「エンバイロメント」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

ミニエンバイロメントポッドと装置との間の真空インタフェース例文帳に追加

VACUUM INTERFACE BETWEEN MINI-ENVIRONMENT POD AND APPARATUS - 特許庁

ミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備例文帳に追加

MINI ENVIRONMENT DEVICE, AND CLEAN ROOM EQUIPMENT USING SAME - 特許庁

多関節ロボットアームの関節部構造、及びミニエンバイロメント装置例文帳に追加

JOINT STRUCTURE OF MULTI-JOINT ROBOT ARM AND MINI-ENVIRONMENT DEVICE - 特許庁

クリーンルーム又はミニエンバイロメントの雰囲気中の粒子濃度評価方法例文帳に追加

METHOD OF EVALUATING PARTICLE CONCENTRATION IN ATMOSPHERE OF CLEAN ROOM OR MINI-ENVIRONMENT - 特許庁

ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法例文帳に追加

MINI-ENVIRONMENT DEVICE, INSPECTION DEVICE, MANUFACTURING DEVICE, AND SPACE CLEANING METHOD - 特許庁

ミニエンバイロメント基板搬送装置、ロードポートおよび搬送容器内基板の除電方法例文帳に追加

MINI-ENVIRONMENT SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, LOAD PORT AND METHOD OF ELIMINATING ELECTRICITY IN SUBSTRATE WITHIN TRANSPORT CONTAINER - 特許庁

ミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法例文帳に追加

MINIENVIRONMENT EQUIPMENT, SHEET-LIKE OBJECT MANUFACTURING SYSTEM, AND METHOD OF REPLACING ATMOSPHERE IN SANITIZED VESSEL - 特許庁

このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。例文帳に追加

A transfer robot 20 provided with the joint structure of the multi-joint robot arm 20b is installed on the mini-environment device. - 特許庁

光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減できるミニエンバイロメント装置を提供する。例文帳に追加

To provide a mini environment device, in which an optical system is protected without fail and further running cost and initial cost are surely reduced. - 特許庁

アウトガスによる汚染を防止しつつ、温度に対する高い耐久性を有する高性能、高信頼性のファンフィルターユニット、このファンフィルターユニットを用いたミニエンバイロメント、及びこのミニエンバイロメントを備えたクリーンルームを提供すること。例文帳に追加

To provide a high performance and high reliability fan filter unit, having high durability against temperature as pollution by out gas is prevented from occurring, and to provide mini-environment using the fan filter unit and a clean room having the mini-environment. - 特許庁

清浄容器及びミニエンバイロメント装置内での半導体ウエハへの不純物ガスの接触を防止して歩留りの低下を防止することが出来るミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法を提供すること。例文帳に追加

To provide minienvironment equipment, a sheet-like object manufacturing system, and a method of replacing the atmosphere of a sanitized vessel whereby it is possible to prevent impurity gas from reaching a semiconductor wafer in the sanitized vessel and the minienvironment equipment and thus to prevent a reduction in yield. - 特許庁

ミニエンバイロメント１６のロードポート２０が設置される隔壁に清浄空気吹出し口２３を備え、該吹出し口から前記ロードポートの密閉容器の上面２０ａ上に向けて前記ミニエンバイロメント内の清浄空気を吹き付けるようにした。例文帳に追加

A clean air outlet 23 is made in a barrier wall where the load port 20 of a mini-environment 16 is provided so that clean air in the mini- environment is blown from the air outlet toward the upper surface 20a of the enclosure of the load port. - 特許庁

クリーンルームからのミニエンバイロメント内への塵埃の侵入を防ぎ、それによって装置室内への塵埃の拡散を確実に防止したクリーンルーム設備を提供すること。例文帳に追加

To provide a clean room facility in which intrusion of dust from a clean room into a mini-environment is prevented and thereby diffusion of dust into the apparatus room is prevented surely. - 特許庁

ミニエンバイロメント装置の筺体の内部における局所的な気流の流速の制御性を向上させ、カセットの内部に保持された処理ワークへの微小異物の付着を抑制する。例文帳に追加

To reduce the adhesion of fine foreign matter to a processing workpiece held inside a cassette by improving the controllability of flow velocity of a local air flow within a casing of a mini environment device. - 特許庁

ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a joint structure of a multi-joint robot arm capable of improving durability of a cable and reducing dust, and a mini-environment device. - 特許庁

