低酸素耐性の英語

露光光の反射率が低く、酸素プラズマ等に対するエッチング耐性にも優れる下層膜を形成するための下地材、及び該下地材を用いた多層レジストパターン形成方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a base material for forming an underlayer film having a low exposure light reflectance and also excellent in resistance to etching with oxygen plasma or the like, and also to provide a multilayer resist pattern forming method using the base material. - 特許庁

多層配線を形成後、配線をマスクとし、自己整合的に配線間の層間絶縁膜７を選択除去した後、塗布型有機低誘電率膜１３を形成することで、酸素プラズマ耐性が低い塗布型有機低誘電率膜１３を半導体装置の多層配線構造の形成に利用する。例文帳に追加

An organic coating film 13 having low oxygen plasma resistance and a low dielectric constant is utilized for the formation of the multilayered wiring structure of the semiconductor device by forming the film 13 after multilayered wiring is formed, and an inter-wiring interlayer insulating film 7 is selectively removed in a self-aligning way by using the multilayered wiring as a mask. - 特許庁

酸素系プラズマや腐食性ガスに対する耐性及び耐絶縁性が高く、使用時の放電等による破損の頻度が低く、パーティクルの発生量も少なく、しかもウエハ面内の温度のバラツキが小さく、かつ安価な静電チャック装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic chuck device that has high resistance to oxygen-based plasma and corrosive gas, high insulation resistance, and a low frequency of breakage due to a discharge or the like during use, produces a small amount particles, and has small variance in temperature in a wafer plane, and is inexpensive. - 特許庁

酸素重合禁止作用がなく、基材面への塗工性に優れ、硬化速度が早く生産性を向上でき、接着性、折り曲げ耐性に優れており、低価格接着シートにも適用できるカチオン系光架橋型接着剤およびそれを用いた接着シートの提供。例文帳に追加

To obtain a cationic photo-crosslinkable adhesive which causes no oxygen polymerizaton-inhibition action, is excellent in coating properties onto the surfaces of base materials, is cured quickly so that the productivity can be improved, is excellent in adhesive properties and folding endurance and is applicable to low-cost adhesive sheets, and an adhesive sheet prepared therefrom. - 特許庁

有機シリコン化合物の流量以下の流量で酸素をチャンバの中に導入し、０．９Ｗ／ｃｍ^2から約３．２Ｗ／ｃｍ^2の出力密度でプラズマを生成することによって、低水分含有量およびクラッキング耐性を有する膜を堆積させる。例文帳に追加

A method for depositing a low dielectric film, using an oxidizing plasma, comprises the steps of introducing oxygen at a flow rate of less than or equal to the flow rate of the organosilicon compounds, generating plasma at a power density ranging between 0.9 to about 3.2 W/cm2, and thereby depositing a film, having low moisture content and cracking resistance. - 特許庁

誘電率が３以下と小さく、しかもマイクロフォトリソグラフィ加工時の酸素プラズマ耐性に優れるとともに機械的強度、耐アルカリ性などの耐薬品性、耐クラック性に優れた絶縁膜を形成できるような低誘電率シリカ系被膜形成用塗布液、およびこのような低誘電率シリカ系被膜が形成された基材を提供する。例文帳に追加

To provide a coating liquid for a silica-based film with a low dielectric constant, forming an insulating film having a dielectric constant as low as 3 or less and excellent not only in resistance to oxygen plasma during the microphotolithography processing but also in mechanical strength, chemical resistance such as alkali resistance and crack resistance and to provide a substrate having formed thereon such a silica-based film with a low dielectric constant. - 特許庁

例えばＫｒＦ、ＡｒＦ等のエキシマレーザーなどの短波長の露光光の反射率が低く、酸素プラズマ等のリアクティブイオンによるエッチングに対するエッチング耐性にも優れる下層膜を形成するための下地材、及び該下地材を用いた多層レジストパターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate material for forming a lower layer film superior in resistance to etching by reactive ions such as oxygen plasma, while reflectivity of exposure light of short wavelength of excimer laser or the like such as KrF and ArF is low for instance, and to provide a method for forming a multi-layer resist pattern using the substrate material. - 特許庁

電解水と空気が接触する気液接触部材を備えた空気浄化エレメント、及びこの空気浄化エレメントを組み込んだ空気清浄装置において、オゾン等の活性酸素に対する耐性が高く、低コスト化に適し、オゾン水等の電解水の保持性に優れた気液接触部材を備えた空気浄化エレメントを提供するものである。例文帳に追加

To provide an air purification element including a gas-liquid contact member where electrolytic water and air are brought into contact and which is highly resistant to active oxygen such as ozone, suitable for cost reduction and superior in retentivity of electrolytic water such as ozone water, and an air cleaner incorporating the air purification element. - 特許庁