| 例文 |
silicon diffusion sourceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 76件
Thereafter a silicon oxidation film 125 is accumulated, patterning for forming a low resistance diffusion layer for emitter and MOS source/drain taking-out is performed, As+ ion is injected on the emitter part of a bi-polar transistor and the source/drain taking-out part of an NMOS transistor, and BF2+ ion is injected to the source/drain taking-out part of a PMOS transistor.例文帳に追加
その後、シリコン酸化膜125を堆積させ、エミッタ及びMOSソース/ドレイン取り出し用の低抵抗拡散層を形成するためのパターンニングを行い、バイポーラトランジスタのエミッタ部とNMOSトランジスタのソース/ドレイン取り出し部にAs+イオンを注入し、PMOSトランジスタのソース/ドレイン取り出し部にBF2+イオンを注入する。 - 特許庁
Two kinds of p-type impurities of boron having higher solid solubility with respect to silicon, and indium having lower solid solubility with respect to silicon, are diffused into a body region 10 while the ratio of concentration of indium in a site near the source diffusion layer 12a of the body region 10 is specified so as to be higher than that in the other sites.例文帳に追加
シリコンに対する固溶限度のより高いボロンとより低いインジウムとの2つのP型不純物をボディ領域10に拡散するとともに、そのボディ領域10のソース拡散層12a近傍の部位におけるインジウムの濃度比を該ボディ領域10の他の部位に比して高くする。 - 特許庁
A select gate 6 and a floating gate 7 are formed on a silicon substrate 1 through gate oxide films 5 and 4, a drain region 2 is formed on the side of the floating gate 7, a source region 3 is formed on the side of the select gate 6, and a diffusion layer 11 is formed in the silicon substrate 1 located between the gates 6 and 7.例文帳に追加
シリコン基板1上に、ゲート酸化膜5,4を介して選択ゲート6,浮遊ゲート7が形成され、浮遊ゲート7の側方にドレイン領域2が、選択ゲート6の側方にソース領域3が、各ゲート6,7間に位置するシリコン基板1内に拡散層11がそれぞれ形成されている。 - 特許庁
A semiconductor chip 11 is provided with a silicon substrate 16 including an element forming region 21 on the upper side of which a MIS transistor source-drain diffusion layer is formed, and a scribe region 22 for surrounding the element forming region 21.例文帳に追加
半導体チップ11は、MISトランジスタのソース・ドレイン拡散層を上面に有する素子形成領域21と、素子形成領域21の周囲を囲むスクライブ領域22とを有するシリコン基板16を備える。 - 特許庁
Then, even if after the multilayer structure in a layer above the surface of a silicon semiconductor substrate 2 has been formed, the thermal treatment is carried out and a bond of heavy hydrogen to silicon is cut, heavy hydrogen can be continuously supplied to an interface between source/drain diffusion layers 16, 17 of the silicon semiconductor substrate 2 and a gate insulating film 18.例文帳に追加
すると、シリコン半導体基板2の表面より上層の多層構造を形成した後に熱処理が行われ重水素とシリコンの結合が切断されたとしても、シリコン半導体基板2のソース/ドレイン拡散層16および17とゲート絶縁膜18との間の界面に継続的に重水素を供給できるようになる。 - 特許庁
The transistors have source/drain diffusion regions 26, 27, 28, 29 on a silicon substrate, first channel regions 16 among the spread regions, and conductor layers 24 via first insulation layers 22 on the first channel region.例文帳に追加
駆動トランジスタは、シリコン基板上に、ソース/ドレイン拡散領域26,27,28,29と、それら拡散領域の間の第1チャネル領域16とを有し、更に第1チャネル領域上に第1絶縁層22を介して導電層24を有する。 - 特許庁
In the method, an impurity ion is implanted to a silicon substrate 11, thus manufacturing a semiconductor device with a process for forming the diffusion layer of source or drain region 25 or 19.例文帳に追加
本発明に係る半導体装置の製造方法は、シリコン基板11に不純物イオンを注入することにより、ソース領域25又はドレイン領域19の拡散層を形成する工程を有する半導体装置の製造方法である。 - 特許庁
