Po-moとは 意味・読み方・使い方

The MO beam confinement mechanism 5 comprises, for example, a cylindrical mirror, a cylindrical lens, or a combination of the cylindrical mirror and cylindrical lens, and converges the MO laser light having passed through the discharge area of the amplification stage laser (PO) to confine the MO laser light in the discharge area of the amplification stage laser (PO) 20.例文帳に追加

ＭＯビーム閉じ込め機構５は、例えば、シリンドリカルミラーあるいはシリンドリカルレンズ、あるいはシリンドリカルミラーと、シリンドリカルレンズの組合せから構成され、増幅段レーザ（ＰＯ）の放電領域を通過したのちにＭＯレーザ光を集光させることにより、ＭＯレーザ光を増幅段レーザ（ＰＯ）２０の放電領域に閉じ込める。 - 特許庁

The unidirectional beam diffusion device 5 linearly condenses seed light, or forms a light condensing point of a virtual image at a position short of the OC of the amplifying stage laser (PO) to inject an MO laser beam diffused in one direction from the light condensing point into a resonator of the amplifying stage laser (PO) as the seed light.例文帳に追加

一方向ビーム発散装置５は、シード光を線状に集光させたり、増幅段レーザ（ＰＯ）のＯＣの手前の位置に虚像の集光点を形成させ、集光点から一方向に発散したＭＯレーザ光をシード光として、増幅段レーザ（ＰＯ）の共振器に注入する。 - 特許庁

To provide a laser apparatus for an exposure device in which MO laser light can be injected into an amplification stage laser (PO) with high injection efficiency and a mirror alignment is facilitated.例文帳に追加

高い注入効率でＭＯレーザ光を増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができ、ミラーのアライメントが容易な露光装置用レーザ装置を提供すること。 - 特許庁

This enables most of the seed light from the narrow-band oscillating stage laser (MO) 10 used as implantation light into the amplifying stage laser (PO), thus enhancing the injection efficiency of the seed light.例文帳に追加

これにより、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０からのシード光のほとんどを増幅段レーザ（ＰＯ）への注入光として使用することができ、シード光の注入効率を高くすることができる。 - 特許庁

In the narrow-band laser device for the exposure device with an oscillation-stage laser (MO) 10 and an amplification-stage laser (PO) 20, a ring resonator composed of an OC 24 and high reflecting mirrors 5a, 5b and 5c is fitted to the amplification-stage laser 20.例文帳に追加

発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０を備えた露光装置用狭帯域レーザ装置において、増幅段レーザ２０にＯＣ２４，高反射ミラー５ａ．５ｂ，５ｃからなるリング共振器を設ける。 - 特許庁

A laser coherence controller 66 sends, based on a detected value of the coherence monitor 60, a drive signal to an actuator for a mirror of the resonator of the amplification stage laser (PO) 20, a mirror of the MO beam steering unit 30, a mirror of the PO beam steering unit 40, etc., whereby it controls the angle, etc. of those mirrors.例文帳に追加

レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 - 特許庁

A laser coherence controller 66 sends a drive signal to actuators such as a mirror of the resonator of the amplification stage laser (PO) 20, a mirror of the MO beam steering unit 30, and a mirror of the PO beam steering unit 40, based on the detection value from the coherence monitor 60, and controls angles, or the like, of these mirrors.例文帳に追加

レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 - 特許庁

A laser coherence controller 66 sends a drive signal to the actuator of the mirror of the resonator of the amplification stage laser (PO) 20, to that of the MO beam steering unit 30, to that of the PO beam-steering unit 40, or the like, based on the detection value of the coherence motor 60 to control the angles, or the like, of the mirrors.例文帳に追加

レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 - 特許庁