ガラス基板上に照射された複数本のイオンビームによる重ね合わせ領域において、各イオンビームのビーム電流密度分布を効率的に調整する。例文帳に追加

To efficiently adjust a beam current density distribution of each ion beam in an ion-beam-superposed region on a glass substrate irradiated with a plurality of ion beams. - 特許庁

脱塩室内に例えば縦横方向に多数の小室を配置することにより、種々のイオン交換体を充填可能であり、目的に応じてイオン交換体の配列や混合比率を任意に選択して充填でき、また、イオン交換体の充填密度を高くすることができる電気的脱イオン装置を提供する。例文帳に追加

To enable the packing with various ion exchangers, to arbitrarily select the arrangement or mixing ratio of the ion exchangers corresponding to a purpose to enable the packing with the ion exchangers and to enhance the packing density of the ion exchangers by arranging a large number of small chambers in a desalting chamber, for example, in vertical and horizontal directions. - 特許庁

脱塩室内に例えば縦横方向に多数の小室を配置することにより、種々のイオン交換体を充填可能であり、目的に応じてイオン交換体の配列や混合比率を任意に選択して充填でき、また、イオン交換体の充填密度を高くすることができる電気的脱イオン装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electrodeionizing apparatus capable of being filled with various ion exchangers so as to arbitrarily select the arrangement or mixing ratio of the ion exchangers corresponding to a purpose and capable of enhancing the filling density of the ion exchangers by arranging a large number of small chambers in a desalting chamber, for example, in longituginal and lateral directions. - 特許庁

磁性材料薄膜の製造方法は、磁性材料薄膜を成膜した後、それを試料３として、垂直磁気異方性定数の値がイオンビーム２の照射によって正となるような数値範囲の電流密度でイオンビーム２を試料３に照射する。例文帳に追加

In the manufacturing method of a magnetic material thin film, the magnetic material thin film is deposited to be a specimen 3, and then the specimen 3 is irradiated with an ion beam 2 at a current density in a value range at which a perpendicular magnetic anisotropy coefficient value becomes positive by the irradiation of the ion beam 2. - 特許庁

なお、レーザー光ＬＬ１，ＬＬ２の照射により、プルームプラズマＰＰ１，ＰＰ２内のイオンがプルームプラズマの交差衝突部空間を通過する距離に対して、上記イオンの衝突平均自由工程が数分の１以下となるような密度と温度を持つプルームプラズマが生成される。例文帳に追加

The application of the laser beams LL1 and LL2 results in production of the plume plasmas having density and temperature such that the collision mean free paths of ions in the plume plasmas PP1 and PP2 become no larger than a fraction of the distance traveled by the ions through a cross-colliding space. - 特許庁

ｍ（ｍは２以上の整数）本のリボン状イオンビームによるガラス基板上での照射領域を少なくとも部分的に重ね合わせて、ガラス基板上に所定の注入量分布を実現するイオン注入装置において、各リボン状イオンビームのビームの電流密度分布を効率的に調整する。例文帳に追加

To efficiently adjust a current density distribution of beams of respective ribbon-like ion beams in an ion implanter for at least partially overlapping irradiation regions on a glass substrate by m (m is an integer equal to or larger than 2) lines of ribbon-like ion beams and realizing a predetermined implantation amount distribution. - 特許庁

３つの各周波数の少なくとも３つのＲＦ電源からのＲＦ電力をリアクタ内のプラズマに結合し、少なくとも３つのＲＦ電源の第１対の電源レベル間の比を設定することによりイオンエネルギー分布形状を設定し、少なくとも３つのＲＦ電源の第２対の電源レベル間の比を選択することによりイオン解離及びイオン密度を設定する。例文帳に追加

RF powers from at least RF power sources of three respective frequencies are coupled to plasma in a reactor; the ion energy distribution shape is set by selecting a ratio between the power levels of a first pair of the at least three RF power sources; and the ion dissociation and the ion density are set by selecting a ratio between the power levels of a second pair of the at least three RF power sources. - 特許庁

反応性プラズマ流体中のラジカルやイオン等の粒子のような測定対象粒子の吸収係数を計測することにより粒子密度分布を求める粒子密度分布測定装置において、従来のように、分布の対称性や連続性を利用することなく、かつ分布形状を予め想定することもなく、精度の高い粒子密度分布を求める。例文帳に追加

To determine a highly-accurate particle density distribution without utilizing symmetry or continuity of the distribution as hitherto and without assuming beforehand a distribution shape, in a particle density distribution measuring device for determining the particle density distribution by measuring an absorption coefficient of measuring object particles such as particles of radicals or ions in a reactive plasma fluid. - 特許庁

