「超高真空装置」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

超高真空雰囲気下で試料を高温に加熱し得るレーザ加熱装置及びそれを備えた真空プロセス用装置の提供。例文帳に追加

To provide a laser heating device capable of heating a sample to high temperature in an ultrahigh vacuum atmosphere, and to provide an apparatus for a vacuum process provided therewith. - 特許庁

第一段のターボファンと第二段の軸流分子ポンプとを備えた超高速真空ポンプ装置例文帳に追加

ULTRA HIGH-SPEED VACUUM PUMP SYSTEM WITH FIRST STAGE TURBOFAN AND SECOND STAGE TURBOMOLECULAR PUMP - 特許庁

第一段の超高速ターボファンと第二段の従来形軸流分子ポンプとを含んだ超高速真空ポンプ排気装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ultra high-speed vacuum pump evacuation system having a first stage ultra-high speed turbofan and a conventional second stage turbomolecular pump. - 特許庁

光電子顕微鏡内の１０^-5Ｐａ以下という超高真空下において確実にガス吸着を実現でき、かつ、この超高真空を安定して維持できる試料装置を提供する。例文帳に追加

To provide a sample device which can certainly realize the adsorption of gas under the ultrahigh vacuum of 10^-5Pa or below in the photoelectron microscope and can stably keep this ultrahigh vacuum. - 特許庁

従来では真空室を超高真空に保つため装置構造が特殊で、複雑かつ高価な差動排気システムが必要で、製造価格が高価で取り扱い操作が煩雑化である。例文帳に追加

To solve a problem that a conventional device is specialized for keeping a vacuum chamber to an ultrahigh vacuum, needs a complicated and expensive differential exhaust system, is high in manufacturing cost, and complicated in handling operation. - 特許庁

真空断熱容器２２内に位置する高温超伝導体２０により静磁場を発生させる核磁気共鳴装置の制御方法。例文帳に追加

This method is to control a nuclear magnetic resonance apparatus, that generates a static magnetic field by a high-temperature superconductor 20, located inside a vacuum thermal insulating vessel 22. - 特許庁

装置中に樹脂や接着剤等のベーク温度に耐えられない部品を含んだ超高真空走査形プローブ顕微鏡のベークを行う。例文帳に追加

To conduct baking for an ultra-high vacuum scanning probe microscope including a component, not heat-resistant in a baking temperature, comprising a resin, an adhesive or the like, in the microscope. - 特許庁

次に、試料台２を超高真空装置から取り出し、薄膜試料１を試料台２から取り外す。例文帳に追加

Next, the sample stand 2 is taken out of the ultrahigh vacuum apparatus and the thin film sample 1 is taken out of the sample stand 1. - 特許庁

高価な真空蒸着装置、フォトリソグラフィ技術、及びエッチング手段を必要としない超電導回路作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for making a superconducting circuit without requiring an expensive vacuum deposition system, a photolithography technology and an etching means. - 特許庁

研磨パッド３の洗浄を行う際、超高圧水発生装置１５によって超高圧水を発生させながら真空発生装置１６により真空を発生させ、同時に、揺動機構１４により洗浄ノズル１０〜１２を研磨パッド３の半径方向に揺動させる。例文帳に追加

When a polishing pad 3 is cleaned, water of superhigh pressure is generated by a superhigh pressure water generating device 15, a vacuum is produced by a vacuum pump 16, and cleaning nozzles 10 to 12 are swung in the radial direction of the polishing pad 3. - 特許庁

既存の装置における超高真空を維持する必要のある空間に容易にかつ簡単に取り付けることができしかもこのような空間をもつ機器の動作に実質的に影響を及ぼさずに空間内を超高真空にできるスパッタイオンポンプを提供する。例文帳に追加

To provide a sputter ion pump that can be easily and simply mounted to a space necessary for maintaining an ultra-high vacuum for an existing device, capable of generating ultra-high vacuum without substantially affecting the operation of an equipment having such a space. - 特許庁

数百μｍを超える厚膜の成膜が可能であり、かつ、多量の成膜材料を高い均一性で迅速に溶融でき、しかも、突沸に起因する欠陥等も防止できる真空蒸着用の蒸発源、および、この蒸発源を利用する真空蒸着装置を提供する。例文帳に追加

To provide an evaporation source for vacuum vapor deposition, which can form a film with a film thickness exceeding several hundred micrometers, can highly uniformly and quickly melt a large amount of a film-forming material, and can prevent a defect due to bumping and the like, and to provide a vacuum vapor-deposition apparatus using the evaporation source. - 特許庁

この発明は、簡単な構成により、内部の超高真空を維持した上で、２枚のプレートを高精度に位置合わせできる平面表示装置の製造装置、および製造方法を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a device and a method for manufacturing a flat display device capable of accurately positioning two sheets of plates while maintaining ultra high vacuum therein by a simple structure. - 特許庁

