| 例文 |
implanted layersの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 30件
The number of layers to be ion-implanted is one or more layers.例文帳に追加
イオンを注入する層数は1層あるいは2層以上とする。 - 特許庁
At formation of the second p-type pocket layers 11, the concentration of the impurity ions implanted for forming the layers 11 are made higher than that of the impurity ions implanted for forming the first p-type pocket layers 9.例文帳に追加
この時、第2p型ポケット層11を形成する不純物イオン濃度は第1p型ポケット層9を形成する不純物イオン濃度より高くなるようにする。 - 特許庁
To provide a method of producing a silicon epitaxial wafer, which is capable of efficiently producing the epitaxial wafer in which plural epitaxial layers are stacked through buried ion implanted layers and by which the silicon epitaxial wafer small in diffusion of the formed ion implanted layers in the lateral direction can be obtained.例文帳に追加
埋込イオン注入層を介して複数のエピタキシャル層が積層形成されたエピタキシャルウェーハを極めて能率的に製造でき、形成されるイオン注入層の横方向拡散も少ないシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。 - 特許庁
After the copper electric conductor is planarized, at least one element is ion-implanted into these surface layers.例文帳に追加
銅導電体の平坦化後に、これの表面層に少なくとも1つの元素がイオン注入される。 - 特許庁
On a top surface of an epitaxial layer 2, N type impurities are ion-implanted to form N^+ semiconductor layers 5 and 6 as a photodetection portion.例文帳に追加
エピタキシャル層2の表面上にN型不純物をイオン注入して、受光部となるN^+半導体層5,6を形成する。 - 特許庁
In the N-type diffused source and drain layers 20, there is formed P-type impurity-implanted regions 19 having a P-type impurity concentration lower than that of the N-type diffused source and drain layers 20.例文帳に追加
N型ソース・ドレイン拡散層20の内部には、P型不純物濃度がN型ソース・ドレイン拡散層20よりも低いP型不純物注入領域19が形成されている。 - 特許庁
Then, after the bonded wafer 1, in which the two ion-implanted layers 4 and 6 are formed, is coupled with a base wafer 7, a thin bonded single-crystal silicon film 5 is peeled from the bonded wafer 1 by peeling the peelable ion-implanted layer 4.例文帳に追加
そして、それら2つのイオン注入層4,6が形成されたボンドウェーハ1をベースウェーハ7に結合した後、ボンドウェーハ1から結合シリコン単結晶薄膜5を剥離用イオン注入層4にて剥離する。 - 特許庁
Conductive impurity ions are implanted only at a part 25a positioned in a capacitor formation scheduled region in the second PolySi layers 25.例文帳に追加
続いて、第2のPolySi層25のうち、キャパシタの形成予定領域に位置する部分25aのみに、導電型不純物イオンを注入する。 - 特許庁
This forms ion-implanted layers 13a, 13b at a position 500Å or shallower from the surface of the wafer 21 for the activated layer and the wafer for support.例文帳に追加
これにより、活性層用ウェーハ21および支持用ウェーハの表面より500Å以下の深さ位置にイオン注入層13a、13bが形成される。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a silicon carbide semiconductor device capable of reducing elimination of ion-implanted p^+ layers while reducing contact resistance.例文帳に追加
コンタクト抵抗を低減しつつ、イオン注入したp^+層の消失を低減できる炭化珪素半導体装置の製造方法の提供を目的とする。 - 特許庁
Consequently, when impurity ions are implanted to the selective epitaxial layers 2 in a post-process, the quantity of impurity ions implanted at a desired angle is increased, the profile of an impurity-ion region can be set at a desired value, and the characteristics of a transistor are improved.例文帳に追加
このため、後工程で選択エピタキシャル層2に不純物イオンを注入したときに、所望の角度で注入される不純物イオン量が多くなり、不純物イオン領域のプロファイルを所望の値に設定でき、トランジスタの特性がよくなる。 - 特許庁
Al-containing regions 8a, 8b containing ion-implanted aluminum are formed in a range facing the surfaces of the first nitride semiconductor layers 6a, 6b.例文帳に追加
第1窒化物半導体層6a、6bの表面に臨む範囲には、イオン注入されたアルミニウムが含有されているAl含有領域8a、8bが形成されている。 - 特許庁
