SUPER FLUIDとは 意味・読み方・使い方

Consequently, the mixed fluid included in the mixture is made to be in a super critical state.例文帳に追加

その結果、混合体に含まれる被混合流体が超臨界状態にされる。 - 特許庁

The fluid includes super pure water for use as an immersion liquid for the lithographic system.例文帳に追加

流体は、有利には、リソグラフィ装置に浸漬液として使用するための超純水を含む。 - 特許庁

The worm wheel 5 is used, which has a surface layer 13 in which after a super-critical fluid containing the lubricant is brought into contact with the worm wheel 5, made of the resin, of the lubricant penetrated into the worm wheel 5 and the super-critical fluid, the super-critical fluid is only removed.例文帳に追加

樹脂であるウォームホイール５に潤滑油を含有する超臨界流体を接触させた後、ウォームホイール５に浸透した潤滑油および超臨界流体のうち、超臨界流体のみを除去した表層１３を有するウォ−ムホイール５を用いる。 - 特許庁

The super critical ammonia-reaction apparatus is constituted with this alloy, or this alloy is coated on the surface in contact with the super critical ammonia fluid.例文帳に追加

該合金によって超臨界アンモニア反応機器を構成するか、該材料を超臨界アンモニア流体に接する面に被覆する。 - 特許庁

To provide a super or subcritical fluid treatment system capable of forming a high-pressure site efficient for the high pressure fluid utilization process such as the super or subcritical fluid without using particular compressing equipment.例文帳に追加

特段の圧縮装置を用いることなく、超臨界あるいは亜臨界流体などの高圧流体利用プロセスに効率良く高圧場を形成できる超・亜臨界流体処理システムを提供すること。 - 特許庁

The refined fluid is subsequently collected and can be used in a super-critical processing system.例文帳に追加

精製された流体は次に回収され、超臨界処理システム内で使用することができる。 - 特許庁

After super-critical fluid is admixed with a chemical under a pressure higher than the processing pressure of substrate, a substrate is processed under the processing pressure of substrate by using the super-critical fluid admixed with chemical.例文帳に追加

基板を処理する圧力よりも高い圧力下で超臨界流体に薬液を混合した後、基板を処理する圧力において、薬液が混合された超臨界流体を用いて、基板を処理する。 - 特許庁

To improve cleaning capability in a method for cleaning a base material surface using a super-critical fluid.例文帳に追加

超臨界流体を使用した基体表面の洗浄方法において、その洗浄能力の向上を図る。 - 特許庁