A light-receiving element 70 is composed of a PDSOI transistor (MOS transistor) in which a gate electrode 72 is formed on the surface of a p-type silicon layer 15 used as a channel body via a gate insulation film 71, and a source diffusion layer 73 and a drain diffusion layer 74 are formed to a depth reaching the insulation film 14.例文帳に追加
受光素子70は、p型シリコン層15をチャネルボディとして、その表面にゲート絶縁膜71を介してゲート電極72が形成され、絶縁膜14に達する深さにソース拡散層73およびドレイン拡散層74が形成された、PDSOIトランジスタ(MOSトランジスタ)により構成されている。 - 特許庁
A source region is formed on one side of the gate electrode in a gate length direction, and a drain region is formed on the other side, both formed by impurity diffusion from polycrystalline silicon containing an impurity and filling the inside of the trench portion, deep enough to reach vicinity of the bottom of the gate electrode (vicinity of bottom of trench portion).例文帳に追加
ソース領域とドレイン領域は、何れも、トレンチ内部に充填された不純物を含む多結晶シリコンからの不純物拡散によって形成され、ゲート電極の底部近傍(トレンチ部の底部近傍)の深さまで形成されている。 - 特許庁
On the silicon substrate, a band-like projected part 13 extending in the direction of columns is formed, and a pair of band-like n-type diffusion regions 14a and 14b functioning as a source or a drain are formed on a top layer in such a manner as to pinch the projected part 13.例文帳に追加
シリコン基板には、コラム方向に延在した帯状の凸部13が形成されており、ソース又はドレインとして機能する一対の帯状のn型拡散領域14a,14bが凸部13を挟む表層に形成されている。 - 特許庁
To provide a method and an apparatus for forming a high-quality, stable, and low-resistance (high concentration) p-type semiconductor layer, having a sheet resistance of 25 Ω/(square) or lower, by conducting a thermal diffusion of arsenic which is consistent in a silicon wafer or in a lot, using a high purity BBr_3 liquid source.例文帳に追加
高純度のBBr_3液体ソースを用い、シリコン基板内やロット内でのバラツキを抑制した硼素の熱拡散を行い高品質且つ安定で、シート抵抗が25Ω/□を下回る低抵抗(高濃度)のp型半導体層を形成する方法および装置を提供する。 - 特許庁
Side walls 5 are formed on the gate insulating film 3 and the side faces of the gate electrode 4, and the source electrode 6 and drain electrode 7 of a P^+ type diffusion layer, to which impurity ions are injected, are formed to the silicon substrate 1 on both sides of the gate electrode 4.例文帳に追加
ゲート絶縁膜3及びゲート電極4の側面にはサイドウォール5が形成され、ゲート電極4の両側のn型シリコン基板1には、不純物イオンが注入されp+型拡散層のソース電極6とドレイン電極7とが形成される。 - 特許庁
A liquefied impurity source 3, composed of a mixture of aluminum, boron, and an organic solvent, is coated on the silicon oxide film 2, and this is heated at temperatures lower than the diffusion temperatures of aluminum, and the organic solvent is evaporated to form a layer containing aluminum and boron.例文帳に追加
シリコン酸化膜2の上にアルミニウムとホウ素と有機溶剤との混合物から成る液状不純物源3を塗布し、これをアルミニウムの拡散温度よりも低い温度で加熱して有機溶剤を蒸発させてアルミニウムとホウ素を含む層を形成する。 - 特許庁
A semiconductor device includes a gate insulation film 20 formed on a semiconductor substrate 10, a cap film 22 formed on the gate insulation film, a silicon oxide film 23 formed on the cap film, a metal gate electrode 24 formed on the silicon oxide film, and source/drain diffusion layers 48 formed in the semiconductor substrate beside both sides of the metal gate electrode.例文帳に追加
半導体基板10上に形成されたゲート絶縁膜20と、ゲート絶縁膜上に形成されたキャップ膜22と、キャップ膜上に形成されたシリコン酸化膜23と、シリコン酸化膜上に形成された金属ゲート電極24と、金属ゲート電極の両側の半導体基板内に形成されたソース/ドレイン拡散層48とを有している。 - 特許庁
