scratch-padとは 意味・読み方・使い方

To provide a dressing device of a polishing pad, having high area utilization of a pad dresser, and preventing the contamination of a wafer and scratch on the wafer, and a polishing apparatus having the dressing device of a polishing pad.例文帳に追加

パッドドレッサーの面積利用効率が高く、また、ウエーハの汚染や、ウエーハのスクラッチが防げる研磨パッドのドレッシング装置及び該研磨パッドのドレッシング装置を有する研磨装置を提供する。 - 特許庁

To provide a polishing pad excellent in a polishing rate and polishing uniformity for a work, the polishing pad restraining a burr-like object from being formed on a polishing face of the polishing pad and reducing the generation of a scratch flaw.例文帳に追加

被加工物に対する研磨速度と研磨均一性に優れるとともに、研磨パッドの研磨面におけるバリ状物の形成を抑制することができスクラッチ傷の発生を低減することが可能となる研磨パッドの提供。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a polishing pad (polishing layer) excellent in planarization characteristics and exhibiting high polishing speed while suppressing the occurrence of scratch.例文帳に追加

平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい研磨パッド（研磨層）を製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a conductive pad (conductive sheet) excellent in planarization characteristics and exhibiting high polishing speed while suppressing the occurrence of scratch.例文帳に追加

平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい導電性パッド（導電性シート）を提供することを目的とする。 - 特許庁

To obtain a polishing pad which is excellent in global flatness and uniformity and has little dust and scratch.例文帳に追加

グローバル平坦性，ユニフォーミティがともに良好で、かつ、ダスト，スクラッチが少ない研磨パッドを得ること。 - 特許庁

To provide a conductive pad excellent in planarization characteristics and exhibiting high polishing speed while suppressing the generation of a scratch.例文帳に追加

平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい導電性パッドを提供する。 - 特許庁

When a fact that the tablet electronic equipment is docked with the docking station is detected, a scratch pad application is started.例文帳に追加

タブレット型電子機器がドッキング・ステーションにドッキングされていることが検知されると、スクラッチパッド・アプリケーションが起動する。 - 特許庁

To provide a low cost polishing pad which flattens the surface of a workpiece with a high polishing rate without causing a scratch on the surface.例文帳に追加

低コストで、表面にスクラッチを形成せずに、高い研磨レートでワークの表面を平坦化できる研磨パッドを提供することである。 - 特許庁