10^-5〜10^-12 Pam/s以下の８桁超にわたる超広域で、真空排気開始から連続的に計測できる測定確度の高いガス放出速度測定装置及びそれを用いた測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide a gas emitting speed measuring device and a measuring method therewith measuring with high measurement accuracy capable of measuring continuously from onset of vacuum exhaust over super-wide range ranging with order-eight less than 10^-5 to 10^-12 Pam/s. - 特許庁

Ｓｉ基板１表面の前処理をした後、超高真空化学気相成長装置（ＵＨＶ−ＣＶＤ装置）を用いて、Ｓｉ基板１上に、ＳｉＧｅＣ層２を形成する。例文帳に追加

After the surface of an Si substrate 1 is subjected to pretreatment, an ultra-high-vacuum chemical vapor deposition device (UHV-CVD device) is used for forming an SiGeC layer 2 on the Si substrate 1. - 特許庁

超紫外線を使うリソグラフィ投影装置であって、基板をロードロックを介して真空室に装填する場合に、基板を最少の受渡し回数で且つ高精度で支持体上に配置する方法および装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a method and apparatus which is lithographic projection apparatus which uses extreme ultra-violet rays, wherein a substrate is disposed on a carrier in the minimum delivery number and high accuracy, when the substrate is loaded into a vacuum chamber via a load lock. - 特許庁

高温により金属壁への分子の吸着を最小限に抑え、高濃度サンプル分子の超音速分子線を真空室中へ噴出することができる温度可変型のパルスガス噴射装置を提供する。例文帳に追加

To provide a temperature-variable type pulse gas injection device capable of suppressing to the minimum adsorption of molecules onto a metal wall by a high temperature, and blowing out a supersonic molecular beam of high-concentration sample molecules into a vacuum chamber. - 特許庁

減圧下で生成される粒径数ｎｍレベルの超微粒子を高精度で分級し、さらに高真空側の堆積室へ搬送することが可能な分級装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a classifying device, capable of classifying, with high accuracy, ultra fine particles having a grain size of the order of nm produced under a reduced pressure and capable of conveying them to an accumulation chamber of a higher vacuum. - 特許庁

超高濃度オゾンガス発生装置１にて、酸素を原料として生成したオゾンガスを真空下にて冷却して高純度及び高濃度化した液化オゾンを生成し、この液化オゾンを気化させることにより超高濃度オゾンガスを得る。例文帳に追加

In a highly concentrated ozone gas generator 1, liquified ozone of high purity and high concentration is generated by cooling the ozone gas generated with oxygen as a raw material in vacuum and a highly concentrated ozone gas is obtained by vaporizing the liquified ozone. - 特許庁

本発明の目的は、真空チャンバ内部の圧力状態に依存せずに、例えば、１辺の長さが１ｍを超える大形基板に対して、蒸発源の安定したスキャン動作が行える駆動機構を備えた信頼性の高いまたは稼働率の高いあるいは安定して蒸着が可能なまたは軽量で製作コスト、装置輸送コストの低減を図った真空蒸着装置を提供することである。例文帳に追加

To provide a vacuum vapor deposition device provided with a driving mechanism capable of performing stable scanning operation of a vaporization source to a large-sized substrate having e.g. one side length of >1 m without depending on a pressure state in an inner part of a vacuum chamber and having high reliability, a high operation rate, stable deposition or reduced production cost and device conveying cost. - 特許庁

本発明は、圧力測定に必要な超音波発信及び受信の効率を増加させて、正確度を向上させ、高真空でも圧力測定が可能な測定装置を提供する。例文帳に追加

To provide a measuring apparatus capable of measuring a pressure in a high vacuum by increasing efficiency of ultrasound transmission and reception required in measuring the pressure and improving accuracy. - 特許庁

薄膜試料１を試料台２に固定し、超高真空装置内に導入し、試料台２を回転させながら、１００Å程度イオンスパッタを行う。例文帳に追加

A thin film sample 1 is fixed to a sample stand 2 to be introduced into an ultrahigh vacuum apparatus and ion sputtering of about 100 Åis performed while the sample stand 2 is rotated. - 特許庁

パルスレーザ堆積（ＰＬＤ）装置１０を用いて、超高真空（１０^−１０ｔｏｒｒ）に減圧されたチャンバ１１内に電磁鋼板１２（Ｆｅ_０．９７％Ｓｉ_０．０３％）を配置し、当該電磁鋼板１２を８００℃に加熱する。例文帳に追加

The electromagnetic steel plate 12 (Fe_0.97%Si_0.03%) is arranged in a camber 11 that is depressurized to an ultrahigh vacuum (10^-10torr) with the use of a pulse laser depositing (PLD) device 10, and the seel plate 12 is heated to 800°C. - 特許庁

超紫外線を使うリソグラフィ投影装置であって、パターニング手段や投影手段が真空室内にあり、この室内の部品をを熱的に状態調節するために熱遮蔽体を備える装置に於いて、この真空室を所望の低圧に維持しながら高度に汚染物質を除去して生産性を向上すること。例文帳に追加

