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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > "非点収差補正"に関連した英語例文

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"非点収差補正"を含む例文一覧と使い方

該当件数 : 53



例文

非点収差補正装置例文帳に追加

ASTIGMATISM CORRECTION DEVICE - 特許庁

電子顕微鏡の非点収差補正方法とその装置例文帳に追加

ASTIGMATISM CORRECTION METHOD FOR ELECTRON MICROSCOPE AND ITS DEVICE - 特許庁

非点収差補正方法および電子ビーム描画装置例文帳に追加

ASTIGMATISM COMPENSATING METHOD AND ELECTRON BEAM DRAWING APPARATUS - 特許庁

非点収差補正装置および画像撮影装置例文帳に追加

ASTIGMATISM COMPENSATING DEVICE AND IMAGE PHOTOGRAPHING DEVICE - 特許庁

例文

歪みのないTEMの非点収差補正例文帳に追加

DISTORTION-FREE ASTIGMATISM CORRECTION OF TEM - 特許庁


例文

光記録媒体駆動装置、非点収差補正方法例文帳に追加

OPTICAL RECORDING MEDIUM DRIVE DEVICE, AND ASTIGMATISM CORRECTING METHOD - 特許庁

その後、非点収差補正量記憶部1003を読み取り、前記判別結果によるディスク種類に対応する非点収差補正量を取得する。例文帳に追加

Thereafter, an astigmatism correction amount storing portion 1003 is read to obtain an astigmatism correction amount corresponding to the disc type resulting from the determination. - 特許庁

光学ピックアップ、光ディスク装置、及び非点収差補正方法例文帳に追加

OPTICAL PICKUP, OPTICAL DISK DEVICE AND ASTIGMATISM CORRECTING METHOD - 特許庁

電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法例文帳に追加

FOCUS/ASTIGMATISM CORRECTING ADJUSTING METHOD IN ELECTRON-BEAM EXPOSURE SYSTEM - 特許庁

例文

荷電ビーム描画装置及び荷電ビームの非点収差補正方法例文帳に追加

CHARGED BEAM WRITING APPARATUS AND METHOD OF CORRECTING ASTIGMATISM OF CHARGED BEAM - 特許庁

例文

非点収差補正にともなうスループットの低下を低減すること。例文帳に追加

To reduce the decrease of throughput in association with an astigmatism correction. - 特許庁

得られた画像鮮鋭度の角度成分値から適切な非点収差補正方向を選択し非点収差補正コイル5に補正励磁電流を与え非点収差補正し、対物レンズコイルに補正励磁電流を与え焦補正を行う。例文帳に追加

A suitable astigmatism correction direction is selected from an angle component value of the obtained degree of sharpness of the image to correct the astigmatism by providing a correction excitation current to the correction coil 5, and a correction excitation current is provided to an object lens coil to correct the focal point. - 特許庁

走査形荷電粒子顕微鏡、並びに走査形荷電粒子顕微鏡の非点収差補正方法例文帳に追加

SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE, AND ITS ASTIGMATISM CORRECTING METHOD - 特許庁

光ディスク記録再生装置の収差量検出方法および非点収差補正方法例文帳に追加

DETECTION METHOD OF ASTIGMATISM QUANTITY OF OPTICAL DISK RECORDING AND REPRODUCING APPARATUS, AND ASTIGMATISM CORRECTING METHOD - 特許庁

光学系要素、非点収差補正器、荷電粒子線露光装置、及び半導体デバイスの製造方法例文帳に追加

OPTICAL SYSTEM ELEMENT, ASTIGMATISM COMPENSATOR, CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE SYSTEM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁

光記録媒体装置および非点収差補正方法ならびに収差測定方法例文帳に追加

OPTICAL RECORDING MEDIUM APPARATUS, ASTIGMATISM CORRECTING METHOD, AND ASTIGMATISM MEASURING METHOD - 特許庁

走査形荷電粒子顕微鏡の非点収差補正作業の簡易化方法に関する。例文帳に追加

To provide a method for simplifying astigmatism correcting work of a scanning type charged particle microscope. - 特許庁

