「"ふぁらでーかっぷ"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

ステージ２にファラデーカップ５、６を２個設け、各ファラデーカップが用いるゲインの切り替わりパターンが互いに異なるものとして、電流量に応じてどちらかのファラデーカップ５、６を選択して用いることにより、電流量がゲインの切り替わり点付近に来るのを防止する。例文帳に追加

A stage 2 is provided with two Faraday cups 5, 6 the switching patterns of gains used by the respective Faraday cups are made different from each other to selectively use either cup 5, 6 according to current quantity, thereby preventing the current quantity from coming close to a switching point of gains. - 特許庁

ファラデーカップ装置およびイオンドーピング装置ならびに半導体装置の製造方法例文帳に追加

FARADAY CUP EQUIPMENT, ION DOPING SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁

半導体を製造するため使用するイオン注入装置のファラデーカップをモニタする方法例文帳に追加

MONITORING METHOD FOR FARADAY CUP OF ION IMPLANTING DEVICE USED FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR - 特許庁

イオン検出器及びこれを備えた四重極型質量分析計並びにファラデーカップ例文帳に追加

ION DETECTOR AND QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER EQUIPPED WITH THE SAME, AND FARADAY CUP - 特許庁

イオン量測定器は、ファラデーカップ１５と可動式遮蔽板１６からなる。例文帳に追加

The ion amount measuring instrument comprises a Faraday cup 15 and a movable shielding plate 16. - 特許庁

電流積算器１６は、各ファラデーカップの電流値を時間的に積算する。例文帳に追加

A current integrator 16 temporally integrates a current value of each Faraday cup. - 特許庁

ファラデーカップ部４０において第２電極部４２前方には接地電極部４３が配置される。例文帳に追加

In the faraday cup part 40, an earth electrode part 43 is arranged in the front of the second electrode part 42. - 特許庁

前記標的は、前記絞り内に配置された、測定用開口２０，２２及びファラデーカップ１７である。例文帳に追加

The targets are the measurement openings 20, 22 and a Faraday cup 17 disposed inside the throttles. - 特許庁

電界解除をもたらすために、中央区域内にファラデーカップ（７４）が配置される。例文帳に追加

In order to bring about the electric field release, the Faraday cup (74) is arranged in the central section. - 特許庁

ファラデーカップ１８は、枠体１２の背面側から着脱可能に枠体に取付けられている。例文帳に追加

The Faraday cups 18 are detachably mounted on the frame body from the rear face side of the frame body 12. - 特許庁

ファラデーカップ１０の内壁には、不均一な絶縁膜ＺＭが形成されている。例文帳に追加

On the internal wall surface of the Faraday cup 10, a nonuniform insulating film ZM is formed. - 特許庁

ファラデーカップ本体５０は、台部材５１とスリーブ部材５２で構成されている。例文帳に追加

A Faraday cup body 50 is constituted of a base member 51 and a sleeve member 52. - 特許庁

イオンビーム３のセットアップ時に、ファラデーカップ１１またはファラデーカップ１０を用いて、所定方向のイオンビーム幅等のイオンビーム形状を取得する。例文帳に追加

In setting up an ion beam 3, an ion beam shape with an ion beam width or the like in a desired direction is obtained with the use of a faraday cup 10 or a faraday cup 11. - 特許庁

インジェクタフラグファラデーカップ３２をビームラインに挿入してイオンビームを遮断すると、イオンビームがインジェクタフラグファラデーカップ３２に設けられたグラファイト３２ａに当たる。例文帳に追加

When the injector flag Faraday cup 32 is inserted in the beam line and shields the ion beam, the ion beam abuts on graphite 32a provided at the injector flag Faraday cut 32. - 特許庁

このとき、イオンビームでグラファイト３２ａがスパッタされても、インジェクタフラグファラデーカップ３２がビームスキャナ３６の上流側に配置されており、インジェクタフラグファラデーカップ３２でイオンビームが遮断されているので、スパッタされたグラファイト粒子がインジェクタフラグファラデーカップ３２の周辺部材に付着することはない。例文帳に追加

Even if the graphite 32a is sputtered by the ion beam, since the injector flag Faraday cut 32 is arranged in an upstream of the beam scanner 36 and the ion beam is shielded by the injector flag Faraday cut 32, sputtered graphite particles do not deposit on a surrounding member of the injector flag Faraday cut 32. - 特許庁

装置はプラズマシースを横切る正イオンのサンプルを収集するための少なくとも一つのファラデーカップ３００を含む。例文帳に追加

The device includes at least one Faraday cup 300 for collecting samples of positive ions traversing the plasma sheath. - 特許庁

イオンを検出するファラデーカップ４と、ＭＣＰ６とをそれぞれ一対の基板９，１１で挟持する。例文帳に追加

A Faraday cup 4 to detect ions and an MCP 6 are pinched by a pair of substrates 9, 11, respectively. - 特許庁

