「Fizeau」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To provide a Fizeau type phase shift interferometer.例文帳に追加

フィゾー型の位相シフト干渉計を提供する。 - 特許庁

To optimize objective optics of a Fizeau interferometer to test a surface.例文帳に追加

表面を検査するフィゾー干渉計の対物光学系を最適化する。 - 特許庁

To provide a Fizeau lens which can accurately measure a surface accuracy of the Fizeau lens even if a radius of curvature of a spherical surface to be detected is small with respect to an outer diameter and to provide a Fizeau interferometer.例文帳に追加

被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能なフィゾーレンズ及びフィゾー干渉計を提供する。 - 特許庁

To measure the aberration of a refractive index distribution type rod lens by a Fizeau interferometer system.例文帳に追加

フィゾー干渉計方式によって、屈折率分布型ロッドレンズの収差測定を可能とする。 - 特許庁

The Fizeau interferometer 1 is equipped with: an interferometer body 2; and a measuring apparatus 3.例文帳に追加

フィゾー型干渉計１は、干渉計本体２と、測定装置３とを備える。 - 特許庁

The measurement unit has a Fizeau interferometer IF including an optical system 17 having a Fizeau plane for forming reference light and a reflecting mirror 22 for forming light to be inspected.例文帳に追加

測定ユニットは、参照光を形成するフィゾー面を含む光学系１７と、被検光を形成する反射鏡２２とを具備するフィゾー干渉計ＩＦを含む。 - 特許庁

To provide a device of measuring a transmission wavefront by a Fizeau interferometer capable of maintaining a liquid surface fixedly to an immersion lens.例文帳に追加

液浸レンズに対して液面を一定に保つことができるフィゾー干渉計による透過波面測定装置。 - 特許庁

The Fizeau type interferometer 12 can measure the wavefront from the entire surface of the diffracted light at the same time and in a short time.例文帳に追加

フィゾー型干渉計１２により、回折光全面からの波面を一括に、且つ短時間に計測できる。 - 特許庁

To provide a Fizeau interferometer properly measuring the form of a spherical surface to be measured even in the case where a phase shift method is used.例文帳に追加

位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。 - 特許庁

FIZEAU LENS, INTERFERENCE MEASURING INSTRUMENT, MANUFACTURING METHOD FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

フィゾーレンズ、干渉測定装置、干渉測定方法、投影光学系の製造方法、及び投影露光装置 - 特許庁

The interference measuring method uses a transmissive zone plate forming both a first wave surface being a null wave surface for a test plane and a second wave surface being a null wave surface for a Fizeau plane by using a pair of equivalent opposite sign graded transmission diffractive lights, in addition to use of an interferometer and a Fizeau lens for the test plane measurement.例文帳に追加

干渉計と、被検面測定用のフィゾーレンズとを使用した干渉測定に、被検面に対するヌル波面である第１波面、及びフィゾー面に対するヌル波面である第２波面を、等量反対符号の次数の一対の透過回折光により形成する透過型ゾーンプレートを使用する。 - 特許庁

Spacing maps of single side faces between a side face 61 or 62 of the wafer 60 and a reference plane 32 or 52 corresponding respectively thereto are measured at the same time, using combination of two improved phase shift Fizeau interferometers 20, 40, and computers 38, 58 calculates the thickness variation and the shape, based on data therein.例文帳に追加

改良された二つの位相シフトフィゾ（Fizeau）干渉計２０、４０の組み合わせを用いて、ウエーハ６０の側面６１又は６２の各々とそれに対応する基準平面３２又は５２の間の単一側面の間隔マップを同時に計測し、コンピュータ３８、５８でこれらのデータから厚さ変化と形状を計算する。 - 特許庁

The whole shape is measured by stitching a plurality of microscopic measured data by a Michelson type microinterferometer by using the whole shape data by a Fizeau type interferometer.例文帳に追加

フィゾー型干渉計による全体形状データを用いて、マイケルソン型顕微干渉計による複数の顕微測定データをスティッチングして全体形状を測定する。 - 特許庁

To stably and precisely measure the absolute shape of a spherical mirror and lens, and to measure the absolute shape of a spherical mirror and lens having a long radius of curvature, in a Fizeau type interferometer.例文帳に追加

フィゾー型干渉計における、安定的で高精度な球面レンズ、ミラーの絶対形状計測、さらに曲率半径の大きな球面レンズ・ミラーの絶対形状計測を目的としている。 - 特許庁

A Fizeau interferometer 10 incorporates an off-axis paraboloidal reflector 30 that forms virtual images of a reference surface and a test surface 18 and a camera lens system 46 that converts the virtual images into real images on a camera detector surface 48.例文帳に追加

基準表面と検査表面１８の虚像を形成するオフアクシス放物面反射器３０及び虚像をカメラ検出器表面４８上の実像に変換するカメラレンズ系４６がフィゾー干渉計１０に組み込まれる。 - 特許庁

To provide an ultraminiature vertical cross-sectional image measurement device with an ultraminiature interference optical system including a space delay type Fizeau interferometer, using a collimator lens.例文帳に追加

コリメータレンズを用いた空間遅延型フィゾー干渉計により、超小型干渉光学系が構成可能な超小型の鉛直断面画像測定装置を提供する。 - 特許庁

This zone plate enables to conduct interference measurement for calibration without increasing unknown measurement error, because it can form the two null wave surfaces (the null wave surface for the test plane and the null wave surface for the Fizeau plane).例文帳に追加

このゾーンプレートは、２つのヌル波面（被検面のヌル波面、及びフィゾー面のヌル波面）を形成することが可能であるので、未知の測定誤差を増やすことなく校正用の干渉測定を行うことを可能とする。 - 特許庁

