rate of erosionとは 意味・読み方・使い方

To provide a polishing liquid which can achieve a high polishing rate for metal, a low etching rate and a reduced polishing friction, to adapt for producing a semiconductor device having a metal interconnection of a reduced dishing and erosion with a high productivity.例文帳に追加

生産性が高く金属配線のディッシングとエロージョンが小さい半導体デバイスを得るために、金属の研磨速度が大で、エッチング速度が小で、かつ研磨摩擦が小さい研磨液を提供する。 - 特許庁

To obtain an aqueous dispersion for chemical machine polishing useful for polishing copper, having a high polishing rate, capable of decreasing an erosion rate in overpolishing.例文帳に追加

研磨速度が高く、オーバーポリッシュ時のエロージョン速度を小さくすることができる銅の研磨に用いる化学機械研磨用水系分散体を提供する。 - 特許庁

To provide a metal polishing which enables the formation of the buried pattern of a highly reliable metallic film by revealing high CMP rate, and enabling the high flattening, the reduction of the quantity of dishing, and the reduction of the quantity of erosion.例文帳に追加

高いＣＭＰ速度を発現し、高平坦化、ディッシング量低減及びエロージョン量低減を可能とし、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ−ン形成を可能とする金属研磨方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fuel injection valve capable of precise injection control by reducing generation of intense heat and the occurrence of erosion, by moderating a pressure drop rate of fuel discharged from a back pressure control chamber.例文帳に追加

背圧制御室から排出される燃料の圧力降下割合を緩やかにし、高熱の発生及びエロージョンの発生を低減させて、緻密な噴射制御を行うことができる燃料噴射弁を提供する。 - 特許庁

To perform flow rate operation uninfluenced by a change of material characteristics, a cross sectional characteristic, and rigidity of a flow tube generated by erosion, corrosion and coating or the like of the flow tube caused by a material flowing through the flow tube during operation.例文帳に追加

作動中に流管を通って流れている材料による流管の侵食、腐蝕及び被覆等によって起こる流管の材料特性、断面特性及び剛性の変化に影響されない流量演算を行う。 - 特許庁

This constituent of inhibitor is applied to chemico-mechanical polishing; and while a high polishing removal rate of a metallization layer is being maintained, it has the property of suppressing metal etching, so that polishing failures, such as overpolishing and erosion, can be reduced.例文帳に追加

該抑制剤の構成物は化学機械研磨において応用し、金属層の高研磨除去率を維持すると同時に、金属エッチングの抑制の特性を兼ね備え、研磨過剰及び侵食等の研磨欠陥を減らすことができる。 - 特許庁

To improve response of a nozzle needle and prevent cavitation erosion by making volume of a valve chamber 13 small without causing insufficient flow rate.例文帳に追加

流量不足を生じることなく、バルブ室１３の容積を小さくして、ノズルニードルの応答性を向上でき、キャビテーションエロージョンの発生を防止すること。 - 特許庁

In a folding process of the roof weir A, V notches are not generated, a consecutively accurate flow rate can be adjusted, and a riverbed and a face of slope not need to reinforced against erosion.例文帳に追加

起伏堰Ａの倒伏過程においてＶノッチが発生せず、連続した正確な流量調整ができ、侵食に備えて河床や法面を補強しておく必要もない。 - 特許庁