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sputtering characteristicとは 意味・読み方・使い方

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意味・対訳 スパッタリング特性

JST科学技術用語日英対訳辞書での「sputtering characteristic」の意味

sputtering characteristic


「sputtering characteristic」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 23



例文

To provide a gas introducing apparatus, a sputtering apparatus and a sputtering method, capable of producing a magnetic film having the consistently excellent magnetic characteristic distribution.例文帳に追加

安定して良好な磁気特性分布を持った磁性膜を作製可能なガス導入装置、スパッタリング装置、およびスパッタリング方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a sputtering target of long service life for obtaining a stable discharge characteristic during the sputtering, and efficiently depositing a hard film with a uniform characteristic on a surface of metals such as cobalt carbide, cobalt, stainless steel, or the like.例文帳に追加

長寿命でスパッタリング時に安定した放電特性が得られ、炭化コバルト、コバルト、ステンレスなどの金属表面に均一な特性を有する硬質被膜を効率的に形成できるスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁

Thereby, impurity incorporation due to sputtering of the negative electrode can be prevented while using a simple sputtering device, and the negative electrode excelling in an electron emission characteristic can be manufactured.例文帳に追加

これにより、簡便なスパッタリング装置を用いながら、陰極のスパッタリングによる不純物混入を防止でき、電子放出特性に優れた陰極を製造できる。 - 特許庁

The silicon oxide nitride film which is thus obtained has a higher insulation-proof characteristic than the silicon nitride film formed by a sputtering method.例文帳に追加

得られたシリコン酸窒化膜は、スパッタリング法で成膜されたシリコン窒化膜よりも高い絶縁耐圧特性を有する。 - 特許庁

To provide a titanium target for sputtering having high quality capable of reducing the amount of impurities causing particles or abnormal discharge phenomenon, preventing occurrence of any crack even during the high-power sputtering (the high-speed sputtering), stabilizing the sputtering characteristic, and effectively suppressing generation of particles during the film deposition.例文帳に追加

パーティクルや異常放電現象の原因となる不純物を低減させると同時に、ハイパワースパッタリング(高速スパッタリング)時においても亀裂や割れの発生がなく、スパッタリング特性を安定させ、成膜時のパーティクルの発生を効果的に抑えることのできる高品質のスパッタリング用チタンターゲットを提供する。 - 特許庁

By this, an insulating film excellent in insulation characteristic can be formed at a high film forming rate by a sputtering method.例文帳に追加

したがって、上記成膜方法によれば、スパッタリング法によって絶縁特性に優れた絶縁膜を高い成膜レートで成膜することが可能となる。 - 特許庁

例文

To provide a sintered composite oxide capable of obtaining a TFT panel excellent in uniformity of a TFT characteristic, reproducibility of the TFT characteristic and yield of the TFT, and to provide a sputtering target comprising the same.例文帳に追加

TFT特性の均一性、TFT特性の再現性及びTFTの歩留りが良好なTFTパネルが得られる複合酸化物焼結体、及びそれからなるスパッタリングターゲットを提供すること。 - 特許庁

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「sputtering characteristic」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 23



例文

To provide a method of manufacturing vertical recording medium for improving distribution in a substrate surface by sputtering deposition without decline of productivity and cost increase and obtaining good magnetic characteristic and electromagnetic characteristic.例文帳に追加

生産性低下やコストアップを生じることなく、スパッタリング成膜による基板面内分布を改善し、もって良好な磁気特性、電磁気特性が得られ垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing device for a plasma display panel capable of forming a uniform protection film with a good secondary electron emission characteristic and sputtering resistance on a PDP substrate.例文帳に追加

PDPの基板上に2次電子放出特性及び耐スパッタリング性が良好且つ均一な保護膜を形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造装置を提供する。 - 特許庁

A metallic thin film is formed on a surface of a semiconductor ceramic sintered body having a negative temperature characteristic of resistance by a vapor deposition or sputtering method, followed by a thermal treatment in an atmosphere.例文帳に追加

負の抵抗温度特性を有する半導体セラミック焼結体の表面に、蒸着又はスパッタリング法により金属薄膜を形成し、その後、大気中で熱処理する。 - 特許庁

To enable deposition of metal compound which has crystallization promoting function, optical characteristic, and adhesion to a recording medium for a sputtering target used for deposition of interface film of phase change recording medium.例文帳に追加

相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットにおいて、結晶化促進機能、光学的特性、記録膜との密着性をもった金属化合物膜の成膜を可能にする。 - 特許庁

To provide a semiconductor ceramic element having favorable heat resistance and a negative temperature characteristic of resistance with a small long-term resistance change by stabilizing a thin film formed for use in an electrode by a vapor deposition or sputtering method.例文帳に追加

蒸着やスパッタリング法で電極用として形成された薄膜を安定化させ、耐熱性がよく、長期にわたる抵抗変化が小さな負の抵抗温度特性を有する半導体セラミック素子を得る。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a ceramic electronic component which can reduce stress in an electrode when the electrode is formed by sputtering to hardly have variation in characteristic due to the stress and also has little deterioration in the tensile strength of a lead terminal.例文帳に追加

スパッタリングにより電極を形成した場合の電極中のストレスを低減でき、該ストレスによる特性の変化が生じ難く、かつリード端子の引っ張り強度の劣化が生じ難いセラミック電子部品の製造方法を提供する。 - 特許庁

A substrate, formed by PZT in thin film excellent in piezoelectric characteristic, can be provided even on the material substrate such as silicon substrate, on which PZT thin film of satisfactory piezoelectric characteristics is hard to be formed by direct sputtering method.例文帳に追加

本発明によると、シリコン基板などに直接スパッタリングなどの方法では圧電特性の良いPZT薄膜を形成し難い材料基板の上に、圧電特性の良いPZTを薄膜状態で設置した基板を提供できる。 - 特許庁

例文

To improve the lamp starting characteristic of a high pressure discharge lamp which uses a large amount of mercury and in which the amounts of mercury adhering to both electrodes are not equal to each other, to reduce the glow discharge generation time period of the lamp, and to keep electrode sputtering of the lamp to the minimum.例文帳に追加

水銀量が多く、両電極に付着する水銀量が等しくならない高圧放電ランプのランプの始動性能を改善し、グロー放電の発生時間を短縮することができ、電極のスパッタを最小限に抑制すること。 - 特許庁

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