Vertical cell transfer transistors Tr1, Tr2 and Tr3 having a channel region consisting of a single crystal silicon layer 18 formed by epitaxial growth, a source-drain region consisting of n-type diffusion regions 14 and 23 formed in upper and lower parts of the single crystal silicon layer 18 and an embedded gate electrode consisting of work line 21 are formed.例文帳に追加
エピタキシャル成長により形成された単結晶シリコン層18からなるチャネル領域と、単結晶シリコン層18の上部と下部に形成されたn型拡散領域14、23からなるソース・ドレイン領域と、ワード線21からなる埋め込み型のゲート電極とを有する縦型セルトランスファトランジスタTr1、Tr2、Tr3が形成される。 - 特許庁
A high fusing point metal film 8 is deposited by anisotropic sputtering, such that while suppressing the high fusing point metal 8 from being stuck on sidewalls 6a and 6b, the high fusing point metal film 8 is formed on source/drain diffusion areas 7a and 7b and on a polycrystal silicon gate 4.例文帳に追加
高融点金属膜8を異方性スパッタにより積層することにより、サイドウォール6a、6b側壁への高融点金属膜8の付着を抑制しつつ、ソース/ドレイン拡散領域7a、7b上および多結晶シリコンゲート4上に高融点金属膜8を形成する。 - 特許庁
The semiconductor device is provided with a channel layer 18 which is formed on a silicon substrate 10 and composed of SiGe whose thickness is 2-6 nm, a gate electrode 22 which is formed on the channel layer through a gate insulating film 20, and a source/drain diffusion layer 32 which is formed in both sides of the gate electrode.例文帳に追加
シリコン基板10上に形成された、厚さ2〜6nmのSiGeより成るチャネル層18と、チャネル層上に、ゲート絶縁膜20を介して形成されたゲート電極22と、ゲート電極の両側に形成されたソース/ドレイン拡散層32とを有している。 - 特許庁
TFTs 30a and 30b of the organic EL display constituted by connecting TFTs 30a and 30b to the respective organic EL elements arrayed and formed on a substrate 4 are constituted by providing single crystal silicon thin films 6a and 6b with source/drain diffusion layers 22a and 22b.例文帳に追加
基板4上に配列形成された各有機EL素子40にTFT30a,30bを接続してなる有機ELディスプレイにおいて、TFT30a,30bは単結晶シリコン薄膜6a,6bにソース/ドレイン拡散層22a,22bを設けてなること特徴としている。 - 特許庁
By improving the planarity of the boundary between the silicon compound layer 12i and P-type source/drain diffused layer 12g in such a way, the increase in junction leakage current caused by the diffusion of Co atoms in the MOSFET against which the depth reduction of the diffused layer 12g is contrived is controlled.例文帳に追加
こうして、シリコン化合物層12iの、P型ソース/ドレイン拡散層12gとの界面の平坦性を向上することで、拡散層の深さの低減が図られるMOSFETでの、Co原子の拡散にともなう、接合リーク電流の増大を制御する構成となっている。 - 特許庁
The semiconductor memory comprises a semiconductor layer, two diffusion layers formed in the semiconductor layer and serving as the source region and the drain region respectively, a channel region defined between the two diffusion layers, a gate insulating film formed on the channel region and consisting of a silicon oxide film containing carbon atoms by 0.1-5.0 atm%, and a gate electrode formed on the gate insulating film.例文帳に追加
半導体層と、該半導体層内に形成され、ソース領域及びドレイン領域となる2つの拡散層領域と、該2つの拡散層領域間に定められるチャネル領域と、該チャネル領域上に形成され、炭素原子を0.1乃至5.0アトミックパーセント含むシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上に形成されるゲート電極とを有する。 - 特許庁
The NMOS transistor non-volatile semiconductor memory includes: first and second n-type diffusion layers 21, 22 formed as a source and a drain in a p-type silicon layer 20; a gate electrode 50 formed on a channel region CNL between the first and second n-type diffusion layers 21, 22 via an insulating film 30; and the charge storage layer 40 formed in the insulating film 30.例文帳に追加
