven by it along a guide part 13. - 特許庁

当該ステージシステムは、可動ステージと、コイルを含む静止モータコイルアセンブリとを含み、当該コイルは、可動ステージの磁石と相互作用して可動ステージを駆動するための移動磁気モータを形成する。例文帳に追加

The stage system includes a movable stage and a still motor coil assembly including a coil, and the coil forms a moving magnetic motor for interacting with the magnet of the movable stage and driving the movable stage. - 特許庁

モータコイルの温度検出装置、モータの発熱防止装置、モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置、及び半導体デバイスの製造方法例文帳に追加

TEMPERATURE DETECTOR FOR MOTOR COIL, HEAT GENERATION PREVENTION DEVICE FOR MOTOR, MOTOR DRIVE, STAGE DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁

ガラス基板検査用ステージ２はメインチャンバ１内に設け、ステージ駆動機構が備えるＺステージ駆動機構７の少なくとも駆動モータ７ａをメインチャンバ１外に設ける。例文帳に追加

The stage 2 for glass substrate inspection is provided in the main chamber 1, and at least a driving motor 7a of a Z-stage driving mechanism 7 provided in the stage driving mechanism is provided outside the main chamber 1. - 特許庁

このリニア・モータを用いて、リソグラフィ投影機内でステージ、特にマスク・ステージを駆動することができる。例文帳に追加

A stage, especially a mask stage, can be driven in a lithographic projector using the linear motor. - 特許庁

リニアモータを構成するコイルを駆動する、低消費電力で、小型で、安価なリニアモータのコイル駆動装置を提供すること、および、該コイル駆動装置を備えたリニアモータ駆動装置およびステージ装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a small, inexpensive and low power consumption coil driver of linear motor for driving coils constituting a linear motor, and a linear motor driver comprising the coil driver and a stage unit. - 特許庁