a PEDとは 意味・読み方・使い方

To provide a positive photoresist composition excellent in line edge roughness and PED stability and a positive photoresist composition excellent also in sensitivity.例文帳に追加

ラインエッジラフネス及びＰＥＤ安定性に優れたポジ型フォトレジスト組成物、更には感度にも優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

The optimal erasing power Peo at the overwriting time is set by OPC, a coefficient α is set according to the type and the rotational speed of the optical disk 10, and optimal erasing power Ped at the DC current erasing time is set based on Ped=α×Peo.例文帳に追加

ＯＰＣによりオーバライト時の最適消去パワーＰｅｏを設定し、光ディスク１０の種類や回転数に応じた係数αを設定し、Ｐｅｄ＝α・Ｐｅｏにより直流消去時の最適消去パワーＰｅｄを設定する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition for electron beams or X rays having high sensitivity, high resolution and excellent stability of PED(post exposure delay).例文帳に追加

高感度かつ高解像度で、ＰＥＤの安定性に優れた電子線またはＸ線用ポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive resist composition which simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, a good pattern shape and good stability to PED (post-exposure delay) in vacuum.例文帳に追加

高感度、高解像性、良好なパターン形状、及び良好な真空中ＰＥＤ特性を同時に満足するポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive resist composition satisfying all of high sensitivity, high resolution, a favorable pattern profile and favorable vacuum PED characteristics (post exposure delay in vacuum).例文帳に追加

高感度、高解像性、良好なパターン形状、及び良好な真空中ＰＥＤ特性を同時に満足するポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive resist composition satisfying all of high sensitivity, high resolution, a favorable pattern profile and favorable vacuum PED characteristics (post-exposure delay in vacuum).例文帳に追加

高感度、高解像性、良好なパターン形状、及び良好な真空中ＰＥＤ特性を同時に満足するポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive photoresist composition excellent in PED stability and capable of preventing the occurrence of development defects in the production of a semiconductor device.例文帳に追加

半導体デバイスの製造において、ＰＥＤ安定性が優れ、現像欠陥の発生を防止できるポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive type resist composition for electron beams or X-rays having high sensitivity and high resolution and excellent in stability of PED.例文帳に追加

高感度かつ高解像度で、ＰＥＤの安定性に優れた電子線またはＸ線用ポジ型レジスト組成物を提供することにある。 - 特許庁