荷電粒子ビーム装置の非点収差補正方法及び該補正方法を用いた荷電粒子ビーム装置例文帳に追加

CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS ASTIGMATISM CORRECTING METHOD, AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS USING THE SAME - 特許庁

荷電粒子線露光装置における非点収差補正器の補正感度の確認方法例文帳に追加

CONFIRMING METHOD OF CORRECTION SENSITIVITY OF ASTIGMATISM CORRECTOR IN CHARGED PARTICLE RAY EXPOSURE DEVICE - 特許庁

荷電粒子線装置、および、荷電粒子線装置における非点収差補正調整方法例文帳に追加

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND ASTIGMATISM CORRECTION ADJUSTING METHOD IN IT - 特許庁

光ヘッドにチルトアクチュエータおよび非点収差補正素子を搭載する。例文帳に追加

A tilt actuator and an astigmatism correction element are mounted in an optical head. - 特許庁

最適な非点収差補正を容易に行うことを可能とし、かつ非点収差補正部の省スペース化を図ることのできる光ピックアップ装置を提供する。例文帳に追加

To provide an optical pickup device in which the optimum correction of astigmatism can be easily performed and a space of an astigmatic part can be saved. - 特許庁

電子ビームの非点収差補正を行う電磁四重極コイルとコンバーゼンス(補正)を行うコンバーゼンスヨークのコイルとを直列に接続して、一つの補正回路で非点収差補正及びコンバーゼンス(補正)を行う。例文帳に追加

To conduct a astigmatism correction and convergence (correction) by only one correction circuit by connecting in series an electromagnetic quadruplet pole coil for correcting astigmatism of an electron beam and a coil of a convergence yoke for conducting convergence (correction). - 特許庁

大きな非点収差補正出力を出した場合にも、6θ成分、10θ成分等の高次成分による収差が発生しない静電型非点収差補正器を提供する。例文帳に追加

To provide an electrostatic type astigmatism compensator where aberrations due to a higher-order component, such as a 6θ component and a 10θ component will not be produced, even when a large astigmatism compensating output is outputted. - 特許庁

ボケを調整するときには非点収差補正器6Aの電流補正分ΔIaと非点収差補正器6Bの電流補正分ΔIbをΔIa=ΔIbとなるように設定れば、歪は変化しない。例文帳に追加

When an astigmatic blur is adjusted, a current correction ΔIa of the astigmatism corrector 6A and a current correction ΔIb of the astigmatism corrector 6B are set so as to have ΔIaIb, so that astigmatic distortion does not change. - 特許庁

球面収差補正値・フォーカスバイアスを固定とした状態で、非点収差補正値を変化させたときに得られるトラッキングエラー信号TEの振幅値を取得した結果に基づき、最適とされる(例えばTE振幅値を最大とする)非点収差補正値を探索し、該補正値により非点収差補正を行う。例文帳に追加

An optimum (e,g, a TE amplitude value is made the maximum) astigmatism correction value is searched in a state in which the spherical aberration correction value-focus bias are fixed based on the result in which the amplitude value of the tracking error signal TE obtained when the astigmatism correction value is changed is obtained, and astigmatism correction is performed by the correcting value. - 特許庁

電磁レンズの収差測定方法、収差測定装置、非点収差補正方法及び電子線装置例文帳に追加

ASTIGMATISM MEASURING METHOD FOR ELECTROMAGNETIC LENS, ASTIGMATISM MEASURING APPARATUS, ASTIGMATISM CORRECTING METHOD, AND ELECTRON BEAM APPARATUS - 特許庁

電子顕微鏡の焦補正を自動的に行い、隔差量を表示させ、非点収差補正を定量的に実行する。例文帳に追加

To automatically execute focal point correction of an electron microscope; to display an astigmatic difference value; and to quantitatively execute astigmatism correction. - 特許庁

ホログラムパターン発生装置、電子ホログラフィの非点収差補正方法、および、ホログラムパターン発生プログラム例文帳に追加

HOLOGRAM PATTERN GENERATING DEVICE, METHOD FOR CORRECTING ASTIGMATISM IN ELECTRONIC HOLOGRAPHY, AND HOLOGRAM PATTERN GENERATING PROGRAM - 特許庁