ケミカルフィルタの負荷を低減し、内部発生したケミカル成分にも対応でき、冷却器を必要としないミニエンバイロメント装置を提供する。例文帳に追加

To provide a mini environment device capable of reducing a load for a chemical filter, capable of coping with a chemical component generated in an inside, and requiring no cooler. - 特許庁

循環流を効果的に活用し、フィルタ等の負荷を低減しつつ、装置内の清浄度を高清浄に保つことができるミニエンバイロメント装置を提供する。例文帳に追加

To provide a minienvironment device capable of effectively utilizing circulated flow, and keeping high cleaning level in the device while reducing load on a filter or the like. - 特許庁

ミニエンバイロメント方式の密閉型ポッドに於けるウエハの取出し、搬送及び処理に際し、ウエハの破損を未然に防止しながら効率の良い作業の遂行を図る。例文帳に追加

To realize efficient works of a wafer while beforehand preventing damage of the wafer during extraction, transportation and processing of the wafer in a closed pod of a mini-environment system. - 特許庁

局所的クリーン環境（ミニエンバイロメント）方式を用いる半導体ウエハの移送、製造工程において、高清浄度における消費電力を小さくし、さらなるランニングコストを低減した方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method in which power consumption in high cleanliness is reduced and the running cost is further decreased, in processes of transferring and manufacturing a semiconductor wafer by use of a locally clean environment (mini-environment) system. - 特許庁

外界の清浄度の影響を抑制し特定の空間の目標の清浄度を保つことができるミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法を提供する。例文帳に追加

To provide a mini-environment device capable of keeping target cleanliness of a specific space by restraining influence of cleanliness of the outside world, and to provide an inspection device, a manufacturing device, and a space cleaning method. - 特許庁

所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus of holding cleanliness when goods are delivered by a local clean conveyer that can prevent an external environmental gas with low cleanliness from being taken in a local clean area when a mini-environment method is adopted. - 特許庁

薄板状物を気密可能に収納する清浄容器１２を載置し、その蓋を着脱開閉するためのロードポート１３と、搬送機１４と、ファンフィルタユニット１５と、ミニエンバイロメント室９１−１内の気体を回収してファンフィルタユニット１５に循環させる循環路２４を具えている。例文帳に追加

The equipment comprises a load port 13 for loading a cleaning container 12, which hermetically stores a sheet-like object, and detachably opening/closing the lid of the container, a conveyor 14, a fan filter unit 15, and a circulation path 24 for gathering air in a minienvironment chamber 91-1 and circulating the air in the fan filter unit 15. - 特許庁

計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。例文帳に追加

An apparatus for providing environmental control for a vibration sensitive measuring system including measurement hardware includes means for providing thermal-stable mini-environment enclosing the vibration sensitive measuring system and means for minimizing a measurement error of the vibration sensitive measurement system caused by acoustic noise and vibration. - 特許庁

ケミカルフィルタを使用せずに、処理空気から気体状汚染物質を連続的に除去できるとともに、吸着材ユニットの連続的な再生を行うことができ、しかも、大容量のクリーンルームのほか、小容量のクリーンルーム（ミニエンバイロメントや半導体の製造装置等）にも適用することができる空気清浄化装置を提供する。例文帳に追加

To provide an air purifying device applicable to a large capacity clean room as well as a small capacity clean room (a mini-emviroment or a semiconductor manufacturing device) for continuously removing gas contaminant from treated air without using a chemical filter and continuously regenerating adsorbing material units. - 特許庁

雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に関し、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共に容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。例文帳に追加

To provide an atmosphere analyzer constituted so as not only to connect a sensor installed in a container such as a mini-environment and an external control circuit without applying any processing to the container but also to easily acquire data for identifying the pollutant in the container, and an atmosphere analyzing method. - 特許庁

雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に関し、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共にセンサーから引き出されたフレキシブルフラットケーブルを引き出し方向と例えば反対方向など如何なる位置に在る同軸ケーブルにも無理なく接続することを可能にし、容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。例文帳に追加

To connect a sensor installed in a container, such as, a mini-environment to an external control circuit without having to apply processings on the container, to reasonably connect a flexible flat cable pulled out of the sensor also to a coaxial cable existing at any position, such as the direction opposite to the drawing direction, and to readily obtain a document for identifying pollutants inside the container, in an atmosphere analyzer and atmosphere analysis method. - 特許庁