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温度放射体の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 281



例文

放射温度計及び放射温度計を備えた半導製造装置例文帳に追加

RADIATION THERMOMETER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT EQUIPPED WITH RADIATION THERMOMETER - 特許庁

放射温度計及び帯状金属温度測定方法例文帳に追加

RADIATION THERMOMETER AND TEMPERATURE MEASUREMENT METHOD FOR METAL BAND - 特許庁

放射温度計用安定光源、放射温度計のキャリブレーション方法及び放射温度計を用いた半導製造装置例文帳に追加

STABLE LIGHT SOURCE FOR RADIATION THERMOMETER, CALIBRATION METHOD FOR RADIATION THERMOMETER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING THE RADIATION THERMOMETER - 特許庁

簡易な放射温度測定を実現する放射温度測定装置と放射温度測定方法及び半導製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation temperature measuring device and a radiation temperature measuring method capable of realizing simple radiation temperature measurement, and a semiconductor manufacturing device. - 特許庁

例文

の熱放射を測り,その物温度を測定する温度例文帳に追加

a thermometer which measures a material's heat radiation and determines its temperature  - EDR日英対訳辞書


例文

放射温度測定装置と放射温度測定方法及び半導製造装置例文帳に追加

RADIATION TEMPERATURE MEASURING DEVICE AND RADIATION TEMPERATURE MEASURING METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE - 特許庁

放射温度計の校正用空洞形黒例文帳に追加

CAVITY TYPE BLACKBODY FURNACE FOR CALIBRATION OF RADIATION THERMOMETER - 特許庁

放射温度を測定する放射温度センサー部2と、湿度及び温度を測定する湿温度センサー部3とを有し、放射温度センサー部2と湿温度センサー部3とを一化して構成した。例文帳に追加

The humidity and temperature/radiation temperature measuring apparatus 1 includes a radiation temperature sensor unit 2 for measuring radiation temperature and a humidity/temperature sensor unit 3 for measuring humidity and temperature, wherein the radiation temperature sensor unit 2 and the humidity/temperature sensor unit 3 are integral with each other. - 特許庁

放射性発熱温度モニタリングシステム、放射性発熱温度モニタリング方法及び放射性物質貯蔵施設例文帳に追加

TEMPERATURE MONITORING SYSTEM FOR RADIOACTIVE HEAT GENERATOR, TEMPERATURE MONITORING METHOD FOR RADIOACTIVE HEAT GENERATOR, AND STORAGE FACILITY FOR RADIOACTIVE SUBSTANCE - 特許庁

例文

2色放射温度計1による検出温度と、単色放射温度計2による予測温度とが略一致したときの予測放射率を、被検放射率とする。例文帳に追加

The estimated emissivity when the detection temperature by the thermometer 1 coincides with the estimated temperature by the thermometer 2 is used as the emissivity of the sample. - 特許庁

例文

半導ウェハーWの温度は長波長放射温度計120および短波長放射温度計130によって測定される。例文帳に追加

The temperature of the semiconductor wafer W is measured by a long-wavelength radiation thermometer 120 and a short-wavelength radiation thermometer 130. - 特許庁

放射率として、放射温度計で測定した放射温度計表示温度を用いめること、放射率が異なる2種類の物質からなる混合物の放射温度計表示温度と、前記混合物の実際の温度との差を用いて、混合物の積混合率を求めること、混合物の実際の温度として、雰囲気温度を用いることが好ましい。例文帳に追加

It is preferred that a radiation thermometer displayed temperature measured by a radiation thermometer is used as the emissivity, the volume mixing ratio of the mixture is obtained using the difference between the radiation thermometer displayed temperature of the mixture consisting of the two kinds of substances with different emissivities and an actual temperature of the mixture, and that an atmospheric temperature is used as the actual temperature of the mixture. - 特許庁

一定の温度での黒は、放射線が平衡でなければならないレベルに達するために、その温度での完全放射である例文帳に追加

a black body maintained at a constant temperature is a full radiator at that temperature because the radiation reaching and leaving it must be in equilibrium  - 日本語WordNet

その後の半導ウェハーWの温度放射温度計120,130によって測定される。例文帳に追加

The subsequent temperature of the semiconductor wafer W is measured by radiation thermometers 120 and 130. - 特許庁

