plasma transportとは 意味・読み方・使い方

A current by additional gas G2 is provided in the middle of a transport pipe 70 elongated from a spray chamber 20 and connected to a plasma torch 30.例文帳に追加

スプレーチャンバ２０から延出し、プラズマトーチ３０に連結される輸送管７０の途中に追加のガスＧ２による気流が提供される。 - 特許庁

When the etching is completed, the semiconductor wafer is carried out speedily from the first and second plasma treatment parts 4A and 4B by the wafer transport part 3.例文帳に追加

エッチングが終了すれば、ウェハ搬送部３によって第１及び第２のプラズマ処理部４Ａ、４Ｂから高速度で搬出される。 - 特許庁

To provide a method of driving a plasma display panel by which stable address discharge can be performed even if maintenance tape transport board for driving a maintaining electrode is omitted.例文帳に追加

維持電極を駆動する維持駆動ボードを省略しても安定してアドレス放電できるプラズマ表示パネルの駆動方法を提供する。 - 特許庁

Si ions in the plasma chamber 10, the Si ions are transport in the form of an Si ion flow 52 along lines of magnetic force by a coaxial electromagnet 21 in a transport chamber 20 toward the film forming chamber 40, and the ion flow having plus charges is neutralized.例文帳に追加

プラズマを生成する工程と、膜を作製する工程とを分離し、膜の構成イオンを中性化する工程とを含む方法により、高純度な膜を絶縁基板上に形成することができる。 - 特許庁

Then, the substrate 6 after film deposition is taken out of the transport tool 7 and is subjected to oxygen plasma treatment for oxidizing an adhesion film to a film that adheres to the surface of the transport tool 6 while the substrate 6 is arranged.例文帳に追加

そして、搬送冶具７から膜堆積後の基板６を取り出し、次の基板６を配置するまでの間に搬送冶具６の表面に付着した膜に酸素プラズマ処理を酸施し、付着膜を酸化させる。 - 特許庁

This sputtering apparatus tilts a sheet-shaped plasma 12 in an early stage in which the plasma is deformed by a pair of bar magnets 11A and 11B, while considering a transport center P1 as the axis, and makes the sheet-shaped plasma 12 to be parallel to a target 14 and others, at a position corresponding to the target 14 and the others.例文帳に追加

対の棒磁石１１Ａ、１１Ｂで変形初期のシート状プラズマ１２を、輸送中心Ｐ１を軸として傾け、ターゲット１４等に対応する位置でのシート状プラズマ１２が当該ターゲット１４等と平行状態となるようにする。 - 特許庁

To provide an adsorption material coated with a fixed monoclonal antibody against a tumor necrosis factor(TNF), or the like, which is utilized for the dialysis of blood, transport of plasma and dialysis of tissues.例文帳に追加

本発明は、血液透析、血漿搬出、組織透析に利用され、腫瘍壊死因子（ＴＮＦ）等に対する一定のモノクローナル抗体でコートされた吸着材料を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method and device which avoid anomalous transport and facilitate classical containment of both electrons and ions in order to confine plasma which is particularly important for enabling nuclear fusion reactions.例文帳に追加

核融合反応を可能にするために特に重要であるプラズマを閉じ込めるために、異常輸送を回避し、かつ電子とイオンの両方の古典的閉じ込めを容易にする方法および装置を提供すること。 - 特許庁