「Micro-Electro-Mechanical Systems」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

Technology to support next-generation industries (I): Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)例文帳に追加

次世代産業を支える技術① マイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ - 経済産業省

POSITIVE RESIST COMPOSITION FOR MANUFACTURING MEMS (MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS) WITH ELECTRON BEAM AND RESIST PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加

電子線を用いてＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）を製造するためのポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 - 特許庁

To increase magnetic flux density in D'Arsonval micro-electro-mechanical systems (MEMS) device.例文帳に追加

ダルソンバル微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイス内の磁束密度を増加させること。 - 特許庁

To provide an in-plane Micro Electro-mechanical Systems (MEMS) accelerometer device improved in performance.例文帳に追加

性能が改善された面内微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）加速度計デバイスを提供する。 - 特許庁

To provide a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) element having a MEMS capacitor excellent in electric characteristics and reliability.例文帳に追加

電気特性および信頼性に優れたＭＥＭＳキャパシタを有するＭＥＭＳ素子を提供する。 - 特許庁

NEGATIVE RESIST COMPOSITION FOR PRODUCING MEMS (MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS) AND RESIST PATTERN FORMING METHOD例文帳に追加

ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）を製造するためのネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 - 特許庁

To reconcile the sensitivity with strength of an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) having a flexible section and spindle section at a high level.例文帳に追加

可撓部と錘部とを備えるＭＥＭＳの感度と強度を高いレベルで両立させる。 - 特許庁

An increased magnetic flux density D'Arsonval micro-electro-mechanical systems (MEMS) device increases magnetic flux density.例文帳に追加

磁束密度増加ダルソンバル微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、磁束密度を増加させる。 - 特許庁

The microscope system can be applied to, for example, a microscope system for the production and observation of a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device.例文帳に追加

本発明は、例えば、MEMSデバイスの製作および観察をする顕微鏡システムに適用できる。 - 特許庁

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) elements (16a, 16b, 17a, 17b, DF) are provided on a device substrate 10 having a solid-state image sensor unit (R5) having a light-receiving surface in which photodiodes separately formed in each of pixels are arranged in a matrix.例文帳に追加

画素ごとに区分されたフォトダイオードがマトリクス状に配置された受光面を有する固体撮像素子部（Ｒ５）を有するデバイス基板１０上に、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）素子（１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，ＤＦ）を有する構成とする。 - 特許庁

Systems and methods for reducing driver noise in a Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) gyroscope system are disclosed.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ジャイロスコープにおいて駆動ノイズを低減するシステム及び方法が開示される。 - 特許庁

A Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) inertial sensor systems and methods are operable to determine linear acceleration and rotation.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）慣性センサシステムおよび方法は、線形加速度および回転を決定するように動作させることができる。 - 特許庁

A Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) interconnection pin 51 is fabricated on a sacrificial layer 23, which is formed on a conductive layer 12 and a substrate 11.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）接続ピン５１は、導電層１２及び基板上１１に形成される犠牲層２３上に作られる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) which is optimum for processing a connection structure or a support structure for reducing heat conductance, or the like.例文帳に追加

熱コンダクタンスを低減させる連結構造または支持構造の加工に最適なＭＥＭＳの製造方法等を低起用すること。 - 特許庁

To attain a method for evaluating dimension error of a manufacturing step by driving an MEMS (micro electro mechanical systems) device and measuring an error of resonance frequency.例文帳に追加

ＭＥＭＳデバイスを駆動させ、共振周波数の誤差を測定し、製造工程の寸法誤差を評価する方法を実現する。 - 特許庁

To provide a torsion spring for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) structure having a large flexural rigidity ratio to torsion rigidity and having a simple manufacturing process.例文帳に追加

捻れ剛性に対する曲げ剛性の比率が大きく、その作製工程が簡単なＭＥＭＳ構造物用捻れバネを提供する。 - 特許庁

To solve the problem that it takes time to charge a microcapacitor on start-up of a condenser microphone device using an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) microphone.例文帳に追加

ＭＥＭＳマイクを用いたコンデンサマイクロホン装置の起動時にマイクコンデンサの充電に時間がかかる。 - 特許庁

To provide a semiconductor device incorporated with an electronic device such as an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) element having a reduced element area, and also to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

素子面積を小さくしたＭＥＭＳ素子などの電子デバイスを組み込んだ半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A MEMS (micro electro mechanical systems) inertial sensor 10 is secured within a premolded-type package 12 formed from a low moisture permeable molding material.例文帳に追加

ＭＥＭＳ慣性センサ１０は、低湿度浸透性成形材料から形成されるプリモールドタイプパッケージ１２内に固定される。 - 特許庁

To provide a semiconductor device, equipped with an acceleration sensor and an MEMS (micro electro-mechanical systems) sensor usable as a pressure sensor.例文帳に追加

