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pmisを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 41



例文

Successively, a metal film EM1 for a gate electrode is formed on the cap film Cp1 for pMIS, and by processing these, a metal gate electrode pG1 for pMIS and a high dielectric gate insulating film pI1 for pMIS are formed.例文帳に追加

続いて、pMIS用キャップ膜Cp1上にゲート電極用金属膜EM1を形成し、これらを加工することでpMIS用金属ゲート電極pG1とpMIS用高誘電率ゲート絶縁膜pI1とを形成する。 - 特許庁

The active regions Rtn for NMIS and the active regions Rtp for PMIS are so laid out that the distances Dpn in the Y direction between the active regions Rtn for NMIS and the active regions Rtp for PMIS may be essentially a constant value.例文帳に追加

NMIS用活性領域RtnとPMIS用活性領域RtpとのY方向における間隔Dpnは、実質的に一定値になるようにレイアウトされている。 - 特許庁

Further, ion implantation in the first stress film N1a in the pMIS region Rp is carried out to reduce stress.例文帳に追加

その後、pMIS領域Rpの第1応力膜N1aにイオン注入300を施すことで応力を緩和させる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a practical CMISFET having a metal gate electrode suitable for nMIS and pMIS.例文帳に追加

nMISおよびpMISに適したメタルゲート電極を有する実用的なCMISFETの製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a semiconductor device capable of simultaneously reducing the threshold voltages of an NMIS transistor and a PMIS transistor.例文帳に追加

NMISトランジスタとPMISトランジスタの閾値電圧を同時に低減できる半導体装置を提供する。 - 特許庁


例文

Bit information of pre-coding matrix indicators (PMIs) to be assigned to pre-coding weights is adjusted to suppress the influence of a feedback error from a mobile station device, in a code book where the multiple pre-coding weights and PMIs to be assigned to the pre-coding weights are decided.例文帳に追加

プリコーディングウェイトと、このプリコーディングウェイトに割り当てられるPMI(Precoding Matrix Indicator)とを複数定めたコードブックにおいて、プリコーディングウェイトに割り当てられるPMIのビット情報を、移動局装置からのフィードバックエラーによる影響を抑制するように調整したことを特徴とする。 - 特許庁

Gate electrodes 6 and 7 formed of a polysilicon film is separated from each other through the intermediary of a side wall spacer 12S which fills up a gap 10 formed above an element isolation film 5S located at an interface between an NMIS region and a PMIS region, and is disposed in face to face with each other.例文帳に追加

ポリシリコン膜から成るゲート電極6,7は、NMIS領域とPMIS領域との境界に於ける素子分離絶縁膜5Sの上方に形成された空隙10を埋め込むサイドウォールスペーサ部分12Sを介して分離され、互いに対向し合っている。 - 特許庁

The semiconductor device includes the NMIS transistor formed on the NMIS region (3) on a semiconductor substrate (1), a PMIS transistor formed on the PMIS region (4) formed so as to have a space between the NMIS region (3) on the semiconductor substrate (1), and continuous stressed insulating films (22, 22a) having the internal stress.例文帳に追加

半導体装置は、半導体基板(1)におけるNMIS領域(3)上に形成されたNMISトランジスタと、半導体基板(1)におけるNMIS領域(3)と間隔をおいて形成されたPMIS領域(4)上に形成されたPMISトランジスタと、半導体基板(1)上に、NMISトランジスタとPMISトランジスタとを覆うように形成され、内部応力を有する連続した応力絶縁膜(22、22a)とを備える。 - 特許庁

The high-permittivity gate insulating film 102 is formed at the nMIS and pMIS formation regions on a single-crystal silicon substrate 100, a first metal film 103 without containing silicon and germanium is formed on the gate insulating film 102, the first metal film 103 is allowed to remain on the gate insulating film at the pMIS formation region, and the first metal film 103 is removed at the nMIS formation region.例文帳に追加

単結晶シリコン基板100のnMISおよびpMIS形成領域に高誘電率ゲート絶縁膜102を形成し、ゲート絶縁膜102上にシリコンおよびゲルマニウムを含まない第一の金属膜103を形成し、pMIS形成領域のゲート絶縁膜上に第一の金属膜103を残して、nMIS形成領域の第一の金属膜103を除去する。 - 特許庁

例文

On a principal surface s1 of a silicon substrate 1, a gate electrode GEn for nMIS is formed in an nMIS region R, a gate electrode GEp for pMIS is formed in a pMIS region Rp, and an n-type source-drain region sdn and a p-type source-drain region sdp are formed by and below them, respectively.例文帳に追加