Ions are then implanted into the surface of the diffused layer and into the surface of the gate electrode for the formation of amorphous layers on the surface of the diffused layer and on the surface of the gate electrode.例文帳に追加
その後、拡散層表面と、前記ゲート電極表面とに、イオンを注入し、拡散層表面と、ゲート電極表面とに、非晶質層を形成する。 - 特許庁
Each of covered areas of 40b1, 40b2, 42b1, and 42b of gate insulating layers 40 and 42 exposed each from both sides of gate layers 38I and 38II is ion-implanted into a mask, and the LDD area and source/drain area are formed at the same time.例文帳に追加
ゲート層38I,38II両側からそれぞれ露出するゲート絶縁層40,42の各被覆領域40b_1,40b_2,42b_1, 42bをマスクにイオン注入を行い、LDD領域とソース/ドレイン領域を同時に形成する。 - 特許庁
Moreover, island-shaped semiconductor layers 104 and 105a are formed as active layers, and p-type and n-type impurities in proper concentration are implanted by masks 107 and 108 so as to form a channel which can control the threshold voltage.例文帳に追加
また島状半導体層104、105aを形成して活性層とし、マスク107、及び108によって、p型及びn型の適切な濃度の不純物を注入して、しきい値電圧を制御できるチャネルを形成する。 - 特許庁
At ion-implantation for forming source/drain regions 9 and 59, a dopant is implanted even into the silicon layers 3 and 53 so that a boron distribution layer 3B or phosphorus distribution layer 53P is formed in a region deeper than the nitrogen distribution layers 3N and 53N.例文帳に追加
ソース/ドレイン領域9,59の形成のためのイオン注入時にシリコン層3,53中へもドーパントが注入されて、窒素分布層3N,53Nよりも深い領域にホウ素分布層3B又はリン分布層53Pが形成される。 - 特許庁
Arsenic ions are implanted in a silicon substrate 11 in a state that a substrate temperature is kept at a low temperature of 100°C or lower and thereafter, a heat treatment is performed to form source/drain diffused layers 16 in the substrate 11.例文帳に追加
基板温度を100℃以下の低温に保った状態で、シリコン基板11に砒素イオンを注入した後、熱処理を行ってソース/ドレイン拡散層16を形成する。 - 特許庁
First ions are implanted into a P-type semiconductor substrate 111 penetrating through first polysilicon layers 115a and 115b and a first and a second oxide films 113 and 114 using a photoresist layer 116 as a mask.例文帳に追加
ホトレジスト層116をマスクとして、第1のポリシリコン層115a,115b、第1の酸化膜113と第2の酸化膜114を貫通して、第1のイオン注入を行う。 - 特許庁
A semiconductor device, having an implanted structure, prevents impurity atoms from bouncing out of P-type diffused layers 4 and 5 as implanted layers with an N-type thin film layer 8 as an reverse conductivity type or prevents forming the inverted layer at the channel part, by canceling the bounced out P-type impurity atoms by the N-type atoms as the reverse conductivity type.例文帳に追加
埋め込み構造を有する半導体装置において、埋め込み層であるP型拡散層4及び5からの不純物原子の飛び出しを反対導電型であるN型の薄膜層8により防止し、あるいは飛び出したP型の不純物原子を反対導電型であるN型の原子で相殺することによって、チャンネル部の反転層の形成を防止する。 - 特許庁
After forming a source diffusion layer 17A and a drain diffusion layer 17B, boron ions are implanted so that concentration becomes larger than solid solubility in at least a part of regions of these diffusion layers which are turned into silicides.例文帳に追加
ソース拡散層17Aおよびドレイン拡散層17Bを形成した後、これらの拡散層でシリサイド化される領域の少なくとも一部が固溶解度よりも大きな濃度となるようにボロンイオンを注入する。 - 特許庁
A first dopant of the first conductivity type is implanted into the substrate 1 on the first main side with the gate electrode layers 3 and 3' as a mask and is diffused into the substrate 1 to form an enhancement layer.例文帳に追加
第一の導電性タイプの第一のドーパントが、前記ゲート電極層3,3’をマスクとして用いて、第一のメインサイドで基板1の中に注入され、基板1の中に拡散され、エンハンスメント層を形成する。 - 特許庁
Then, after a side wall 6 is formed, the arsenic of dose amount 4E15 cm-2 is ion- implanted into the semiconductor substrate 2 with the energy 50 keV at an angle which does not cause a channeling phenomenon to form n+ layers 3 and 4.例文帳に追加