また、受圧ダイアフラム3は流温度に応じて赤外光を放射する。例文帳に追加

The pressure receiving diaphragm 3 emits infrared light in response to temperature of the fluid. - 特許庁

測定対象物の放射率に依存せず高精度な温度測定を実現する放射温度測定装置と放射温度測定方法及び半導製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation temperature measuring device and a radiation temperature measuring method capable of realizing highly accurate temperature measurement without depending on the emissivity of a measuring object, and a semiconductor manufacturing device. - 特許庁

その裏面温度と等温の黒から放射される放射光の強度と、半導ウェハーの表面から実際に放射される放射光の強度と、に基づいて半導ウェハーの表面の放射率を算定する。例文帳に追加

The heat treatment apparatus calculates emissivity of the surface of the semiconductor wafer based on an intensity of radiation light emitted from a black body isothermal with the measured rear face temperature and an intensity of radiation light actually emitted from the surface of the semiconductor wafer. - 特許庁

半導ウェーハ5の温度測定時には、半導ウェーハ5の放射強度以外の放射強度を取り込まないように、放射温度計プローブ31を下降させて、放射温度計プローブ31の先端部を半導ウェーハ5の表面近傍に位置させる。例文帳に追加

When the temperature of the semiconductor wafer 5 is measured, the radiation thermometer probe 31 is lowered to prevent radiation intensity other than that of the semiconductor wafer 5 from being taken in, and the tip section of the radiation thermometer probe 31 is located near the surface of the semiconductor wafer 5. - 特許庁

2色放射温度計1が出力する被検7の温度の検出結果と、単色放射温度計2が出力する被検7の予測温度とが略一致するまで、操作パネル2bから被検7の予測放射率を変化させながら入力する。例文帳に追加

The estimated emissivity of the sample 7 is inputted from an operation panel 2b while changing it until the detection result of the temperature of the sample 7 outputted from the thermometer 1 generally coincides with the estimated temperature of the sample 7 outputted from thermometer 2. - 特許庁

回転多面鏡24および感光1を駆動・回転させ、感光1の一端から放射された赤外光が、放射温度センサ30に入射するタイミングとなったら、放射温度センサ30の温度計測を開始し、感光1の一端の温度を検知する。例文帳に追加

When a rotary polygon mirror 24 and a photoreceptor 1 are driven to be rotated, and when there comes timing that infrared light radiated from one end of the photoreceptor 1 is made incident on a radiation temperature sensor 30, the temperature measurement by the radiation temperature sensor 30 is started so as to detect a temperature at one end of the photoreceptor 1. - 特許庁

給気温度センサ2は給気温度を測定し、放射温度センサ3は居住域の物の表面温度を測定し、風量センサ4は吹出風量を測定し、外気温度センサ5は外気温度を測定する。例文帳に追加

A supply air temperature sensor 2 measures supply air temperature, a radiation temperature sensor 3 measures surface temperature of a matter in the residential zone, an air volume sensor 4 measures supply air volume and an outdoor air temperature sensor 5 measures outdoor air temperature. - 特許庁

多重反射環境に設置された被測定54(W)の温度を、放射率を利用した放射温度計40を用いて測定する温度測定方法において、前記放射率として下記式で定まる実効放射率ε_eff を用いる。例文帳に追加

In this method of measuring the temperature of the measuring body 54 (W) placed in the multiple reflection environment by using a radiation thermometer 40 utilizing emissivity, an effective emissivity εeff defineed by the following expression is used as the above emissivity: εeff=(1-α).ε.ε/[1.F.r.(1-ε)]. - 特許庁

標準黒炉17から放射された放射光を透過窓14、反射鏡16、透過窓14の順番で経由させて放射温度計15に入射させて標準黒炉17の温度を測定する。例文帳に追加

The emitted light emitted from the standard black body furnace 17 is made incident on a radiation thermometer 15 via a transmission window 14, the reflecting mirror 16, and the transmission window 14 in this order, and a temperature of the standard black body furnace 17 is measured. - 特許庁