シリコン基板1の主面s1上のうち、nMIS領域RnにnMIS用ゲート電極GEnを形成し、pMIS領域RpにpMIS用ゲート電極GEpを形成し、それらの側方下部に、それぞれ、n型ソース・ドレイン領域sdnおよびp型ソース・ドレイン領域sdpを形成する。 - 特許庁

例文

After a resist pattern 19 that covers a PMIS region is formed, and then the polysilicon germanium film 18 in an NMIS region is implanted with phosphorus ion 20, a heat treatment for diffusion is implemented.例文帳に追加

PMIS領域を覆うレジストパターン19を形成した後、NMIS領域のポリシリコンゲルマニウム膜18にリンイオン20を注入した後、拡散用の熱処理を行う。 - 特許庁

To make optimum, in a PMIS transistor and an NMIS transistor, a current driving capability of transistors constituting a semiconductor circuit device by the alteration of a layout.例文帳に追加

レイアウト変更によって半導体回路装置を構成するトランジスタの電流駆動能力をPMISトランジスタ及びNMISトランジスタでそれぞれ最適化できるようにする。 - 特許庁

Further, after a resist pattern 21 that covers an NMIS region has been formed and the polysilicon germanium film 18 in the PMIS region has been implanted with boron ions, heat treatment for diffusion is conducted.例文帳に追加

NMIS領域を覆うレジストパターン21を形成した後、PMIS領域のポリシリコンゲルマニウム膜18にボロンイオンを注入した後、拡散用の熱処理を行う。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a reliable semiconductor device by suppressing a change in the work function of a dual metal gate electrode provided on a high-permittivity gate insulating film at nMIS and pMIS formation regions.例文帳に追加

nMISおよびpMIS形成領域の高誘電率ゲート絶縁膜上に設けられたデュアルメタルゲート電極の仕事関数の変化を抑制して、信頼性の高い半導体装置を製造する方法を提供する。 - 特許庁

First sidewalls 16a, 16b each having a tensile stress are formed on the side faces of the gate electrode 14a of an NMIS transistor and the gate electrode 14b of a PMIS transistor.例文帳に追加

NMISトランジスタのゲート電極14a及びPMISトランジスタのゲート電極14bの側面上に、引張応力を有する第1のサイドウォール16a、16bを形成する。 - 特許庁

To improve the current driving ability of a MIS (metal insulator semiconductor) transistor, especially a PMIS transistor by changing a layout without changing a semiconductor process.例文帳に追加

半導体プロセスを変更することなく、レイアウト変更によって、MISトランジスタ、特にPMISトランジスタの電流駆動能力を向上できるようにする。 - 特許庁

The gate potential of the NMIS transistor 3 can be kept lower than the potential of the power supply line 1 by the NMIS transistor 6 and PMIS transistor 7.例文帳に追加

この時、NMISトランジスタ6及びPMISトランジスタ7によりNMISトランジスタ3のゲート電位を電源ライン1の電位よりも低く抑えることができる。 - 特許庁

A part (22a) positioned on the NMIS region in the stressed insulating films (22, 22a) includes the tensile internal stress compared with the other part (22) positioned on the PMIS region (4).例文帳に追加

応力絶縁膜(22、22a)におけるNMIS領域上に位置する部分(22a)は、PMIS領域(4)上に位置する部分(22)に比べて、引張の内部応力を有している。 - 特許庁

The semiconductor device includes a gate insulation film 105, a pMIS metal material 109 or an nMIS metal material 111, a gate electrode material 112, and a gate side wall metal layer 122 on a semiconductor substrate 101.例文帳に追加

半導体装置は、半導体基板101上に、ゲート絶縁膜105と、pMIS用金属材料109又はnMIS用金属材料111と、ゲート電極材料112と、ゲート側壁メタル層122とを備えている。 - 特許庁

In particular, excessive oxygen in the high dielectric film hk1 is removed by the first heat treatment, and the first metal in the cap film Cp1 for pMIS is diffused in the high dielectric film hk1 by the second heat treatment.例文帳に追加

特に、第1熱処理では高誘電体膜hk1中の余剰酸素を除去し、第2熱処理では高誘電体膜hk1中にpMIS用キャップ膜Cp1中の第1金属を拡散させる。 - 特許庁

A pMIS region is formed between a boundary BR extending in a direction X and passing through each of a plurality of standard cells Cff and a first peripheral edge OTp.例文帳に追加

pMIS領域は、方向Xに沿って複数のスタンダードセルCffの各々を通る境界BRと、第1の外縁OTpとの間に形成されている。 - 特許庁

The SiGe_x region 24 in a PMIS region 140 contains p-type impurities at a relatively high concentration, and it is connected with the silicide 26.例文帳に追加