この後、ファラデーカップ１１２を、その配列ピッチよりも狭い間隔で測定点が与えられるように移動させながらビーム強度を測定する。例文帳に追加

Thereafter, the beam intensity is measured while moving the Faraday cups 112 to provide measurement points at an interval narrower than the arrangement pitch thereof. - 特許庁

ファラデーカップからの電流が電流／電圧変換器で変換され、一次電子線の電流密度画像の生成が行われる。例文帳に追加

A current from the Faraday cup is converted by a current/voltage converter to generate a current density image of the primary electron beams. - 特許庁

次に、反対面をエッチングするため、薄膜試料１を反転し、内部にファラデーカップを有した試料台３に固定する。例文帳に追加

Next, the thin film sample is reversed in order to etch an opposite surface and fixed to a sample stand 3 having a Farady cup therein. - 特許庁

インジェクタフラグファラデーカップによりその周辺部材が悪影響を受けることが無いイオン注入装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ion implanting device which receives no adverse effect on its surrounding member caused by an injector flag Faraday cup. - 特許庁

このファラデーカップ本体５０が、感応基板載置部又は光学系の校正用マーク部から４ｍｍ以上離れて配置されている。例文帳に追加

The Faraday cup body 50 is arranged away from a sensitive substrate mounting part or a mark part for calibration of an optical system for 4 mm or more. - 特許庁

ファラデーカップ３００は電子流出を抑制するために内部チェンバー３０８内に横方向の電場を生成するように形状付けられる。例文帳に追加

The Faraday cup 300 is shaped to generate an electric field in the internal chamber 308 in the traverse direction in order to limit electron outflow. - 特許庁

ファラデーカップ６０は、帯電粒子を遮断するようにアパーチャ・アセンブリ６０に対して配置されている。例文帳に追加

The Faraday cup 62 is arranged with respect to the aperture assembly 70 so as to block the charged particles. - 特許庁

粒子捕集部に帯電している帯電粒子の電荷を受けることのないファラデーカップ電流計を提供する。例文帳に追加

To provide a Faraday cup ammeter receiving no charge of charged particles which are charged on a particle collecting section. - 特許庁

このとき、ファラデーカップから試料台表面に達する穴４と分析領域５を一致させる。例文帳に追加

At this time, the hole 4 reaching the surfrace of the sample stand 3 from the Farady cup and an analyzing region 5 are allowed to coincide with each other. - 特許庁

ファラデーカップ・アセンブリ６０が、粒子ビームを遮断するように配置されていて、粒子ビームの特性を測定する。例文帳に追加

A Faraday cup assembly 60 is arranged so as to shut off a particle beam 40, and the characteristics of the particle beam are measured. - 特許庁

複数のファラデーカップ１１２が配列されたビーム強度測定部１１０を２次元的に移動させる２軸可動ステージ１２０を用いて、複数のファラデーカップ１１２が同一測定点に位置するように移動させビーム強度を測定する。例文帳に追加

By using a two-axis movable stage 120 for two-dimensionally moving a beam intensity measurement part 110 with a plurality of Faraday cups 112 arranged, the beam intensity is measured by moving a plurality of the Faraday cups 112 so as to position them at the same measurement point. - 特許庁

更に、ＭＣＰ６の入射面６ａが、開口部２からファラデーカップ４へ向かう軸線Ａに沿って延在するように配置することで、ファラデーカップ４の幅方向に沿うように配置した場合に比してスペースを有効に活用し、イオン検出器１の小型化を図る。例文帳に追加

Furthermore, an incident face 6a of the MCP 6 is arranged so as to extendedly exist along an axial line A directed from an opening part 2 to the Faraday cup 4, so that a space is effectively utilized to achieve the miniaturization of the ion detector 1 compared with the case that it is arranged so as to be along the width direction of the Faraday cup 4. - 特許庁

また、制御手段１６は、ファラデーカップ１１が電子線光軸上に位置するように駆動手段１５を制御し、エミッタ１から引き出された電子はファラデーカップ１１により検出され、角電流密度演算手段１７は角電流密度ρ_1を求める。例文帳に追加

The control means 16 controls driving means 15 so as to make a Faraday cup 11 in a position on an electron beam optical axis, electron taken out from the emitter 1 is detected by the Faraday cup 11, and angle current density calculating means 17 obtains an angle current density ρ1. - 特許庁

本発明はＳＩＭＯＸ基板の酸素イオン注入量の測定に関し、通常ファラデーカップを用いるイオン注入量のモニター方法は、照射されるイオン全てが電荷を有していることが前提であり、イオン照射工程中の異常（例えば真空度の低下，異常放電等）により、電荷を有しない電気的に中性な元素の状態で照射された場合はファラデーカップ法では測定できない。例文帳に追加

To solve problems in the conventional measurement method of an oxygen ion amount implanted to a SIMOX (separation by implanted oxygen) substrate that the desired thickness of a BOX (buried oxide film) layer and of an active layer in a final SIMOX product cannot be obtained because the amount of monitored element or over is implanted into the semiconductor substrate. - 特許庁

