chiller cooling waterとは 意味・読み方・使い方

Cooling water, which permits temperature to vary periodically owing to on/off control from a chiller unit 16, enters a tank 52 on this side of a second holder 42.例文帳に追加

チラーユニット１６からのオン・オフ制御により温度が周期的に変動する冷却水は第２保持体４２の手前でタンク５２に入る。 - 特許庁

A cooling water passage 81 is formed on the substrate holder 8, and the substrate holder 8 is cooled by the circulation of cooling water from a chiller 4 in the cooling water passage 81.例文帳に追加

基板ホルダ８には冷却水通路８１が形成されており、チラー４からの冷却水を冷却水通路８１に循環させることにより基板ホルダ８が冷却される。 - 特許庁

A cooling water passage 10 is formed on the substrate holder 8, and the substrate holder 8 is cooled by the circulation of cooling water from a chiller 11 in the cooling water passage 10.例文帳に追加

基板ホルダ８には冷却水通路１０が形成されており、チラー１１からの冷却水を冷却水通路１０に循環させることにより基板ホルダ８が冷却される。 - 特許庁

This cold supply equipment includes a brine chiller 6 for cooling brine B supplied to an aftercoil 14, and a cooling tower 7 for supplying cooling water W to the brine chiller 6 through a cooling pump 9, and in a defrosting operation for removing frost attached to the aftercoil 14, the cooling water W from the cooling tower 7 is sprayed to a surface of the aftercoil 14.例文帳に追加

アフターコイル１４に供給されるブラインＢを冷却するブラインチラー６と、ブラインチラー６に冷却ポンプ９を介して冷却水Ｗを供給する冷却塔７と、を備え、アフターコイル１４に付着した霜を除去するデフロスト運転時には、冷却塔７からの冷却水Ｗをアフターコイル１４の表面に散水する。 - 特許庁

An outdoor cooling unit 10 cools the primary cooling water supplied to parent chiller devices p1, p2 and child chiller devices ch1-9 by a cooling tower 20 used for air-conditioning and various temperature controls in a semiconductor manufacturing factory, the outdoor cooler 21 is operated when the cooling ability of the cooling tower 20 is shorted, and the cooling water is cooled to compensate the shortage.例文帳に追加

屋外冷却ユニット１０は、親チラー装置ｐ１、ｐ２、および子チラー装置ｃｈ１〜ｃｈ９に供給される一次冷却水を、半導体製造工場の空調や各種温度制御に用いられるクーリングタワー２０で冷却し、クーリングタワー２０の冷却能力が不足した場合に屋外冷却器２１を作動させ、その不足分を補うように冷却水を冷却する。 - 特許庁

A cooling machine of cold water chiller system is used as a source of cooling driving energy for air conditioning to perform heat exchange, and obtained cold water is led into the cool pipe to enhance cooling effect by circulating it.例文帳に追加

空調の冷房駆動エネルギーとして冷水チラー方式の冷却機を用いて熱交換を行い、得られた冷水をクールパイプに誘導し、これを循環させて冷房効果を高めようとするものである。 - 特許庁

The cooling chiller 5 and a water tank 2 pooling the recovered water are connected by circulation pipes 6a, and 6b to circulate the recovered water in the water tank 2 so as to maintain the recovered water at low temperatures.例文帳に追加

そして、この冷却チラー５と回収水を貯留する貯水槽２とを循環パイプ６ａ、６ｂにて連結して貯水槽２内の回収水を低温に保つように循環させる。 - 特許庁

A circulation passage 56 is preferably provided to a cooling bar 20 and the chiller 18, and cooling medium (for example, cooling water) is circulated in the circulation passage 56.例文帳に追加

冷却用バー２０及びチラー１８には、好ましくは流通路５６が設けられており、この流通路５６には、冷却媒体（例えば、冷却水）が流通される。 - 特許庁