また、PMIS領域140におけるSiGe_x領域24は、比較的に高濃度のP型不純物を含んでおり、シリサイド26と電気的に接続されている。 - 特許庁

An intermediate withstand voltage CMIS is configured of a 6V withstand voltage intermediate withstand voltage pMIS (Q2p) formed in an n-type well 5d and a 6 V withstand voltage intermediate withstand voltage nMIS (Q2n) formed in a p-type well 8.例文帳に追加

n型ウエル5dに形成された6V耐圧の中耐圧pMIS(Q2p)と、p型ウエル8に形成された6V耐圧の中耐圧nMIS(Q2n)とから中耐圧CMISが構成されている。 - 特許庁

On the principal plane of a substrate 1, the active region of a pMIS transistor and the active region of an nMIS transistor insulated and separated from each other by an element isolation region 2 are provided.例文帳に追加

基板1の主面には、素子分離領域2によって互いに絶縁分離されたpMISトランジスタの活性領域およびnMISトランジスタの活性領域が設けられている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a CMIS transistor, capable of preventing composition of a silicide layer from varying on the PMIS transistor side and the NMIS transistor side, and also capable of preventing the gate shapes of the transistors from becoming unstable.例文帳に追加

本発明は、PMISトランジスタ側とNMISトランジスタ側とでシリサイド層の組成のバラツキを防止でき、またトランジスタのゲート形状の不安定化を防止できる、CMISトランジスタの製造方法を提供する。 - 特許庁

Depending on those steps, N content of the HfAlON film can be reduced in the pMIS formation region 1A, and N content of the HfLaON film can be increased in the nMIS formation region.例文帳に追加

かかる工程によれば、pMIS形成領域1Aにおいては、HfAlON膜のN含有量を少なくでき、nMIS形成領域1Bにおいては、HfLaON膜のN含有量を多くできる。 - 特許庁

A guard band (G1p), a guard band (G1n), and a guard band (G2) are respectively installed in the periphery of the intermediate withstand voltage pMIS (Q2p), the intermediate withstand voltage nMIS (Q2n), and the intermediate withstand voltage CMIS.例文帳に追加

中耐圧pMIS(Q2p)、中耐圧nMIS(Q2n)および中耐圧CMISの周囲には、それぞれガードバンド(G1p)、ガードバンド(G1n)およびガードバンド(G2)が設けられている。 - 特許庁

In an N well 2 of the semiconductor circuit device, active regions Rtp for PMIS are formed as surrounded by the trench isolation Ris, while in a P well 3, active regions Rtn for NMIS are formed, also being surrounded by the trench isolation Ris.例文帳に追加

半導体回路装置のNウェル2には、PMIS用活性領域Rtpが、Pウェル3には、NMIS用活性領域Rtnがそれぞれトレンチ分離Risで囲まれて設けられている。 - 特許庁

The extruding length of first extrusion 8 of the PMIS transistor 40 is longer than the extruding length of second extrusion 9 of the NMIS transistor 41.例文帳に追加

PMISトランジスタ40の第1の突き出し部8の突き出し長さは、NMISトランジスタ41の第2の突き出し部9の突き出し長さよりも長い。 - 特許庁

The bit information of the PMIs to be assigned to the pre-coding weights is adjusted to suppress the influence of a transmission beam to be formed based on the PMI with the occurrence of the feedback error.例文帳に追加

プリコーディングウェイトに割り当てられるPMIのビット情報は、フィードバックエラーが発生したPMIに基づいて形成される送信ビームの影響を抑制するように調整される。 - 特許庁

To form a silicon layer or metal silicide layer over the source drain electrode of a PMIS transistor without causing lattice relaxation in a silicon germanium layer containing germanium of high concentration even when the silicon germanium layer is used for the source drain electrode.例文帳に追加

PMISトランジスタのソースドレイン電極に高濃度のゲルマニウムを含むシリコンゲルマニウム層を用いても、シリコンゲルマニウム層に格子緩和を生じさせることなく、ソースドレイン電極の上部にシリコン層又は金属シリサイド層を形成できるようにする。 - 特許庁

Also, parts between the adjacent second fins 4n in the nMIS formation region are completely filled by the gate electrode 6, and the parts between the adjacent first fins 4p of the pMIS formation region are filled by the gate electrode 6 and an insulating film formed in the upper layer.例文帳に追加

また、ゲート電極6でnMIS形成領域の隣接する第2フィン4n間を完全に埋め込み、ゲート電極6およびその上層に形成される絶縁膜でpMIS形成領域の隣接する第1フィン4p間を埋め込む。 - 特許庁

To provide a technology capable of restraining atoms contained in the described metal films (gate material) from being mutually diffused when a gate electrode is formed in both cases that a dual gate is formed of different metal silicides, and that a dual gate is formed of metal and metal alloy.例文帳に追加