電子顕微鏡等のサイズを大きくすることなく3回収差補正することができる非点収差補正装置を提供する。例文帳に追加

To provide an astigmatism correction device capable of also correcting three times astigmatism without increasing size of electron microscope etc. - 特許庁

走査形荷電粒子顕微鏡、並びに走査形荷電粒子顕微鏡の焦合わせ方法及び非点収差補正方法例文帳に追加

SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE, METHOD OF FOCUSING IT AND METHOD OF COMPENSATING ITS ASTIGMATISM - 特許庁

そして、チルトアクチュエータの駆動電圧に対応させて、非点収差補正素子の駆動電圧を、最適値となるように変化させる。例文帳に追加

The drive voltage of the astigmatism correction element is varied so as to become an optimum value corresponding to drive voltage of the tile actuator. - 特許庁

この電圧を調整することにより、対物レンズの非点収差補正、軸外収差補正、及び、焦ずれ補正のいずれかを行う。例文帳に追加

This voltage is adjusted to carry out one of objective lens astigmatism correction, off-axis aberration correction, and focus shift correction. - 特許庁

2個の同一形状の非点収差補正器6A、6Bがクロスオーバ像(Wb軌道が光軸と交差する)4の上下に配置されている。例文帳に追加

Two astigmatism correctors 6A and 6B having similar shapes are disposed above and below a crossover image point (point where a Wb orbit intersects an optical axis) 4. - 特許庁

非点収差補正器によって、クロスオーバの近傍で収差を発生させ、電子線ビームの面積が小さくならないようにする。例文帳に追加

The astigmatism correctors 91, 92, 93, 94 generate astigmatism near a crossover point so as to prevent reduction of an area of the electron beam 2. - 特許庁

オペレータが、経験と熟練を要求されずに、電子顕微鏡の収差補正を短時間で適確に行える電子顕微鏡の非点収差補正装置を提供する。例文帳に追加

To provide astigmatism correction device of electron microscope that can exactly correct astigmatism in electron microscope within a short time without demand for operator's experience and dexterity. - 特許庁

この接着剤12の作用により、光学系全体の収差を打ち消す方向の収差をコリメートレンズ3に発生させ、光学系全体の非点収差補正を行うことができる。例文帳に追加

Astigmatism in a direction in which astigmatism of the whole optical system is canceled is generated in the collimate-lens 3 by the action of the adhesive 12, and correction of astigmatism of the whole optical system can be performed. - 特許庁

そこで、このようなレーザ光の発散角又は収束角の変化に応じて、非点収差補正素子35を制御することで立ち上げプリズム36に起因する収差を除去するようにしている。例文帳に追加

Therefore, the astigmatism caused by the rising prism 36 is removed by controlling an astigmatism correcting element 35 according to the changes in the divergent angle or the convergent angle of such laser light. - 特許庁

本発明の目的は、測定倍率や試料に依存しないで、また、できる限り照射ビームを少なくして試料損傷低減を図り、自動的に非点収差補正を行うことができる電子顕微鏡を提供することにある。例文帳に追加

To provide an electron microscope which reduces a sample damage without depending on a measurement magnification or a sample and with the minimized illumination beam, and makes astigmatism correction automatically. - 特許庁

そして、CPU1001は、取得した収差補正量だけ収差付加手段1005を駆動させ、光ピックアップの対物レンズなどからなる光学系に対する非点収差補正を行う。例文帳に追加

Thereafter, the CPU 1001 drives an aberration adding means 1005 by the obtained aberration correction amount to perform astigmatism correction with respect to an optical system including an objective lens of an optical pickup. - 特許庁

フランジ部を外側に広げることなく、光軸方向のスペースを有効利用したコンパクトな形状で、十分な軸対称性による有効な非点収差補正を行なう。例文帳に追加

To provide a lens for performing effective astigmatism correction by a sufficient non-axial symmetry in compact shape in which a space in a direction of an optical axis is effectively used without expanding a flange part externally. - 特許庁