加速度センサおよび圧力センサとして使用可能なＭＥＭＳセンサを備える、半導体装置を提供する。 - 特許庁

To provide a MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sensor for effectively alleviating stress generated between a sensor member and a cap member.例文帳に追加

特に、センサ部材とキャップ部材間の応力を効果的に緩和できるＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。 - 特許庁

A device layer having one or more than that of Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) devices is bonded in a first surface to a first wafer.例文帳に追加

１又はそれ以上の微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスを備えたデバイス層は、第１の表面が第１のウェハにボンディングされる。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device being low in the possibility of polluting the MEMS device in manufacture.例文帳に追加

製造時にＭＥＭＳデバイスが汚染される可能性が低いＭＥＭＳデバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems, hereinafter referred to as "MEMS") device employing such an SOI (Silicon on Insulator) wafer as the ground hole of the device and a handle wafer are coupled electrically through a simple process without requiring any extra step, and also to provide its fabrication process and grounding method.例文帳に追加

ＳＯＩ(Silicon on Insulator)ウェーハを用いるＭＥＭＳ(Micro-Electro Mechanical Systems, 以下「ＭＥＭＳ」と略す)デバイスにおいて、特別な工程を追加せずとも簡単な工程によりデバイスの接地孔とハンドルウェーハ(handle wafer)とを電気的に連結させるＳＯＩウェーハを用いたＭＥＭＳデバイス, その製造及び接地方法を提供する。 - 特許庁

Definition Micro-Electro-Mechanical Systems: Miniscule structural parts that are manufactured with fine-processing technologies, such as the semiconductor processing technology, and that have electrical, mechanical, and optical functions.例文帳に追加

定義　マイクロ電子機械システム： 半導体加工技術等の微細加工技術を用いて作製する、電気的、機械的又は光学的な機能を備えた微小構造部品。 - 経済産業省

Other embodiments may include determining the initial and final attitude with a micro-electro-mechanical systems (MEMS)-based sensor or other sensor.例文帳に追加

他の実施形態は、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズ（ＭＥＭＳ）ベースのセンサまたはその他のセンサで初期姿勢および最終的姿勢を求めることを含み得る。 - 特許庁

To provide a maskless exposure observation device to be used for manufacturing MEMS (micro electro mechanical systems), semiconductors or the like, the device allowing exposure on a substrate and observation of the substrate.例文帳に追加

本発明は、ＭＥＭＳ、半導体等の製造に用いるマスクレス露光観察装置に関し、基板への露光および基板の観察を行うことができるマスクレス露光観察装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To enable operation which is faster than the operating speed of the conventional wavelength selector switch using an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror and significantly reduce the power consumption.例文帳に追加

従来のＭＥＭＳミラーを用いた波長選択スイッチに比べて、動作速度よりも高速に動作するとともに、スイッチ動作させるために要する消費電力を大幅に削減する。 - 特許庁

A ceramic package 110 for an acceleration sensor comprises a silicon chip, whose acceleration detection element is formed of MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems), and a ceramic package 110 for storing the silicon chip.例文帳に追加

加速度センサ用のセラミックパッケージ１１０は、加速度検出素子をメムスにより形成したシリコンチップと、シリコンチップを収容するセラミックパッケージ１１０を備えている。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device capable of maintaining a neatly aligned state when finally removing a sacrificial layer when manufacturing the MEMS device.例文帳に追加

ＭＥＭＳデバイスを製造する際に、最終的に犠牲層を除去した時に、整然と整列した状態を保つことができる、ＭＥＭＳデバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device to reduce a manufacturing time by preventing an unnecessary increase of a number of manufacturing steps while adapting a device structure which delivers a full performance of a MEMS (micro-electro-mechanical systems) device.例文帳に追加

ＭＥＭＳ装置が備える性能を十分に発揮しうる装置構成を採用しつつ、徒らに製造工程数が増加することを防止し、製造時間の短縮を図ることができる半導体装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device, capable of suppressing a voltage required for anodic bonding to a small level while an air escape is secured during the anodic bonding.例文帳に追加

ＭＥＭＳデバイスの製造方法において、陽極接合の際の空気の逃げ道を確保しつつ、陽極接合に必要な電圧を小さく抑える。 - 特許庁

The MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) vibrator is provided with an oscillator 13 including an oscillator vibration part 21 which vibrates in a surface in parallel with a main surface 11a of a base 11, and the electrode 15 including an electrode vibration part 27 which vibrates in the surface in parallel with the main surface.例文帳に追加

基体１１の主面１１ａに平行な面内で振動する発振子振動部２１を含む発振子１３と、主面に平行な面内で振動する電極振動部２７を含む電極１５とを具える。 - 特許庁

To provide a filter device coping with an appropriate transmission frequency and an interruption frequency without being affected by process fluctuation and disturbance as much as possible even if an MEMS (Micro Electro-Mechanical systems) structure is used.例文帳に追加

