good coverageとは 意味・読み方・使い方

Since the shapes of the interlayer insulation films 2 and 3 are improved by the isotropic etching, the metal interconnection layer can be formed with a good step coverage.例文帳に追加

等方性エッチングにより層間絶縁膜２，３の形状が改善され、金属配線層がステップカバレージ良く成膜される。 - 特許庁

To form a conductor film with good coverage and contact inside the wiring groove formed on a porous low dielectric material film.例文帳に追加

多孔性の低誘電率膜に形成された配線溝内に、カバレージ良く且つ高い密着性で導電体膜を形成する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a memory device having concave BST capacitors of which the step coverage is good and reliability in electrical characteristics is high.例文帳に追加

ステップカバレッジに優れ、電気的特性の信頼性の高い、凹状構造のＢＳＴキャパシタを有するメモリ素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a two-component developer including a carrier which imparts good coverage and chargeability to an earth-conscious polylactic acid toner.例文帳に追加

地球環境に優しいポリ乳酸トナーに対し良好な被覆率と帯電性を付与するキャリアを有する二成分現像剤を提供する。 - 特許庁

To provide depositing method of a barrier film of AsSiN capable of preventing the diffusion of Cu atom into an insulating film on the insulating film with good coverage.例文帳に追加

Ｃｕ原子の絶縁膜への拡散を防止できるＴａＳｉＮのバリア膜を、絶縁膜上にカバレッジ良く成膜する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a dielectric layer of good performance which is shorten in processing time by transferring to a substrate a green sheet which is good in step coverage, and tolerant of high temperature and high pressure to form the dielectric layer.例文帳に追加

ステップカバレッジが良く、高温、高圧に耐えられるグリーンシートを基板に転写して誘電体層を形成することによって工程時間を短縮し、且つ性能に優れた誘電体層を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device which forms a lining layer with good coverage in a trench and a via of a porous low-dielectric constant insulator film.例文帳に追加

多孔性低誘電率絶縁膜のトレンチおよびビア内にカバレージ良くライニング層を形成する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a solid-state electrolytic capacitor having good ESR characteristics in which the coverage of conductive polymer is high on the surface of a capacitor anode body.例文帳に追加

コンデンサ陽極体の表面における導電性高分子被覆率が高く、ＥＳＲ特性の良好な固体電解コンデンサを提供すること。 - 特許庁