NMOSトランジスタ型の不揮発性半導体メモリは、P型シリコン層20中にソース/ドレインとして形成された第1及び第2N型拡散層21,22と、第1及び第2N型拡散層21,22に挟まれたチャネル領域CNL上に絶縁膜30を介して形成されたゲート電極50と、その絶縁膜30中に形成された電荷蓄積層40とを備える。 - 特許庁
A semiconductor device includes a plurality of source diffusion layers 110 and a plurality of drain diffusion layers 111 (Fins) in the shape of rectangular parallelepiped which are formed on a substrate 100 consisting of silicon and arranged in parallel with a space therebetween, and a gate electrode 106 formed on the plurality of Fins while intersecting each Fin with a gate insulating film 105 therebetween.例文帳に追加
半導体装置は、シリコンからなる基板100の上に形成され、それぞれ互いに間隔をおき且つ並列に配置された直方体状の複数のソース拡散層110及び複数のドレイン拡散層111(Fin部)と、複数のFin部の上に、各Fin部と交差すると共にそれぞれゲート絶縁膜105を介在させて形成されたゲート電極106とを有している。 - 特許庁
Further, it comprises a gate insulating film consisting of the laminated insulating film 2 formed on the silicon substrate 1 for discretely storing the charges, a gate electrode 4, and a pair of diffusion regions 5 for functioning as a source or a drain formed in the surface layer of the substrate 1 such that they seem to hold the gate electrode 4 between them.例文帳に追加
また、シリコン基板1上に形成された離散的に電荷を蓄積する積層絶縁膜2よりなるゲート絶縁膜と、ゲート電極4と、基板1の表面層にゲート電極4を挟持するように形成されたソース又はドレインとして機能する一対の拡散領域5とを有する。 - 特許庁
In a semiconductor storage device, having an element isolation film formed in a silicon substrate 101 and a plurality of semiconductor memory cells formed between the element isolation films, there are provided conductive films 116a, 116b which are formed on the plane of the silicon substrate 101, and connect a source diffusion region 112 of at least two semiconductor memory cells.例文帳に追加
シリコン基板101中に形成された素子分離膜と、素子分離膜の間に形成された複数の半導体メモリセルとを有する半導体記憶装置であって、シリコン基板101の面上に形成されると共に少なくとも二つの半導体メモリセルのソース拡散領域112を接続する導電性膜116a,116bを備えたことを特徴とする半導体記憶装置を提供する。 - 特許庁
When forming a source region 24 and a drain region 25 of an NMOS transistor 20 formed on the same silicon substrate 30 along with the NPN transistor 10, a high-concentration region 15 can be formed in the same process, thus excluding an exclusive diffusion process for forming the high-concentration region 15, and manufacturing a semiconductor device 1 with a small number of processes.例文帳に追加
NPNトランジスタ10と共に同一シリコン基板30上に形成されるNMOSトランジスタ20のソース領域24およびドレイン領域25を形成する際同一工程で高濃度領域15を形成することができるので、高濃度領域15を形成するための専用の拡散工程を省き、少ない工程数で半導体装置1を製造することができる。 - 特許庁
In this case, the method has a process that forms a diffusion layer region 14 at a position where the periphery of a resist pattern 21a is crossed, a process that forms the resist pattern 21 a for covering one of the source and drain regions 25 and 19, and a process that uses the resist pattern 21a as a mask for implanting the impurity ion to the silicon substrate 11.例文帳に追加
この製造方法は、シリコン基板11において後記レジストパターン21aの周囲が横切るような位置に拡散層領域14を形成する工程と、ソース領域25及びドレイン領域19のいずれか一方を覆うレジストパターン21aを形成する工程と、前記レジストパターン21aをマスクとしてシリコン基板11に不純物イオンを注入する工程と、を具備することを特徴とする。 - 特許庁
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