etching-needleとは 意味・読み方・使い方

By this constitution, since whole surface etching is performed by isotropic etching processing not only to adjust the island-like structure to a needle-like shape but also to remove the foreign matter, an effect of hardly leaving foreign matter such as a resist or the like is brought about.例文帳に追加

本発明の構成によれば、等方性エッチング処理による全面エッチングを行うことにより、島状構造体を針状に形状調整すると同時に異物の除去を行うため、レジストなどの異物が残留しにくいという効果を奏する。 - 特許庁

In this way, in an etching process, even if the etching ions repelled on the surface of a charged oxide film 13 collide with the rear surface of the portion 20, needle-like projections can be prevented from being formed on the rear surface of the portion 20, and the sticking between the section 20 and the film 13 can be suppressed.例文帳に追加

それによって、エッチング工程において、帯電した酸化膜１３の表面で跳ね返されたエッチングイオンを可動部２０の裏面側に当てたとしても、可動部２０の裏面側には針状の突起が形成されず、可動部２０と酸化膜１３とのスティッキングを抑制することができる。 - 特許庁

The isotropic etching (third process) is performed again and this needle-like body 31 constituted of a conical tip part 31a having a desired tapered shape and a column part 31b continued from it is manufactured (d).例文帳に追加

再び等方性エッチング（第３工程）を行って、所望のテーパ形状を有する円錐状の先端部３１ａとそれに連なる円柱部３１ｂとで構成される針状体３１を作製する（ｄ）。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a field emission electron gun capable of forming extremely-thin needle-like parts at a tip of an emitter electrode by etching a tip surface of the emitter electrode.例文帳に追加

エミッタ電極の先端面をエッチング加工することによりエミッタ電極の先端に極めて細い針状部を形成することができる電界放出型電子銃の製造方法を提供する。 - 特許庁

The sample preparing method includes the process for forming an island-like structure by applying groove processing to a substrate, the process for applying isotoropic etching processing to the island-like structure to form needle-like bodies and the process for forming an analyzing target at least to the leading end parts of the needle-like bodies in a film-like state.例文帳に追加

本発明の試料の作製方法は、基板に溝加工を施す事により島状構造体を形成する工程と、前記島状構造体に等方性エッチング処理を施し針状体を形成する工程と、前記針状体の少なくとも先端部に分析対象を膜状に形成する工程と、を備える。 - 特許庁

A wafer W on which needle-like projections T are generated on a surface side bevel part and a complex compound P adheres to a rear face side bevel part by being exposed in an etching process is placed on a rotary stage in a vacuum chamber.例文帳に追加

エッチング工程にて曝されて表面側ベベル部に針状突起群Ｔが生成され、また裏面側のベベル部に複合化合物Ｐが付着したウエハＷを真空室内の回転ステージに載置する。 - 特許庁

The silicon needle-shaped cones having micromasks as vertexes, are formed by high selective ratio anisotropic etching of a silicon substrate or a silicon layer while using an impurity deposition area formed in the silicon substrate or the silicon layer as the micromasks.例文帳に追加

シリコン針状錘体は、シリコン基板又はシリコン層中に形成された不純物析出領域をマイクロマスクとして、シリコン基板またはシリコン層を高選択比異方性エッチングすることにより、マイクロマスクを頂点として形成される。 - 特許庁

In the method of manufacturing the needle-like body, by exposing a resist layer from a transparent substrate side, the need of high-grade positioning is eliminated and only the resist layer corresponding to the part of a groove provided by etching is selectively exposed.例文帳に追加

本発明の針状体の製造方法は、透明基板側からレジスト層を露光することで、高度な位置合わせの必要が無く、エッチングで設けられた溝の部分に対応するレジスト層のみに選択的に露光することが出来る。 - 特許庁