cassette loaderとは 意味・読み方・使い方

The vacuum processing apparatus includes a plurality of cassette carriers 1, having different kinds of shapes, an automatic loader 20 for carrying substrates stored in the cassette carriers 1, and a cassette stage 30 for setting the cassette carriers 1.例文帳に追加

この真空処理装置は、異なる種類の形状を有した複数のカセットキャリア１と、カセットキャリア１に収納されている基板を運ぶためのオートローダ２０と、カセットキャリア１をセットするためのカセットステージ３０とを備える。 - 特許庁

A silicon wafer W before etching is pulled out of the cassette 12 on loader side and is carried to an etching stage S.例文帳に追加

ローダ側カセット１２からエッチング前のシリコンウェーハＷが抜き取られ、エッチングステージＳに移送される。 - 特許庁

An etching device 10 is equipped with a cassette room 13 on the loader side, an etching chamber 15, a cleansing room 17, and a cassette room 19 on unloader side in this order within a chamber 11.例文帳に追加

エッチング装置１０は、チャンバ１１内にローダ側カセット室１３、エッチング室１５、洗浄室１７、アンローダ側カセット室１９を順次備える。 - 特許庁

Consequently, the time required for cassette replacement work in the auto loader part 4 is the longer time among the time for letting the cassette evacuate and the time for inserting the cassette, and the time for stopping conveyance of the image recording material by the auto loader part 4 is a short time.例文帳に追加

したがって、オートローダ部４におけるカセット交換作業に要する時間が、カセットを退避させる時間およびカセットを挿入する時間のうち長い方の時間をとり、オートローダ部４が画像記録材料の搬送を停止する時間を短時間にすることができる。 - 特許庁

A cassette storage rack frame 4 is supported so as to be vertically suspended by a building beam 5, and a loader/unloader cassette port P arranged at the lower position of the cassette storage rack frame 4 is configured as a free space where any pole or support member for supporting the cassette storage rack frame 4 is not arranged.例文帳に追加

建屋梁５よりカセット保管棚フレーム４を吊垂支持し、このカセット保管棚フレーム４の下方位置に配置するローダ／アンローダ用カセットポートＰを、カセット保管棚フレーム４を支持するための柱或いは支材を配設しない自由空間として構成する。 - 特許庁

The substrates (1) taken out of a loader cassette (2) are alternately transported to the treating vessel group (A) and the treating vessel group (B), are subjected to various kinds of the treatments and are housed into an underloader cassette (3).例文帳に追加

ロ−ダ−カセット（２）から取り出された基板（１）は、処理槽群（Ａ）と処理槽群（Ｂ）の処理槽に交互に搬送されて各種の処理を受け、アンロ−ダ−カセット（３）に収納される。 - 特許庁

The opener 20 fetches a wafer cassette 203 from a SMIF pod 200, and the loader 30 transfers the wafer cassette fetched out by the opener 20 trough the use of movements containing turning of an arm mechanism or the like.例文帳に追加

オープナ２０はＳＭＩＦポッド２００からウェハカセット２０３を取り出し、ローダ３０はオープナ２０で取り出されたウェハカセットをアーム機構等の旋回を含む運動を用いて移動させる。 - 特許庁

To provide a cassette conveyance priority allocating method for conveying a cassette by enhancing conveyance priority in a process of stopping a cassette input into a loader, and on the contrary, delaying a conveyance instruction to a process having a margin.例文帳に追加

ローダ装置へのカセット投入が停止してしまう工程には搬送優先度を高くしてカセットを搬送し、逆に余裕を持つ工程へは搬送指示を後回しにするカセット搬送優先度振り分け方法を提供する。 - 特許庁