イオン交換樹脂板６０は、複数の領域６０ａ〜６０ｊに分割されており、ガス流出口５０ｄから相対的に遠い領域がより密度の低い樹脂で形成されている。例文帳に追加

The ion exchange resin plate 60 is divided into a plurality of regions 60a to 60j, with regions relatively far from the gas outflow port 50d formed of resin with less density. - 特許庁

また、荷電パーティクルの検出に、クラスタイオン励起の電子増倍管を用い、さらにハイパスフィルタとして動作させることで、少ないパーティクル数密度でも有効なカウンを行う。例文帳に追加

When a charged particle is detected, a cluster ion exciting electron multiplier is employed and operated as a high-pass filter thus performing effective counting at a density of small number of particles. - 特許庁

カーボンカソードから生じた多価イオンを含む高密度カーボンプラズマを直接基板に照射すると基板温度が上昇し、高硬度にして低摩擦係数の膜が形成できる。例文帳に追加

To form a membrane of high hardness and low friction coefficient by a temperature rising of substrate, as high density of plasma including polyvalent ions, which are generated from a carbon cathode, is directly radiated to the substrate. - 特許庁

また、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けてエッチング液中の塩素イオンの濃度を低下させる比率の逆数と等しくする。例文帳に追加

The increasing rate of the current density from the second stage to the last stage is reciprocal to the decreasing rate of the concentration of chlorine ions in the etching solution from the second stage to the last stage. - 特許庁

複数の高周波による面内のイオンエネルギー密度分布の制御を容易に行えるようにし、その制御を必要最小限の高周波電力で運用可能とし、長寿命化に寄与すること。例文帳に追加

To easily control the ion energy density distribution in a plane with a plurality of high frequencies and enable the control with minimum high-frequency power needed, thereby contributing to elongation of the life. - 特許庁

イオン化ポテンシャルは、密度汎関数法及び基底関数を用いて構造最適化を行うことによって得られた構造のうち、最低エネルギーを有する構造（最安定構造）の最高被占分子軌道（ＨＯＭＯ）エネルギーからクープマンの定理により求めた値を示す。例文帳に追加

The ionization potential is a value obtained according to the Koopmans' theorem from the highest occupied molecular orbital (HOMO) energy of a structure having the lowest energy (the most stable structure) among structures obtained by structural optimization using the density functional theory and a basis function. - 特許庁

この方法は、ｆ１周波数でのＲＦパラメータ対ｆ２周波数でのＲＦパラメータの比を調整して、プラズマイオン密度分布を制御する工程であって、ＲＦパラメータが、ＲＦ電力、ＲＦ電圧又はＲＦ電流のうち１つである工程を含む。例文帳に追加

The method further comprises a step for controlling the plasma ion density distribution by regulating the ratio of RF parameters at the frequencies f1 and f2, wherein the RF parameter is one of RF power, RF voltage and RF current. - 特許庁

微小突起によって導電性ネットワークが多数、複雑に構築されて負極の電気抵抗が低くなり、急速充放電、及びパワー特性が優れたものとなり、電極密度を高くすることができ、放電容量保持率の低下が小さいサイクル特性の優れたリチウムイオン二次電池が得られる。例文帳に追加

An electric resistance of a negative electrode becomes low since many complex conductive networks therein are made due to the fine projections, rapid charge discharge and power characteristics are excellent, an electrode density can be high, and a lithium ion secondary battery small in decrease of discharge capacity retention and excellent in cycle characteristics can be obtained. - 特許庁

式（３）において、Ｉ：光電子強度、ｈｖ：光子エネルギー、φ：仕事関数、Ｅ_０：吸着など物質表面に生じたクラスター状態のイオン化エネルギー、σ：同状態の標準偏差、ＣＧ/ＣＦ：同状態の相対的な状態密度である。例文帳に追加

In the formula (3), I is the intensity of a photoelectron, hv is photon energy, ϕ is a work function, E_0 is the ionizing energy of a cluster condition generated on the surface of a substance such as adsorption or the like, σ is the standard deviation of the same state and CG/CF is a relative state density in the same state. - 特許庁

製作及び組立作業が容易であって、全方向の電流密度が均一となり、集塵極に向かって均一にイオン風が発生し、排ガスに含まれる微細粒子やダストのすり抜けがなくなり、捕集率及び粒子個数低減率の向上が図れる排ガス処理装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide an exhaust treatment apparatus that can be easily fabricated and assembled, has a uniform electric current density in every direction, generates a uniform ion wind flowing toward its dust collecting electrode, can prevent microparticles and dust contained in exhaust from slipping through, and can enhance particle collection efficiency and particle-number reduction rate. - 特許庁