LERとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 海の化身
「LER」を含む例文一覧
該当件数 : 62件
The focus value for the LER value can be found from the already acquired dependency of an LER value on a focus value.例文帳に追加
当該ＬＥＲ値に対応するフォーカス値は、あらかじめ取得されたＬＥＲ値のフォーカス依存性から求めることができる。 - 特許庁
To provide a resist composition which ensures improved resolution and line edge roughness (LER) of a pattern.例文帳に追加
パターンの解像度及びラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が改善されたレジスト組成物を提供する。 - 特許庁
Moreover, fluctuation LER in the line width in the target pattern is measured with SEM (S4).例文帳に追加
そして、ＳＥＭにより、ターゲットパターンにおける線幅ばらつきＬＥＲを測定する（Ｓ４）。 - 特許庁
To provide a resist composition excellent in sensitivity, resolution, LER (line edge roughness), pattern features and outgas properties.例文帳に追加
感度、解像度、ＬＥＲ、パターン形状、アウトガスに優れたレジスト組成物の提供。 - 特許庁
The statistically based variance data can include Pooled Polymer De-protection Variance (PPDV) data that is used to determine micro-bridging defect data, LER defect data, and LWR defect data.例文帳に追加
前記統計に基づく分散データは、マイクロブリッジ形成欠陥データ、LER欠陥データ、及びLWR欠陥データの決定に用いることのできる共有されたポリマー脱保護分散(PPDV)データを有して良い。 - 特許庁
The focus value is found by using the dependency of an LER value of a resist pattern on a focus value.例文帳に追加
レジストパターンのＬＥＲ値がフォーカス値に依存して変動することを利用してフォーカス値を求める。 - 特許庁
To provide a resist composition which enables to form a pattern having excellent line edge roughness (LER) and mask error factor (MEF).例文帳に追加
優れたラインエッジラフネス（ＬＥＲ）及びマスクエラーファクター（ＭＥＦ）を有するパターンを形成することができるレジスト組成物を提供する。 - 特許庁
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ler
larks
メカネヤマネ
lerots
rudds
sakis
テグー
tejus
「LER」を含む例文一覧
該当件数 : 62件
To provide a resist composition formable of a pattern having excellent resolution and line edge roughness (LER).例文帳に追加
優れた解像度及びラインエッジラフネス（ＬＥＲ）を有するパターンを形成することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a method for suppressing an increase in wiring resistivity caused by an LER and/or LWR accompanying miniaturization.例文帳に追加
微細化に伴うＬＥＲやＬＷＲに起因する配線の抵抗率の増大を抑制し得る手法を提供する。 - 特許庁
To provide a resist composition capable of manufacturing a resist pattern excellent in line edge roughness (LER).例文帳に追加
優れたラインエッジラフネス（ＬＥＲ）を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。 - 特許庁
The display device MD1 is manufactured after manufacturing each of liquid crystal elements LEb, LEg, LEr and the layering them.例文帳に追加
表示装置ＭＤ１は、液晶表示素子ＬＥｂ、ＬＥｇ、ＬＥｒをそれぞれ作製した後、それらを積層することで作製される。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a glass stamper with high yield, with which line edge roughness (LER) is reduced.例文帳に追加
ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が低減されたガラススタンパを高い歩留まりで製造できる方法を提供する。 - 特許庁
To provide a treatment method of a film to be etched capable of both obtaining highly accurate dry etching and reduction of LER.例文帳に追加
高精度のドライエッチング加工とＬＥＲの低減をともに実現することのできる被エッチング膜の加工方法を提供する。 - 特許庁
Each of the IP routers 7-1 to 7-n store only in-AS path information and sets a default path to a nearby LER.例文帳に追加
各ＩＰルータ７−１〜７−ｎは、ＡＳ内経路情報のみを保持するとともに、最寄のＬＥＲへのデフォルト経路を設定する。 - 特許庁
To provide a salt functioning as an acid-generating agent affording a chemically amplified resist composition that exhibits improved LER and forms a pattern of a good shape.例文帳に追加
ＬＥＲが改善され、良好な形状のパターンを形成できる化学増幅型レジスト組成物を与える酸発生剤となる塩を提供する。 - 特許庁
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