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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 薄膜蒸発装置に関連した英語例文

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薄膜蒸発装置の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 64



例文

本発明による薄膜形成用蒸着装置は、蒸着材料を加熱して蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源から供給された気相の蒸着材料を移送する送り管と、前記送り管を開閉する開閉手段と、前記送り管に連結され、前記蒸着材料を基板に向けて噴射する噴射手段とを含んでなる。例文帳に追加

The vapor deposition system 1 for thin film formation comprises: an evaporation source 20 of heating and evaporating a vapor deposition material; a feed tube 30 of transferring the vapor deposition material of a vapor phase fed from the evaporation source; an opening/closing means of opening/closing the feed tube; and an jetting means connected to the feed tube and jetting the vapor deposition material toward a substrate. - 特許庁

蒸発器系路のガスを排気する真空ポンプ11の吐出管路又は吸込み管路に着脱式の吸着式又は薄膜式ドライヤ14,15を配設し、真空ポンプ11を蒸発器系路のガス置換に用いる加圧装置10として用い、前記ドライヤ14,15によって乾燥させた空気によって蒸発器系路のガス置換を行う。例文帳に追加

Removable suction type or thin film type driers 14, 15 are disposed in a discharge pipeline or suction pipeline of a vacuum pump 11 for discharging gas in the evaporator system path, the vacuum pump 11 is used as a pressurizing device 10 used for the gas replacement of the evaporator system path, and the gas replacement of the evaporator system path is performed by air dried by the driers 14, 15. - 特許庁

真空容器内で蒸発させた薄膜形成材料を基板上に蒸着せしめて薄膜を形成する真空成膜装置を構成する真空成膜装置用部品において、上記真空成膜装置用部品1の表面粗さが算術平均粗さRaで5μm以下であることを特徴とする真空成膜装置用部品1である。例文帳に追加

In the component for a vacuum film deposition system composing a vacuum film deposition system where a thin film deposition material evaporated in a vacuum vessel is vapor-deposited on a substrate, so as to deposit a thin film, the surface roughness of the component 1 for a vacuum film deposition system is ≤5 μm by the arithmetic average roughness Ra. - 特許庁

真空チャンバ1内でアーク放電により蒸着材料4を蒸発させ被コーティング物2に薄膜をコーティングするアークイオンプレーティング装置において、真空チャンバ1に真空排気ポンプとしてターボ分子ポンプ8を接続して備えるとともに、薄膜コーティング2の工程進展に応じて前記ターボ分子ポンプ8の回転速度を変化させる制御装置を備えてなる。例文帳に追加

The AIP system for evaporating a material 4 for vapor deposition by an arc discharge in a vacuum chamber 1 and for coating a material 2 to be coated with a thin film is provided with the turbo molecular pump 8 connected as an evacuation pump to the vacuum chamber 1 and is provided with a controller for changing the rotating speed of the pump 8 according to the progression of the step of the thin film coating 2. - 特許庁

例文

遠心式薄膜真空蒸発装置1から排出される熱を、熱媒体に取り込むことにより、加熱部40に供給される蒸気Sを生成する蒸気発生装置10の熱源として供することができるように構成されていることを特徴として成る。例文帳に追加

By taking the heat discharged from the centrifugal thin film vacuum evaporator 1 in a heat medium, the heat is supplied as a heat source of a steam generator 10 generating steam S supplied to a heating part 40. - 特許庁


例文

有機EL素子の製造装置において、有機薄膜層の機能が高温で損なわれるのを防止しつつ、金属電極材料の補充のための金属材料蒸発源の移動操作と加熱源への通電操作とを効率良く行う有機EL素子の製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide an organic EL element manufacturing apparatus which can efficiently perform the moving operation of a metal material evaporation source to supply a metal electrode material and an energization operation to a heat source while preventing the function of an organic thin film layer from being impaired at high temperature. - 特許庁

真空中で基板上に薄膜を蒸着形成する際に、簡易な装置構成で、装置コストの低減を図ることができ、また大面積で均一な膜厚分布を容易に得ることができるようにし、更に、蒸発材料の使用効率が良く、材料のむだを減らすことができるようにする。例文帳に追加

To provide a vapor deposition system for forming vapor-depositing a thin film on a substrate in a vacuum which has a simple constitution, can reduce its cost, can easily obtain a uniform film thickness distribution in a large area, and can efficiently use an evaporation material to reduce the waste of the material. - 特許庁