ポリシリコンゲートと金属膜との反応によりデュアルゲートを形成する場合、ゲートの高さ方向以外に横方向にも金属膜の拡散及びシリサイド反応が生じるため、NMIS領域とPMIS領域とのPN境界に於いて金属原子の相互拡散が発生する。 - 特許庁

A high dielectric film hk1 mainly composed of hafnium and oxygen, and a pMIS cap film Cp1 mainly composed of a first metal and oxygen and including more first metal than a stoichiometric composition are formed on a silicon substrate 1 in this order.例文帳に追加

シリコン基板1上に、順に、ハフニウムおよび酸素を主体とする高誘電体膜hk1と、第1金属および酸素を主体とし、化学量論的組成よりも多くの第1金属を含むpMIS用キャップ膜Cp1を形成する。 - 特許庁

The PMIS transistor 40 is composed of a first active area 1 and a first gate electrode 7 which is formed on the first active area 1, its one end is connected with a gate wiring 7, and another end has a first extrusion 8 extruding from the first active area 1 to the opposite side of the gate wiring 7.例文帳に追加

PMISトランジスタ40は、第1の活性領域1と、該第1の活性領域1の上に形成され、一端がゲート配線7と接続され、他端が第1の活性領域1からゲート配線7の反対側に突き出す第1の突き出し部8を有する第1のゲート電極7とからなる。 - 特許庁

A plurality of pMIS wires M1p and a plurality of nMIS wires M1n are arranged on a plurality of first virtual lines VLp and a plurality of second virtual lines VLn, respectively, extending in direction X and arranged with a pitch Pmin in a direction Y.例文帳に追加

複数のpMIS配線M1pおよび複数のnMIS配線M1nのそれぞれは、方向Xに沿って延びかつ方向Yに沿ってピッチPminで配置された複数の第1の仮想ラインVLpおよび複数の第2の仮想ラインVLnの上に配置されている。 - 特許庁

Then, after donor impurities are injected in the NMIS region RN and acceptor impurities are injected in the PMIS region RP among the first polysilicon film E1a and a second polysilicon film formed thereon, these are processed to form an n-type gate electrode and a p-type gate electrode.例文帳に追加

その後、第1多結晶シリコン膜E1aおよびその上に形成した第2多結晶シリコン膜のうち、NMIS領域RNにはドナー不純物を、PMIS領域RPにはアクセプタ不純物を注入した後、これらを加工して、n型のゲート電極とp型のゲート電極とを形成する。 - 特許庁

An NMIS gate implantation layer is formed by a method of adding the mask data of a p-type well implantation layer to the mask data obtained by subtracting the mask data of an NMIS-SD implantation layer and a PMIS-SD implantation layer from the mask data of an n-type well implantation layer.例文帳に追加

NMISゲート注入レイヤは、N型ウエル注入レイヤのマスクデータからNMIS−SD注入レイヤ及びPMIS−SD注入レイヤのマスクデータを差し引いて得られるマスクデータに、P型ウエル注入レイヤのマスクデータを加算するという方法で生成される。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device, in which an insulating film on an NMIS region having internal stress is provided with a tensile stress compared with an insulating film on a PMIS region, without giving damage to the NMIS transistor, and a semiconductor device manufactured by the method.例文帳に追加

NMISトランジスタに損傷を与えることなく、NMIS領域上の内部応力を有する絶縁膜がPMIS領域上の絶縁膜に比べて引張応力を有する半導体装置を製造する方法、並びに、該方法によって製造された半導体装置を提供する。 - 特許庁

The present invention is a manufacturing method of a semiconductor device having a p-channel MISFET in a pMIS formation region 1A, and an n-channel MISFET in an nMIS formation region 1B, comprises: a process of forming an Al film 8a on an HfON film 5; and a process of forming a Ti-rich TiN film 7a on the Al film.例文帳に追加

本発明は、pチャネル型MISFETをpMIS形成領域1Aに有し、nチャネル型MISFETをnMIS形成領域1Bに有する半導体装置の製造方法であって、HfON膜5上にAl膜8aを形成する工程と、Al膜上にTiリッチなTiN膜7aを形成する工程と、を有する。 - 特許庁

例文

To solve the problems of penetration of dopant in a gate at ion implantation when a refractory metal is used as a low resistance metal, and of difference in gate resistance of a PMIS transistor and an NMIS transistor caused by dependence on a base of a grain size of the low resistance metal, in a FET containing a high-k film.例文帳に追加

high−k膜を含むFETにおいて、低抵抗金属として高融点金属を用いた場合のイオン注入時のゲートにおけるドーパント突き抜けの問題と、低抵抗金属のグレインサイズの下地依存に起因したPMISトランジスタとNMISトランジスタとのゲート抵抗の差を解決する。 - 特許庁




  
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