洗浄直後のファラデーカップであってもイオンビーム電流値を下げることなくイオン注入を効率よく行い、生産性を大幅に向上する。例文帳に追加

To significantly improve the productivity of a Faraday cup by efficiently performing ion implantation without lowering the current value of an ion beam even when the Faraday cup is used immediately after cleaning. - 特許庁

イオン検出器は、イオンを受け取る入口開口部と、ファラデーカップと、電子増倍器と、入口開口部を通して受け取ったイオンを方向づけるよう配置されたイオンビームコントローラとを備える。例文帳に追加

The ion detector comprises: an inlet opening for receiving ions; a Faraday cup; an electron multiplier; and an ion beam controller arranged for orienting ions received through the inlet opening. - 特許庁

ファラデーカップに入ったイオンにより形成された正の電荷のカラムと電子とを分離しかつ電子を維持して、出力信号のエラーを防止するプラズマドーピング装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma doping device in which error of output signal is prevented by separating a column of positive charges formed by ions in a Faraday cup and electrons while maintaining the electrons. - 特許庁

ビームプラズマおよびマスク表面付近に発生するプラズマ中のイオンがファラデーカップに入射することを抑制して、ビーム電流計測の誤差を小さくする。例文帳に追加

To make errors of beam current measurement small by suppressing incidence of ions in a plasma generated in beam plasma and near a mask surface to a Faraday cup. - 特許庁

ＰＩＧ型負イオン源から発生する負イオンを加速し、ターゲット５を正極性の高電位にすることで、ファラデーカップ１５の汚れによるターゲットからの重元素イオン放出を防止する。例文帳に追加

Negative ions generated from this PIG type negative ion source are accelerated, and a target 5 is set to have a positive-polarity high potential, to thereby prevent heavy element ion emission from the target caused by dirt on a Faraday cup 15. - 特許庁

ファラデーカップの配列ピッチよりも細かく測定点を設定することで、精度のよいビーム強度分布を測定することで、ウェーハに対して均一なイオン注入を可能にする。例文帳に追加

To make implantable uniform ions into a wafer by accurately measuring the beam intensity distribution by setting a measuring point more finely than the arrangement pitch of Faraday cups. - 特許庁

このとき、イオンビームの発散角度を測定する測定装置は、ビーム分割スリットと可動式ファラデーカップを具備している構成とするとよい。例文帳に追加

At this time, the measuring device to measure the divergence angle of the ion beam is preferably equipped with a beam splitting slit and a movable Faraday cup. - 特許庁

一方、イオン注入時に半導体ウエハＷから飛び出した二次電子は、ファラデーカップ１０の絶縁膜ＺＭにおける導体領域が効率よく吸収する。例文帳に追加

The secondary electrons flying out of the wafer W during ion implantation are efficiently absorbed into the conductor areas of the insulating film ZM. - 特許庁

ファラデーカップ４に接続された積分器１０により求められた電荷量と、アパーチャープレート２に接続された積分器１０により求められた電荷量の比に基づいてドーズ量を補正する。例文帳に追加

The dose is corrected on the basis of the ratio of the charge quantity obtained by the integrators 10 connected to the Faraday cups 4, and the charge quantity obtained by the integrator 10 connected to the aperture plate 2. - 特許庁

四重極フィルタ３２，３４を通過したイオン化粒子はファラデーカップ４０，４２に衝突し、そのときに発生した電流が電流計４４，４６で計測される。例文帳に追加

Ionized particles passing the quadruple filters 32, 34 collide with Fadaday cups 40, 42, and currents generated at that time are measured by ammeters 44, 46. - 特許庁

被加工物である光学素子材料７を搭載する駆動ステージ６に、イオンビーム３の電流状態を測定するファラデーカップ８を設置する。例文帳に追加

A Faraday cup 8 measuring the current status of an ion beam 3 is disposed on a drive stage 6 carrying a workpiece of an optical element material 7. - 特許庁

複数のファラデーカップ２０は、複数の試料基板１２を乗せた円板状試料ホルダ１１の半径方向に一列に並べて配置され、イオンビーム電流を測定する。例文帳に追加

A plurality of Faraday cups 20 are disposed in one line in the radial direction of a circular plate sample holder 11 with a plurality of sample substrates 12 thereon and measure ion beam current. - 特許庁

光学素子材料７の加工におけるイオンビーム３による単位時間あたりの除去量および除去形状をファラデーカップ８の出力から算出し、所望の加工形状を得るための加工プログラムを作成する。例文帳に追加

A removal rate and a removal shape per unit time in processing the optical element material 7 by the ion beam 3 are calculated from output from the Faraday cup 8, and a processing program is made for obtaining a desired processed shape. - 特許庁

ファラデーカップ本体５０は、体積抵抗率が１０^-6［Ω・ｍ］程度以上の高抵抗チタン等の材料で構成されており、その体積は１５０ｍｍ^3以下となっている。例文帳に追加

The Faraday cup body 50 is constituted of a material such as high resistance titanium whose volume resistivity is about 10^-6 [Ω.m] and the volume is 150 mm^3. - 特許庁