少なくとも1つのビーム放射型の半導素子を備えた装置およびビーム放射型の半導素子の動作温度を安定させる方法例文帳に追加

APPARATUS PROVIDED WITH AT LEAST ONE BEAM RADIATION SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD OF STABILIZING OPERATING TEMPERATURE OF THE BEAM RADIATION SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁

放射温度計120は、半導ウェハーWから放射される赤外光を保持プレート74の開口部78を介して受光する。例文帳に追加

A radiation thermometer 120 receives an infrared light which is radiated from the semiconductor wafer W via the opening 78 of the holder plate 74. - 特許庁

表面温度は、検知された黒放射から個別の試料3に対して格納されている放射率とともに、評価回路において計算される。例文帳に追加

The surface temperature is calculated from the detected black body radiation in an evaluation circuit with an emissivity stored for a different sample 3. - 特許庁

放射される赤外線の黒放射温度を簡単な構成で室温を含む広範囲に亘って制御する。例文帳に追加

To control a blackbody radiation temperature of an infrared ray to be emitted by means of a simple structure over a wide range including a room temperature. - 特許庁

さらに、制御部3は、求めた放射エネルギーから半導ウェハーの表面温度を算定する。例文帳に追加

Further, from the obtained radiation energy, the control unit 3 calculates the surface temperature of the semiconductor wafer. - 特許庁

温度によって熱放射率が変化する繊維および繊維構造および繊維製品例文帳に追加

FIBER HAVING THERMAL EMITTANCE CHANGED BY TEMPERATURE, FIBER STRUCTURE AND FIBER PRODUCT - 特許庁

電波吸収およびその周囲の温度分布を熱放射を考慮してシミュレーションする。例文帳に追加

To simulate a radio wave absorber and the temperature distribution of its periphery by taking into consideration heat radiation. - 特許庁

放射温度計における誤認識を抑制し雑固廃棄物の効率よい溶融管理を可能とする。例文帳に追加

To restrain erroneous recognition by an irradiation thermometer; and to achieve effective melting control of miscellaneous solid waste. - 特許庁

放射温度計に対して基板保持2を回転自在に設けて、基板保持2の周方向の温度情報が得られるように構成する。例文帳に追加

The substrate holder 2 is disposed rotatably with respect to the radiation thermometers so that temperature information in the circumferential direction of the substrate holder 2 can be obtained. - 特許庁

本発明の温度測定方法は、被測定から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。例文帳に追加

This temperature measurement method is provided with a process for selecting thermal radiation light having a wavelength within a predetermined range from thermal radiation light radiated from a measured body and a process for calculating a temperature by using the thermal radiation light having the wavelength within the predetermined range and selected in this selection process. - 特許庁

本発明の温度測定方法は、被測定から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。例文帳に追加

The temperature measurement method includes a process of selecting corresponding heat radiation light having a wavelength in a predetermined range from heat radiation light emitted from a body to be measured, and a process of calculating temperature using the heat radiation light having the wavelength in the predetermined range selected in the selection process. - 特許庁

このため、放射温度計120は、保持プレート74に保持された半導ウェハーWの温度を直接かつ正確に測定することができる。例文帳に追加

Thus, the radiation thermometer 120 can directly and accurately measure the temperature of the semiconductor wafer W held by the holder plate 74. - 特許庁

これにより、色温度を可変としながらも、各色温度における色度が黒放射軌跡に沿った自然な光色を実現できる。例文帳に追加

Thus, it is possible to realize natural light colors whose chromaticity conforms to a black body radiation track at each color temperature, even though color temperatures are variable. - 特許庁

抵抗加熱ヒータ3に、基板反り量と相関のある基板保持2の温度を裏面側から測定する放射温度計S1〜S3を設ける。例文帳に追加

The resistive heater 3 is provided with radiation thermometers S1-S3 for measuring the temperature of the substrate holder 2 having correlation with the amount of warp of the substrate from the rear surface side. - 特許庁

減圧チャンバー1の外部には評価試験8加熱面の表面温度を測定するための放射温度計13が設けられている。例文帳に追加

The outside of the decompression chamber 1 is provided with a radiation thermometer 13 for measuring surface temperature of the heated surface of the evaluation specimen 8. - 特許庁

加熱炉内をロールによって搬送される帯状金属温度を正確に測定することが可能な放射温度計を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation thermometer capable of accurately measuring a temperature of a metal band carried by rolls inside a heating furnace. - 特許庁