その後、サイドウォール6を形成した上で、ドーズ量4E15cm^-2の砒素をチャネリング現象を起し得ない角度で且つ50keVのエネルギーで半導体基板2の内部に向けてイオン注入しn^+層3,4を形成する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a flat cell-type memory semiconductor device which is capable of preventing a cell current from deteriorating and enhancing implanted element isolation ions in dose so as to reduce a leakage current between diffusion layers enough.例文帳に追加
セル電流の低下を防止することができると共に、拡散層間のリークを低減する素子分離イオン注入のドーズ量を十分高く確保することができるフラットセル型メモリ半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
Through the silicon oxide film 7 for protecting against ion implantation damage, ion is implanted on the entire surface of a p-well with the gate electrode 5 and a side wall 6 as implantation masks, to form n^+ diffusion layers 12 and 13 on the p-well.例文帳に追加
次に、このイオン注入損傷の保護用のシリコン酸化膜7を介すると共に、ゲート電極5およびサイドウォール6を注入マスクとして、pウェルの全面にイオン注入をし、pウエルにn^+ 拡散層12、13を形成する。 - 特許庁
As positive oxide film forming treatment including the oxidation prior to the ion implantation to the epitaxial layer 3 is neglected, the number of thermal hysteresis loaded on the buried ion implanted layers 71', 72' is lowered, thereby, the diffusion in the lateral direction is effectively suppressed.例文帳に追加
注入前酸化を含めたエピタキシャル層3への積極的な酸化膜形成処理が排除される結果、埋込イオン注入層71’,72’に加わる熱履歴の回数が減って横方向拡散が効果的に抑制される。 - 特許庁
The impurity implanted photoabsorbing layer 104 in the composition reducing the band gap energy per payer from n type layer clad layer side to p type clad layer side to be formed in semiconductor laminated structure of multiple layers 104A, B, C reducing the impurity concentration.例文帳に追加
不純物注入光吸収層は、n型クラッド層側からp型クラッド層側に向かって、層毎にバンドギャップ・エネルギーが小さくなる組成を有し、かつ不純物濃度が低くなる複数層104A、B、Cの半導体積層構造として形成されている。 - 特許庁
While a gate electrode 41 is used as an implantation mask, arsenic or phosphorus is ion-implanted in a silicon substrate 1 to form a pair of extension layers 51 in a surface of the silicon substrate 1, and then a protection insulating film 14 of 1 to 20 nm thickness is formed of a silicon oxide film by a CVD method over the entire surface of the silicon substrate 1.例文帳に追加
ゲート電極41を注入マスクとしてシリコン基板1内にヒ素あるいはリンをイオン注入して、シリコン基板1の表面内に1対のエクステンション層51を形成し、その後、シリコン基板1の全面に、CVD法によりシリコン酸化膜で厚さ1〜20nmの保護絶縁膜14を形成する。 - 特許庁
There are provided a process of forming ion implantation control openings 13-14 which mutually align diffusion layer formation regions 7-9, an ion implantation mask layer forming process for forming ion implantation openings 29 and 30 for each diffusion layer; and a diffusion layer forming process in which an impurity element is ion-implanted through the ion implantation openings to form diffusion layers.例文帳に追加
各拡散層形成領域7〜9を相互に位置決めするイオン注入制御開口部13〜14を形成する工程を施した後に、各拡散層毎にイオン注入開口部29,30を形成するイオン注入マスク層形成工程と、各イオン注入開口部から不純物元素をイオン注入して各拡散層を形成する拡散層形成工程を実施する。 - 特許庁
A MOS field-effect transistor is provided with a SOI substrate 30, where contact holes 13-1 and 13-2 are each bored in source/drain diffused layers 10 and 11 from above extending over an adjacent element isolation oxide film 7 so as to reach to a silicon substrate 1, and impurity ions are implanted into the exposed surface region of the silicon substrate 1 for the formation of P-N junctions.例文帳に追加
SOI基板30を用いたMOS型電界効果トランジスタにおいて、コンタクト孔13−1,13−2をソース・ドレイン拡散層10,11上から隣接する素子分離用の酸化膜7上に亘って、シリコン基板1に到達する深さに形成し、露出されたシリコン基板の表面領域に不純物をイオン注入してPN接合を形成することを特徴としている。 - 特許庁
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