複数の光源とダイクロイックミラーからなる光書き込みヘッドにおいて、非点収差補正手段の構成を簡単にし、組立てが容易でコンパクトな構造にすること。例文帳に追加

To simplify constitution of an astigmatism correction means to make it an easy assembly and compact structure in an optical writing head comprising a plurality of light sources and dichroic mirrors. - 特許庁

レチクル5を出た電子線2は第1投影レンズ61を通過した後、非点収差補正器61、62、63、64によって軌道を曲げられ、第2投影レンズ62によってウェハ7上にレチクル像を結像する。例文帳に追加

The passed electron beam 2 through the reticle 5 passes through a first projection lens 61, is bent in its trajectory by astigmatism correctors 91, 92, 93, 94, and finally, forms an image of the reticle 5 on a wafer 7 by operation of a second projection lens 62. - 特許庁

荷電粒子線装置において、収差調整に用いるパターンまたは試料に依存せず、作業者のスキルに寄らず安定した像質を得ることができる高精度の非点収差補正調整方法を提供する。例文帳に追加

To provide a highly accurate astigmatism correction adjusting method capable of obtaining stable image quality without depending on a pattern or a sample used for astigmatism adjustment and without relying on skill of a worker, in a charged particle beam device. - 特許庁

荷電粒子ビームシステムにおけるフォーカシング、コントラスト設定、非点収差補正を高精度で、高信頼性で且つ高再現性を持って自動的に処理する技術を提供する。例文帳に追加

To automate accurate focusing, contrast setting and correction of astigmatism by matching a column, sampling image of a sample having the center of focus rotation, setting the contrast of the image, and setting the focus of the column. - 特許庁

非点収差補正素子2の位置及び角度を調整して所定の大きさ及び方向の収差を与えることにより、該収差2以外の光学部品によって発生する集光光学系全体の収差を確実に補正することが可能となる。例文帳に追加

astigmatism of a whole converging optical system caused by optical parts except the astigmatism 2 can be compensated exactly by adjusting a position and an angle of the astigmatism compensating element 2 and giving astigmatism of the prescribed magnitude and direction. - 特許庁

そこで、一致しない場合は一致するよう非点収差補正素子を用いて補正を行い、一致する場合については、隣接トラックからのフォーカス誤差信号を用いて収差の有無の識別と収差の角度成分に応じた補正を行う。例文帳に追加

Then, when unmatched, the correction is performed using an astigmatic compensation element and, when matched, identification of existence or nonexistence for the astigmatism and the correction according to the astigmatic angle component are performed using a focus error signal from an adjoining track. - 特許庁

調整用部材を用いて第1のホルダ31を所定量傾斜させ、収差補正量を調整した後、第2のホルダ33を所定量回転させ、収差補正方向を調整し、最適な非点収差補正を行う。例文帳に追加

The first holder 31 is tilted by a prescribed quantity using a member for adjusting, after the adjustment of a correction quantity of astigmatism, the second holder 33 is rotated by the prescribed quantity, the correction direction of astigmatism is adjusted, the optimum correction of astigmatism is performed. - 特許庁

複数に分割された外周部のパターン電極(32A_3〜32A_6)は、非点収差補正及び球面収差補正に兼用され、中心部のパターン電極(32A_1、32A_2)は、外周部のパターン電極と共に、球面収差補正に用いられる。例文帳に追加

Pattern electrodes of the outer peripheral part divided into a plurality (32A_3-32A_6) are used also for correcting astigmatism and spherical aberrations, and the pattern electrodes (32A_1-32A_2) of the center part are used for correcting the spherical aberrations, together with the pattern electrode of the outer peripheral part. - 特許庁

例文

対物レンズ12と非点収差補正コイル5の励磁電流を変化させながら試料11に電子線3を照射して得られる試料拡大像18を光学レンズ19、撮像素子20からなる撮像装置で撮影して、演算装置57で画像鮮鋭度を計算する。例文帳に追加

A sample expansion image 18 obtained by irradiating a sample 11 with an electron beam 3 while changing an excitation current for an object lens 12 and an astigmatism correction coil 5 of an object lens 12 is imaged by an imaging device comprising an optical lens 19 and an imaging element 20, and the degree of sharpness of the image is calculated by a calculation device 57. - 特許庁

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