proximity gapとは 意味・読み方・使い方

To provide a proximity exposure device and a proximity exposure method that improve exposure precision by making tilt correction so as to make the gap between a workpiece and a mask uniform.例文帳に追加

ワークとマスクとのギャップを均一化するようにチルト補正して、露光精度を向上する近接露光装置及び近接露光方法。 - 特許庁

To provide an exposure device and an exposure method which facilitate an adjustment of a predetermined proximity gap when implementing proximity exposure with a large-sized photomask.例文帳に追加

大型のフォトマスクを用いてプロキシミティ露光を行う際に、所定のプロキシミティギャップの調整が容易な露光装置および露光方法を提供する。 - 特許庁

To eliminate effect of waviness and thickness irregularity of a photomask on a mask surface and to keep a uniform proximity gap.例文帳に追加

フォトマスクのうねりと、厚みムラによるマスク面への影響を解消して、プロキシミティギャップを均一に保つ。 - 特許庁

To provide a proximity exposing device and a proximity exposure method capable of averaging a gap between a mask and a workpiece by comparatively simple calculation and improving exposure accuracy.例文帳に追加

比較的簡単な計算で、マスクとワークのギャップを平均化することができ、露光精度を向上することができる近接露光装置及び近接露光方法を提供する。 - 特許庁

A push-in part (43) or a groove or the like is led in close proximity of the separation gap by a push-in tool (38).例文帳に追加

押込み部（４３）または溝などは押込み工具（３８）によって分離ギャップのごく近くに導入される。 - 特許庁

To realize high throughput by correcting the deformation of a photomask to stain high speed control of the proximity gap.例文帳に追加

フォトマスクの変形を補正してプロキシミティギャップ制御の高速化を図ることにより高スループット化を実現する。 - 特許庁

In the photomask 5 to be opposed through a proximity gap P to a CF substrate 2 as the exposure object during exposure, the mask has a groove 8 on the face opposing to the CF substrate 2 so as to supply and discharge gas between the proximity gap P and the outside.例文帳に追加

露光の際に露光対象のＣＦ基板２とプロキシミティギャップＰを介して対向させるフォトマスク５において、ＣＦ基板２と対向する面に、プロキシミティギャップＰと外部との間で気体を給排気する溝部８を備えた。 - 特許庁

To measure a proximity gap between surface of a substrate and a pattern surface of a mask through a glass plate from outside a negative pressure chamber.例文帳に追加

負圧室の外側からガラス板を介して、基板の表面とマスクのパターン面とのプロキシミティギャップを測定する。 - 特許庁