To improve productivity by removing contaminant in high degree in such a manner that a vacuum chamber is kept at a desired low pressure in a lithography projector in which super-ultraviolet rays are used, patterning or projection means are equipped inside the vacuum chamber, and a thermal shield is equipped in order to thermally adjust components in the chamber. - 特許庁

電子ビーム装置、特に大電流で小直径なビームが必要とされるプローブフォーミングシステム（スポットビーム型電子線露光装置、分析用電子顕微鏡など）の電子銃に使用する磁場レンズに関し、超高真空雰囲気に適合し、かつワブリング動作が可能な磁場レンズを提供する。例文帳に追加

To provide a magnetic field lens used for an electron gun of an electron beam device, particularly a probe-forming system (spot beam type electron beam aligner, electron microscope, etc.) which is suitable to an ultrahigh vacuum atmosphere, and can perform wabbling operation. - 特許庁

シート状の基板上に、真空蒸着によって（蓄積性）蛍光体層を製造する蓄積性蛍光体シートの製造に際し、２００μｍを超える厚さの蛍光体層を高度に密着性よく形成することが可能な蛍光体シート製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus for manufacturing a fluorophor sheet, which can form a highly adhesive fluorophor layer having thickness of more than 200 μm, in manufacturing the photostimulable fluorophor sheet which has the (photostimulable) fluorophor layer formed on a sheet substrate by vacuum deposition. - 特許庁

空気ばね式アイソレータ３（除振装置）のピストンにジンバル機構を組み込んで、上下及び水平の両方向について優れた除振性能を得られるようにするとともに、アウトガスの問題を解消して超高真空下での使用を可能とし、且つ十分な耐久信頼性を確保する。例文帳に追加

To develop improved vibration resistant performance in both vertical and horizontal directions by incorporating a gimbal mechanism into a piston of an air spring type isolator 3 (a vibration resistant device) and to secure sufficient durability and reliability by solving the problem with outgas for allowing the use under a ultra-high vacuum. - 特許庁

ニッケル等軟質金属のメッキあるいは蒸着されてなくても十分なシール性が確保でき、特に半導体製造装置などの機器に使用した時に超高真空およびガスシールが可能となる中空金属Ｏリングを提供する。例文帳に追加

To provide a hollow metal O-ring capable of securing enough sealing ability without being plated with a soft metal such as nickel or the like or being deposited, and achieving ultra-high vacuum and gas sealing especially when used in an apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or the like. - 特許庁

プラズマによる撥水処理層の成形手段に真空中の高密度プラズマ環境を形成することによって、効率よくかつ強固に撥水処理層を形成できるようにした、超撥水膜の製造方法および製造装置並びにその製品の提供。例文帳に追加

To provide a method and a device for producing a super-water repellent film where a water repellent treatment layer can be efficiently and firmly formed by forming a high density plasma environment in a vacuum regarding a means of forming a water repellant treatment layer by plasma, and to provide a product thereby. - 特許庁

本発明は真空チャンバ内部の圧力状態に依存せず、特に１辺の長さが１ｍを超える大形基板に対して精密なパターニングに向けた高精度基板アライメントが可能な成膜装置または成膜システムを提供することである。例文帳に追加

To provide a film deposition device or film deposition system by which highly accurate substrate alignment for accurate patterning can be applied to a large-sized substrate especially having a side having a length exceeding 1 m without depending on a pressure state of an inner part of a vacuum chamber. - 特許庁

シート状の基板に、真空蒸着によって蓄積性蛍光体層を製造する蓄積性蛍光体シートの製造装置において、２００μｍを超える厚さの層中に、極微量の付活剤を高精度に添加した蛍光体層を作製することができる蓄積性蛍光体シート製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide a device for manufacturing a storage phosphor sheet that can produce a phosphor layer where a trace of an activator is added in a layer whose thickness is more than 200 μm with high precision in the device for manufacturing a storage phosphor layer where it is manufactured by vacuum-evaporating it onto a substrate shaped like a sheet. - 特許庁

雰囲気を超高真空にしなくとも酸化反応を抑止することができ、電子放出を長期に経時劣化を抑えて安定に得ることができ、そしてそれを用いた画像形成装置について、輝度のばらつき，劣化を抑えて画像表示を安定に行える電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electron emitting element, capable of suppressing oxidizing reaction without providing an ultrahigh vacuum atmosphere, capable of obtaining stable electron emission with suppressed aged deterioration over a long period of time, and provide an image forming device using the same, capable of displaying a stable image, while suppressing variations and deterioration in brightness. - 特許庁

雰囲気を超高真空にしなくとも酸化反応を抑止することができ、電子放出を長期に経時劣化を抑えて安定に得ることができ、そしてそれを用いた画像形成装置について、輝度のばらつき，劣化を抑えて画像表示を安定に行える電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electron emitting element, capable of suppressing oxidizing reaction without providing an ultrahigh vacuum atmosphere, capable of obtaining stable electron emission with aging deterioration suppressed over a long period of time, and provided an image forming device using the same, capable of displaying a stable image, while suppressing variations and deterioration in brightness. - 特許庁