「"ふぁらでーかっぷ"」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

演算処理部２００は、この同一測定点のデータにずれが生じないように、ファラデーカップ１１２の固有特性を校正するための補正値を求める。例文帳に追加

A calculation processing part 200 is used for finding a correction value for correcting the specific characteristic of the Faraday cups 112 so as not to generate deviation in data of the same measurement point. - 特許庁

また、平行度及び発散角度を測定する測定装置は、ビーム分割スリットと、このビーム分割スリットを透過したビームの電流量を計測する可動式ファラデーカップを具備している構成とした。例文帳に追加

The measurement device to measure the parallel degree and the divergence angle is provided with a beam split slit and a movable Faraday cup to measure a current amount of the ion beam passed through the slit. - 特許庁

排気路３６のバルブ３７を開いて、鏡体部２内の高真空をファラデーカップ３５内に作用させ、低い真空に保たれた試料室１内で正確なプローブ電流を測定する。例文帳に追加

High vacuum inside the microscope body part 2 is influenced on the inside of a Faraday cup 35 by opening a valve 37 of an exhaust passage 36, and an accurate probe current is measured inside the sample chamber 1 held in low vacuum. - 特許庁

ビームスキャナ３６への入射前のビームライン上に、イオンビームの全ビーム量を計測してビーム電流を検出するインジェクタフラグファラデーカップ３２が入れ出し可能に配置される。例文帳に追加

On a beam line before an incident into a beam scanner 36, there is arranged, in a takeout/takein manner, an injector flag Faraday cut 32 for measuring a total beam volume of an ion beam and detecting a beam current. - 特許庁

電力調整器１９は、複数のファラデーカップを２つの群の領域に分け、かつそれぞれの群の積算値の平均値の差に基づいて高周波電源からコイル４に供給する高周波電力を調整する。例文帳に追加

A power conditioner 19 divides the plurality of Faraday cups into two groups of regions and adjusts the high-frequency power which is supplied from the high-frequency power source to the coil 4 based on a difference in integrated average values for each group. - 特許庁

コントローラは、受け取ったイオンがファラデーカップによって検出されるようにコントローラが作動する第１の構成と、受け取ったイオンが電子増倍器によって検出されるようにコントローラが作動する第２の構成との間で切り替え可能である。例文帳に追加

The controller can be switched between a first configuration where the controller is operated so that the received ions can be detected by the Faraday cup, and a second configuration where the controller is operated so that the received ions can be detected by the electron multiplier. - 特許庁

イオン注入中において、チャージアップ防止用電子銃１２が生成した二次電子はファラデーカップ１０に形成された絶縁膜ＺＭにより吸収されにくくなり、生成された二次電子が半導体ウエハＷに効率よく供給され、チャージアップを防止する。例文帳に追加

During ion implantation, secondary electrons generated from an electron gun 12 for preventing charge-up are efficiently supplied to a semiconductor wafer W and prevent charge-up, because the electrons are hardly absorbed into the insulating film ZM formed on the internal wall surface of the cup 10. - 特許庁

一次電子光学系は、一次電子線の照射領域８を調整するための２組以上の四重極電極６、一次電子線を走査するための１組以上の偏向器７、走査信号を発生する発信器、及び一次電子線の電流密度を測定するためのファラデーカップを含む。例文帳に追加

The primary electron optic system includes not less than two pairs of quadrupole electrodes 6 for adjusting the irradiation area 8 of the primary electron beams, not less than one pair of polarizers 7 for scanning the primary electron beams, and a Faraday cup for measuring the current density of the primary electron beams. - 特許庁

接地電位に保たれたビームダクト１内に配置されたファラデーカップ２に一端が接続されるパルス検出抵抗１８を、ビームダクト１と同電位に保たれたケース１４内にツェナーダイオード１９とともに収納する。例文帳に追加

A pulse detecting resistance 18 connected to one end of a Faraday cup 2 placed in a beam duct kept at electric potential of the earth is accommodated together with a Zener diode 19 in a case 14 kept at the equal electric potential to the beam duct. - 特許庁

大電力Ｘ線装置（１０）用のＨＶコネクタは、充填物質を含み、同様な物質の礫体を充填することができる熱伝導性エポキシ（７０）と、ケーブル端子と、ファラデーカップ（７４）と、スプリング付勢接点と、鉛で裏張りされたハウジング（７８）とを含む。例文帳に追加

The HV connector for large current X-ray tube device (10) comprises a thermally conductive epoxy (70) which contains a filling object and can be filled up with a gravel of the same material, a cable terminal, a Faraday cup (74), a spring biased contact, and a housing (78) that has backing plated by lead. - 特許庁

電流量に応じて階段状に切り替わる数種類のゲインを用いて電子ビームの電流量を測定するファラデーカップを備えた電子ビーム描画装置において、電流量測定時にゲインの切り替わりを防止して、測定の信頼性を向上する。例文帳に追加

To improve the reliability of measurement by preventing the switching of gain during measurement of current quantity in an electron beam lithography system equipped with a Faraday cup which measures current quantity of electron beams by using a several kinds of gains which switch stepwise according to current quantity. - 特許庁

ガスクラスターに熱電子を衝突、電離させ発生させたガスクラスターイオンを加速してワークに照射する装置において、リターディング電圧を印加するリターディンググリッド２１、イオンビームをパルス化する偏向電極２４ａ、２４ｂ、ドリフトチューブ２６、ファラデーカップ２７、および電流計測手段２８，２９を備えて、飛行時間法によりイオンのクラスターサイズ分布を計測するようにした。例文帳に追加

After ion irradiating conditions are adjusted so as to have a desired distribution, the ion beam is irradiated to the work 32. - 特許庁

加速器Ｙ１から出射されたイオンビームＬのビーム電流を測定する分割電極１０或いはファラデーカップ２０等のビーム電流測定手段を試料分析装置の測定室７３ａに設け，このビーム電流測定手段によるビーム電流の測定値に基づいてイオンビームＬの軌道位置を検出する。例文帳に追加

The beam current measurement means such as a segmented electrode 10 or the Faraday cup 20 etc. measuring a beam current of an ion beam L emitted from an accelerator Y1 is provided in a measurement chamber 73a of a sample analyzer. - 特許庁

イオンビーム加工工程と電気抵抗測定工程とを交互に繰り返し、測定した電気抵抗値が基準値に到達したら試料が断線したと判断し、制御装置２０がイオン光学装置１を制御して、イオンビーム２をファラデーカップ８側に偏向させ続け集束イオンビーム加工を終了する。例文帳に追加

When the measured electrical resistance value reaches a reference value after alternately repeating the ion beam machining step and electrical resistance measuring step, a controller 20 discriminates that the wiring 4 of the sample 3 has been disconnected and terminates the focused ion beam machining, by continuously causing the ion beam 2 to be deflected to a Faraday cup 8 side by controlling the ion optical device 1. - 特許庁

複数の荷電粒子線を用いてウエハ９を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、複数の荷電粒子線を直接入射させその総電流を計測するファラデーカップ１４と、各荷電粒子線を直接入射させ入射電子を増倍する機能を有し、各荷電粒子の電流の相対値を計測するマルチ検出器１５とを有する。例文帳に追加

The multi-charged particle writing system for writing on a wafer 9 using a plurality of charged particle beams comprises a Faraday cup 14 receiving a plurality of charged particle beams directly and measuring the total current thereof, and a multi-detector 15 having a function for receiving each charged particle beam directly and multiplying incident electrons, and measuring the relative value of the current of each charged particle beam. - 特許庁