電波吸収温度をより高精度に制御することができるマイクロ波放射計用高温校正源の温度制御方法を得る。例文帳に追加

To obtain a temperature control method of a high temperature calibration source for a micro wave radiometer for highly accurately controlling a temperature of a radio wave absorber. - 特許庁

温度検知部11は、ケース111と、該ケース111の内部に収納された放射温度計112と、筒21とを備える。例文帳に追加

A temperature detecting section 11 includes a case 111, a radiation thermometer 112 housed in the case 111, and a tube 21. - 特許庁

時刻taにフラッシュ光照射を開始してから半導ウェハーの表面温度と裏面温度とが等しくなった時刻tcよりも後に、放射率が既知である半導ウェハーの裏面温度放射温度計によって測定する。例文帳に追加

A heat treatment apparatus measures a rear face temperature of a semiconductor wafer having known emissivity after a period of time from time ta at which flash light irradiation is started to time tc at which a surface temperature and the rear face temperature of the semiconductor wafer become identical with each other. - 特許庁

被加熱に取り付ける温度センサを備えると共に、温度センサにより検出された温度が予め設定された上限温度以上となったときには(ステップ360)、予め設定された一定時間、遠赤外線放射からの放射を休止させる(ステップ370,380)。例文帳に追加

This device has a temperature sensor attached to the subject of heating, and when the temperature detected by the temperature sensor is equal to or higher than a preset upper limit temperature (step 360), radiation from a far infrared radiating element is stopped for a preset time (step 370, 380). - 特許庁

測定室6の内部に被検7を配置し、測定室6の観測窓5を介して、被検7を夫々臨むように2色放射温度計1の本部1c及び単色放射温度計2の本部2cを配置する。例文帳に追加

The sample 7 is disposed inside a measurement chamber 6, and the body part 1c of a two-color emission thermometer 1 and the body part 2c of a single-color emission thermometer 2 are so disposed as to respectively face the sample 7 through an observation window 5 of the measurement chamber 6. - 特許庁

半導加熱装置において、赤外放射温度計が、半導加熱装置によって加熱されるウエハの温度をより正確に測定できる温度測定用ウエハ及び温度測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide a temperature measuring wafer and a temperature measuring method allowing an infrared radiation thermometer to more accurately measure a temperature of a wafer to be heated by a semiconductor heating device. - 特許庁

部をヘッド部の特性に容易に適合させることができる放射温度計を提供するとともに、ヘッド部を本部の設定に容易に適合させることができる放射温度計を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation thermometer capable of adapting a body part easily to the characteristic of a head part, and adapting the head part easily to setting of the body part. - 特許庁

放射性発熱温度異常の検出性能を向上させることができ、かつ構造を簡素化できる放射性発熱温度モニタリングシステムを提供する。例文帳に追加

To provide a temperature monitoring system for a radioactive heat generator, capable of enhancing detection performance of an abnormal temperature of the radioactive heat generator, and capable of simplifying structure. - 特許庁

半導ウェハ3の温度を非接触で計測するため、半導ウェハ3からの放射光を測定し、放射光の測定結果に基づいて実効放射率を未知変数として推定しながら半導ウェハ3の温度を演算する。例文帳に追加

In order to measure the temperature of a semiconductor wafer 3 in the noncontact state, radiated light from the semiconductor wafer 3 is measured, and the temperature of a semiconductor wafer 3 is operated, while estimating an effective radiation rate as an unknown variable, based on a measurement result of the radiated light. - 特許庁

温度測定対象とする人から放射される赤外線の測定値に基づいて、温測定をきわめて簡便かつ正確に行なうことができる非接触赤外線放射温度計を提供すること。例文帳に追加

To provide a non-contact infrared radiation thermometer capable of measuring a human body temperature very simply and correctly from the measured values of the infrared rays emitted by a human body considered as a thermometry object. - 特許庁

例文

放射温度計120の視野からは石英が除かれており、放射温度計120は半導ウェハーWの下面を直接測定することができる。例文帳に追加

The quartz is removed out of a field of view of the radiation thermometer 120, so the radiation thermometer 120 can directly measure a lower surface of the semiconductor wafer W. - 特許庁

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