任意の固体材料に関して、液体化した材料の蒸発による成分および固体ターゲットアブレーションにおける微粒子の発生を抑えることにより、良好な膜質の薄膜を形成することができるレーザアブレーション成膜装置の提供。例文帳に追加

To provide a laser ablation film deposition apparatus capable of forming a thin film with a good film quality, by suppressing evaporation of a liquefied material when using an arbitrary solid material and suppressing production of particulates in solid target ablation. - 特許庁

放射線画像変換パネルの蛍光体を蒸着法で成膜するときに、突沸や再蒸発による膜欠陥がない薄膜を作製することを可能とする蒸着装置、及び、該成膜方法を用いた放射線画像変換パネルの蛍光体の成膜方法を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a vapor deposition apparatus in which a thin film, which does not possess film defects to be generated by sudden boiling or re-evaporation, can be deposited when a phosphor of a radiation image transformation panel is deposited by a vapor deposition method and to provide a method for depositing the phosphor of the radiation image transformation panel by using the vapor deposition apparatus. - 特許庁

例文

有機化合物を安定して保存できると共に、真空蒸着時に突沸現象の発生を抑えることができ、安定して薄膜を形成することができる真空蒸着用原料ユニット、真空蒸着用蒸発源および真空蒸着装置を提供する。例文帳に追加

To provide a unit of raw materials for vacuum vapor deposition, which can stably preserve an organic compound, inhibit the raw materials from causing bumping during a vacuum vapor deposition process, and stably form a thin film; an evaporation source for vacuum vapor deposition; and a vacuum vapor deposition apparatus. - 特許庁

例文

触媒の存在下でアルキレンオキシドと(メタ)アクリル酸とを反応させ、反応後の反応液中の未反応アルキレンオキシドおよび/または未反応(メタ)アクリル酸を除去して得られるヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートの精製方法において、空塔部分を有する蒸留装置薄膜蒸発装置とを併用する。例文帳に追加

In this method for purifying the hydroxyalkyl (meth)acrylate comprising reacting an alkylene oxide with (meth)acrylic acid in the presence of a catalyst, removing the unreacted alkylene oxide and/or the unreacted (meth) acrylic acid from the resulting reaction mixture, then purifying the obtained hydroxyakyl (meth)acrylate, the purification is carried out by together using a distillation still having a void space and a thin-film evaporator. - 特許庁

反応炉内に分解付着物が生成しないような構造とすることにより基板上への異物の付着を抑制し、分解付着物の再蒸発によるエピタキシャル薄膜の劣化を抑制でき、かつ反応炉内の分解付着物を取り除くためのメンテナンス回数を削減可能な構造の化合物半導体エピタキシャル成長装置を提供する。例文帳に追加

To provide a compound semiconductor epitaxial growth device having a structure capable of suppressing deterioration of an epitaxial thin film by re-evaporation of decomposition extraneous matter by suppressing adhesion of foreign matter onto a substrate by allowing the structure to prevent generation of the decomposition extraneous matter in a reactor, and reducing the number of times of maintenance for removing the decomposition extraneous matter in the reactor. - 特許庁

直径20nm以下の金属微粒子を溶媒中に分散した溶液を、半導体基板上に塗布する工程と、溶媒を蒸発させる工程と、金属微粒子と半導体基板を反応させ、半導体基板表面に金属半導体化合物薄膜を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。例文帳に追加

The method of manufacturing a semiconductor device includes: a step of applying a solution wherein fine metal particles having a diameter of20 nm are dispersed in a solvent, onto the semiconductor substrate; a step of evaporating the solvent; and a step of forming a metal-semiconductor compound thin film on a surface of the semiconductor substrate by causing the reaction between the fine metal particles and the semiconductor substrate. - 特許庁

例文

チオ硫酸塩に代えて特定のヘテロ5員環アゾリウムチオレート化合物を含有する漂白定着液を使用し、かつ使用済み写真廃液を薄膜蒸発濃縮装置によって固化し、固化物を漂白定着処理剤として再生使用することを特徴とするハロゲン化銀カラー写真感光材料の処理方法。例文帳に追加

In the processing method for a silver halide color photographic sensitive material, a bleach-fixing solution containing a specified 5-membered heterocyclic azoliumthiolate compound in place of a thiosulfate is used, a used photographic solution is solidified with a thin film system evaporative concentration apparatus, and the resulting solidified substance is recycled as a bleach-fixing agent. - 特許庁

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