EBRとは 意味・読み方・使い方

A pre-wet nozzle 436, a photosensitive liquid nozzle 434 and an EBR nozzle 438 are attached to a single nozzle arm 432.例文帳に追加

本発明によると、プリウェットノズル４３６、感光液ノズル４３４及びＥＢＲノズル４３８が一つのノズルアーム４３２に装着される。 - 特許庁

An index electrode 70 is provided at an overscanned region OS of electron beams eBL and eBR of the joint side of adjacent left and right divided screens of a tube to output electric detection signals in accordance with the incidence of the beams eBL and eBR.例文帳に追加

管内において、隣接する左右の分割画面の繋ぎ目側における電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの過走査領域ＯＳに、電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの入射に応じて電気的な検出信号を出力するインデックス電極７０を設ける。 - 特許庁

An index electrode 70 for outputting an electric detection signal according to the incidence of electronic beams eBL and eBR is arranged in an excess scanning region OS of electronic beams eBR and eBL at the joint side of adjacent right and left divided screens in a tube.例文帳に追加

管内において、隣接する左右の分割画面の繋ぎ目側における電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの過走査領域ＯＳに、電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの入射に応じて電気的な検出信号を出力するインデックス電極７０を設ける。 - 特許庁

In a tube, an index electrode 70 for outputting an electrical detecting signal in accordance with entering of electronic beams eBL and eBR is provided in the over scanning area OS of the electronic beams eBL and eBR at the side of the joint of adjacent right and left divided screens.例文帳に追加

管内において、隣接する左右の分割画面の繋ぎ目側における電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの過走査領域ＯＳに、電子ビームｅＢＬ，ｅＢＲの入射に応じて電気的な検出信号を出力するインデックス電極７０を設ける。 - 特許庁

Then, while the substrate W is being rotated, 1,4-dioxane is discharge to the end edge section of the substrate W, as a rinse liquid from a rinsing nozzle 20 for performing EBR treatment.例文帳に追加

その後、基板Ｗを回転させつつリンスノズル２０から１，４−ジオキサンをリンス液として基板Ｗの端縁部に吐出してＥＢＲ処理を行う。 - 特許庁

To provide a spin coating device for photoresist application capable of reducing the manufacturing cost of additional wafers by performing EBR (Edge-Bead Removal) process and improving the reliability of the wafer.例文帳に追加

ＥＢＲ(Edge-Bead Removal)工程の遂行による追加ウェーハ製造費用を節減し、ウェーハの信頼性を向上させられるフォトレジスト塗布用スピンコーティング装置を提供する。 - 特許庁

The rinse liquid has a boiling point lower than that of the solvent of the resin liquid and the r.p.m. of the substrate at the time of drying the rinse liquid is set lower than that at the time EBR processing.例文帳に追加

リンス液を樹脂液の溶媒よりも低沸点のものにするとともに、リンス液の乾燥処理時の基板回転数をＥＢＲ処理時の基板の回転数よりも低くしている。 - 特許庁

When the EBR treatment is made to the low- permittivity film in the organic resin material system with 1,4-dioxane as the rinse liquid, the improved shape of the periphery of the low-perimittivity film that is not to be removed, after removing the low-permittivity film from the end edge section of the substrate W.例文帳に追加

有機樹脂材料系の低誘電率膜に１，４−ジオキサンをリンス液としてＥＢＲ処理を行えば、基板Ｗの端縁部から低誘電率膜を除去した後に除去対象外の低誘電率膜の周縁の良好な形状を確保することができる。 - 特許庁