ＭＥＭＳ構造を用いた場合であっても、プロセス変動や外乱等の影響を極力受けることなく、適切な透過周波数や遮断周波数等に対応することが可能なフィルタ装置を提供する - 特許庁

In an image display device, a relative positional deviation of a spot is detected based on a signal from a detector PD to which a laser beam reflected from a half mirror provided in front of a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror is entered, during assembling and the like.例文帳に追加

組み立て時等において、ＭＥＭＳミラーの手前に設けたハーフミラーから反射したレーザビームを入射した検出器ＰＤからの信号に基づいて、スポットの相対位置ズレを検出する。 - 特許庁

To provide an optical switch using an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) mirror of which the electrodes are coated by an insulating film, the optical switch suppressing the angle deviation of the MEMS mirror due to polarization in the insulating film.例文帳に追加

電極が絶縁膜によって被覆されたＭＥＭＳミラーを用いた光スイッチにおいて、絶縁膜の分極によるＭＥＭＳミラーの角度ズレを抑制する。 - 特許庁

To provide a MEMS device which can reduce influence on a characteristic of a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) element with hardly being affected by external environments of moisture and temperature, etc.例文帳に追加

湿気や温度等の外部環境の影響を受けにくく、ＭＥＭＳ素子の特性への影響を低減することのできるＭＥＭＳデバイスを提供すること。 - 特許庁

To provide a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device which can be manufactured by a simple manufacturing method and reduce influence on a characteristic of a MEMS element, and a method for manufacturing the MEMS device.例文帳に追加

簡易な製造方法により製造することができ、ＭＥＭＳ素子の特性への影響を低減できるＭＥＭＳデバイス及びＭＥＭＳデバイスの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an antenna system provided with a plurality of MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems) switches adopting a MEMS technology that uses the MEMS switches and a plurality of micro conductive patches and varies the size and the shape of an antenna so as to vary the operating frequency thereby easily controlling the MEMS switches.例文帳に追加

ＭＥＭＳ技術を適用したＭＥＭＳスイッチを複数具備するアンテナ装置において、複数のＭＥＭＳスイッチと、複数の微小パッチ導体とを用いて、アンテナの大きさや形状を可変することにより動作周波数を可変でき、ＭＥＭＳスイッチの制御が容易であるアンテナ装置を得る。 - 特許庁

The increased magnetic flux density D'Arsonval micro-electro-mechanical systems (MEMS) device includes a housing 206, a proof mass 202 suspended within the housing 206 by at least one torsional flexure 204, a second torsional rebalancing magnet 208b, and a current coil 214 disposed on the proof mass 202.例文帳に追加

磁束密度増加ダルソンバル微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、筺体（２０６）、少なくとも１つのねじりフレクシャー（２０４）によって筺体（２０６）内につるされたプルーフマス（２０２）、第２のねじり再バランス磁石（２０８ｂ）、およびプルーフマス（２０２）上に配置された電流コイル（２１４）を含む。 - 特許庁

To provide an MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) sensor for simplifying the manufacturing process while achieving, on the surface side, the connection of wiring required for detecting physical quantity of the facing direction of a substrate and a cap, and its method for manufacturing.例文帳に追加

基板とキャップとの対向方向の物理量を検出するために必要な配線の接続を表面側で達成することができながら、製造工程の簡素化を図ることができる、ＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

A part 9 to be measured is scanned with excitation light deflected by MEMS (micro electro mechanical systems) mirror 114, and scattered light and fluorescent light which are emitted from a sample by the scan and are detected from a plurality of detecting points of the part 9 to be measured are transmitted by an image fiber 130 and enter a fluorescent processing unit 30.例文帳に追加

ＭＥＭＳミラー１１４により偏向された励起光は被計測部９を走査し、この走査に起因して被計測部９の複数の検出点から検出された散乱光と蛍光は、イメージファイバ１３０により伝送されて蛍光処理ユニット３０に入射する。 - 特許庁

To provide a method of adjusting a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device capable of adjusting a structural dimension of a MEMS structure in a wide range, performing a uniform dimension adjustment or preventing a change of an operation mode, and a method of manufacturing the MEMS device by using the method of adjusting the MEMS device.例文帳に追加

ＭＥＭＳ構造体の構造寸法を広い範囲で調整できると共に、均一な寸法調整を行うことができ、或いは、動作態様を変化させないＭＥＭＳデバイスの調整方法及びこれを用いた製造方法を提供する。 - 特許庁

An adhesive tape for cutting processing that is used for manufacturing a semiconductor chip, a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device, a functional glass substrate, and a semiconductor package and the like from a plate-like to-be-cut object, has a base material 1 and an adhesive layer 2 arranged on the base material 1.例文帳に追加

切削加工用粘着テープは、板状の被切削物から半導体チップ、ＭＥＭＳデバイス、機能性ガラス基板、および半導体パッケージ等を製造するために使用される切削加工用粘着テープであり、基材１と、基材１上に配された粘着層２と、を備える。 - 特許庁