Lights are applied to the entire surface of mono-axis diffraction grating 10 or bi-axis diffraction grating, and the respective wavefront information of plus first-order diffracted light and minus first-order diffracted light is evaluated by a shape measuring interferometer such as Fizeau type interferometer 11 or the like.例文帳に追加

１軸回折格子１０または２軸回折格子の全面に光を照射し、＋１次回折光と−１次回折光のそれぞれの波面情報をフィゾー型干渉計１１などの形状計測用干渉計で評価する。 - 特許庁

To acquire shape information of a single substance on an examined face, based on a measured result provided by interference measurement using a null optical system with a Fizeau face arranged on a non-final face, without being affected by an error caused by the null optical system.例文帳に追加

フィゾー面を非最終面に配置してなるヌル光学系を使用した干渉測定で得られる測定結果から、ヌル光学系に起因する誤差の影響を受けずに、被検面の単体の形状情報を取得する。 - 特許庁

A second set of absolute calibration data of an interference optical system is obtained by disposing a Fizeau's surface 12a (reference surface) so that the reflection characteristics of the mirror 14 are applicable between the surface 12a and the surface 13a (process 2).例文帳に追加

フィゾー面（基準参照面）１２ａを被検面１３ａとの間で反射ミラー１４の反射特性が適用可能に配して干渉光学系の第２の絶対校正データを得る（第２の手順）。 - 特許庁

When an expected driving quantity of a Fizeau lens 43 reaches a value corresponding to 1/2 wavelength of the light emitted by the light source of the interference measuring instrument, the computer compares the luminance value before the fringe scan starts with the luminance value when the fringe scan ends.例文帳に追加

フィゾーレンズ４３の予定駆動量が、干渉測定装置の光源から出射される光の１／２波長に相当する値に達したとき、コンピュータ１１はフリンジスキャン開始前の輝度値とフリンジスキャン終了時の輝度値とを比較する。 - 特許庁

The diffraction grating is relatively inclined to the shape measuring interferometer so that the plus first-order diffracted light or minus first-order diffracted light from the diffraction grating and reference light from a reference optical flat 12 provided inside the Fizeau type interferometer 12 may be overlapped.例文帳に追加

回折格子からの＋１次回折光または−１次回折光と、フィゾー型干渉計１２の内部に搭載されている参照用オプティカルフラット１２からの参照光が重なり合うように、形状計測用干渉計に対して回折格子を相対的に傾ける。 - 特許庁

To provide a flat surface measuring method of a mirror using a Fizeau interferometer capable of preventing back surface reflected light of the mirror and performing simply interference fringe measurement only on the inspection surface, and a reflection preventing tool for facilitating a flat surface measuring work when executing the method.例文帳に追加

ミラーの裏面反射光を防止し、被検面のみの干渉縞測定を簡便に行うことができるフィゾー干渉計を用いたミラーの平面測定方法及びその方法実施の際、平面測定作業を容易にする反射防止ジグを提供する。 - 特許庁

This Fizeau type interferometer for measuring the shape of an optical surface of an optical element comprises a reference surface of the aspherical shape and a holding member for integrally holding the reference surface and the optical surface in a state where the reference surface is made adjacent to the optical surface.例文帳に追加

光学素子の光学面の形状を測定するためのフィゾー型干渉計は、非球面形状の参照面と；該参照面と前記光学面とを近接させた状態で、前記参照面と前記光学面とを一体に保持する保持部材とを有する。 - 特許庁

Consequently, a control error in the optical path length difference between the reference luminous flux and luminous flux to be detected is found to correct a piezocommand signal outputted at the time of a next fringe scan and a Fizeau surface 43 is precisely driven to increase the interference measurement precision.例文帳に追加

これにより、参照光束と被検光束との間の光路長差の制御誤差を求め、次のフリンジスキャンに際して出力されるピエゾ指令信号を補正し、フィゾー面４３を精度よく駆動して干渉測定精度を高める。 - 特許庁

When performing flat surface measurement of the mirror 11 by using the Fizeau interferometer, a pressure sensitive adhesive double coated tape of acrylic foam or urethane foam is stuck as a pressure-sensitive reflection prevention member 13 on the back surface of the mirror 11, and placed on a mirror support 12, and then the flat surface measurement is performed.例文帳に追加

フィゾー干渉計を用いてミラー１１の平面測定を行う場合、ミラー１１の裏面にアクリルフォーム又はウレタンフォームの両面粘着テープを粘着性反射防止部材１３として貼付し、ミラー支え１２上に載置して平面測定を行う。 - 特許庁

Also included are: an effective light source 26 located with respect to the off-axis paraboloidal reflector 30; and a Fizeau reference surface 16 oriented for receiving collimated light at normal incidence, reflecting a first portion of the light and transmitting a second portion of the light.例文帳に追加

オフアクシス放物面反射器３０に対して配置された実効光源２６およびコリメート光を垂直入射で受け、光の第１の部分を反射し、光の第２の部分を透過させるために配向されたフィゾー基準表面１６も含まれる。 - 特許庁

The optical system comprises a plurality of optical elements, and has a drive means for driving the optical elements, and a planar Fizeau lens which is formed on at least one of the plurality of optical elements and serves as a reference for the inclinations and positions in the optical axis direction of the optical elements relative to the axis of the optical system.例文帳に追加

複数の光学素子から構成される光学系であって、前記光学素子を駆動する駆動手段と、少なくとも前記複数の光学素子の一に形成され、前記光学素子の前記光学系の光軸に対する傾き及び前記光軸方向の位置の基準となる平面フィゾーレンズとを有することを特徴とする光学系を提供する。 - 特許庁