PEBとは 意味・読み方・使い方

In order to successively apply processing after the PEB processing on the prescribed number of PEB-processed resists, besides, in order to prevent the resist from being left as it is, a PEB processing starting time is calculated based on the time of ending the processing executed after the PEB processing, then, the time is set in the PEB unit 20.例文帳に追加

ＰＥＢ前待機時間調整ユニット６０は、ＰＥＢ処理を施された所定枚数のレジストがＰＥＢ処理後の処理を順次施され、且つ放置されることのないように、ＰＥＢ処理後に行われる処理の終了時刻からＰＥＢ処理の開始時刻を算出して、ＰＥＢユニット２０にセットする。 - 特許庁

Then, heat treatment (PEB treatment) is performed after exposure to light (S105), and development processing is performed (S106).例文帳に追加

次に、露光後加熱処理（ＰＥＢ処理）を施した後（Ｓ１０５）、現像処理を行なう（Ｓ１０６）。 - 特許庁

After that, PEB treatment (S107) and development processing (S108) are performed to obtain a resist pattern.例文帳に追加

その後、ＰＥＢ処理（Ｓ１０７）および現像処理（Ｓ１０８）を施してレジストパターンを得る。 - 特許庁

The display panel DP 1 laminated with the three panel elements PEb, PEg and PEr.例文帳に追加

三つのパネル素子ＰＥｂ、ＰＥｇ、ＰＥｒが積層された表示パネルＤＰ１。 - 特許庁

In the processing space B, a plurality of units SD, CP, HP and PEB are disposed side by side in a horizontal direction.例文帳に追加

処理空間Ｂには、複数のユニットＳＤ，ＣＰ，ＨＰ，ＰＥＢが水平方向に並設される。 - 特許庁

A heating temperature of PEB processing is corrected using expression (2) ΔT=1/α×F-1(ΔXt-ΔX1) (steps S7, S8).例文帳に追加

下記式（２）を用いてＰＥＢ処理の加熱温度を補正する（ステップＳ７、Ｓ８）。 - 特許庁

On the basis of the measurement results about the line width, the heating temperature in a PEB apparatus is corrected (Step S3).例文帳に追加

線幅測定結果に基づいて、ＰＥＢ装置における加熱温度を補正する（ステップＳ３）。 - 特許庁

To provide a positive resist composition excellent in resolution and having a large PEB margin.例文帳に追加

解像性に優れ、広いＰＥＢマージンを有するポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